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綿陽市江油市、運城市平陸縣、天水市麥積區(qū)、臺州市玉環(huán)市、商洛市鎮(zhèn)安縣、營口市西市區(qū)、晉中市壽陽縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、吉安市遂川縣、金昌市金川區(qū)、合肥市巢湖市、大理巍山彝族回族自治縣
雅安市天全縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、西寧市大通回族土族自治縣、無錫市宜興市、通化市集安市、廣西桂林市灌陽縣、重慶市酉陽縣、上海市徐匯區(qū)
攀枝花市米易縣、宜昌市當陽市、周口市鄲城縣、邵陽市城步苗族自治縣、安慶市潛山市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、黃山市黃山區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、玉溪市澄江市
巴中市南江縣、岳陽市華容縣、六盤水市六枝特區(qū)、伊春市嘉蔭縣、廣西來賓市武宣縣、延安市延長縣、宜春市銅鼓縣、焦作市孟州市、晉中市榆社縣、南陽市桐柏縣
內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、淄博市沂源縣、銅川市耀州區(qū)、郴州市宜章縣、寧德市周寧縣、濟源市市轄區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、濟南市長清區(qū)
怒江傈僳族自治州瀘水市、廣西賀州市鐘山縣、襄陽市樊城區(qū)、梅州市蕉嶺縣、湛江市廉江市、宿遷市泗洪縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、忻州市偏關(guān)縣
涼山西昌市、無錫市宜興市、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、連云港市灌南縣、眉山市洪雅縣、迪慶香格里拉市
南通市如皋市、臨汾市侯馬市、朝陽市龍城區(qū)、樂山市沙灣區(qū)、黔西南興仁市、吉林市磐石市、上海市閔行區(qū)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、曲靖市師宗縣、臨汾市永和縣
澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、運城市永濟市、上海市松江區(qū)、綿陽市游仙區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、營口市大石橋市、營口市站前區(qū)、北京市大興區(qū)、濟寧市鄒城市、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
廣西南寧市武鳴區(qū)、六安市霍山縣、十堰市張灣區(qū)、遂寧市安居區(qū)、廣西玉林市北流市
重慶市南川區(qū)、西雙版納景洪市、無錫市新吳區(qū)、徐州市邳州市、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、宜昌市伍家崗區(qū)、南陽市淅川縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣、寶雞市眉縣
眉山市洪雅縣、宿遷市泗陽縣、伊春市伊美區(qū)、寧夏銀川市靈武市、黃南尖扎縣、煙臺市萊山區(qū)
深圳市羅湖區(qū)、菏澤市單縣、錦州市凌海市、贛州市信豐縣、青島市膠州市、懷化市辰溪縣、南昌市西湖區(qū)、溫州市甌海區(qū)
東莞市大朗鎮(zhèn)、南陽市新野縣、徐州市豐縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、臨滄市永德縣
日照市五蓮縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、信陽市平橋區(qū)、衢州市江山市、畢節(jié)市織金縣、泉州市石獅市
廣西百色市右江區(qū)、寧波市江北區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、深圳市龍華區(qū)、武漢市新洲區(qū)、麗水市慶元縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、洛陽市宜陽縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
煙臺市海陽市、北京市房山區(qū)、煙臺市招遠市、太原市迎澤區(qū)、長沙市芙蓉區(qū)、開封市通許縣、廣西防城港市東興市
珠海市斗門區(qū)、酒泉市金塔縣、上海市松江區(qū)、許昌市建安區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、廣西欽州市浦北縣、牡丹江市寧安市、東莞市常平鎮(zhèn)、梅州市豐順縣
保山市隆陽區(qū)、廣西柳州市三江侗族自治縣、長春市二道區(qū)、果洛班瑪縣、鶴壁市山城區(qū)、大連市金州區(qū)、定安縣龍門鎮(zhèn)、荊門市東寶區(qū)、運城市鹽湖區(qū)、麗水市慶元縣
濟寧市任城區(qū)、蘇州市太倉市、天津市薊州區(qū)、許昌市鄢陵縣、寧夏固原市隆德縣、新鄉(xiāng)市原陽縣、南京市建鄴區(qū)
金昌市金川區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、大連市中山區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、黔東南黃平縣、文昌市東郊鎮(zhèn)
西寧市大通回族土族自治縣、杭州市江干區(qū)、甘孜色達縣、景德鎮(zhèn)市樂平市、撫州市黎川縣、廣西柳州市柳北區(qū)、忻州市岢嵐縣、廈門市湖里區(qū)
鶴崗市蘿北縣、北京市朝陽區(qū)、贛州市興國縣、濟寧市任城區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、重慶市合川區(qū)、許昌市襄城縣、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、湘西州龍山縣
甘南瑪曲縣、鎮(zhèn)江市揚中市、漢中市略陽縣、南昌市新建區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、文山硯山縣
煙臺市牟平區(qū)、泰安市肥城市、萬寧市山根鎮(zhèn)、榆林市神木市、商丘市夏邑縣
清遠市佛岡縣、重慶市豐都縣、本溪市桓仁滿族自治縣、吉安市吉州區(qū)、鄭州市登封市、深圳市龍華區(qū)
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上海市虹口區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、眉山市青神縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、忻州市五寨縣
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南陽市方城縣、鞍山市千山區(qū)、衢州市江山市、果洛達日縣、鹽城市大豐區(qū)
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資陽市雁江區(qū)、杭州市西湖區(qū)、上海市寶山區(qū)、沈陽市大東區(qū)、呂梁市方山縣、錦州市凌海市、黔南龍里縣、寧夏石嘴山市平羅縣、合肥市廬陽區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市
臨滄市云縣、贛州市龍南市、哈爾濱市香坊區(qū)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、海西蒙古族都蘭縣、重慶市豐都縣、贛州市章貢區(qū)、廣西桂林市永?？h、綏化市肇東市
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珠海突圍半導體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標志著國內(nèi)高端半導體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應用；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應用。預計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準半導體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應用材料（16.96%）三巨頭主導。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復雜。”黃道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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