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涼山美姑縣、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、文昌市龍樓鎮(zhèn)、衢州市龍游縣、甘孜瀘定縣、廣西百色市右江區(qū)
廈門(mén)市翔安區(qū)、合肥市長(zhǎng)豐縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、寧德市霞浦縣
北京市石景山區(qū)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、煙臺(tái)市福山區(qū)、中山市三角鎮(zhèn)、揚(yáng)州市寶應(yīng)縣、黔東南麻江縣、淮北市相山區(qū)、滁州市天長(zhǎng)市、溫州市文成縣、鞍山市岫巖滿(mǎn)族自治縣
瀘州市合江縣、漢中市寧強(qiáng)縣、韶關(guān)市樂(lè)昌市、黔南都勻市、隨州市曾都區(qū)、海西蒙古族天峻縣、廣西桂林市陽(yáng)朔縣、榆林市子洲縣、郴州市北湖區(qū)
渭南市華陰市、武漢市青山區(qū)、泉州市洛江區(qū)、天津市東麗區(qū)、安慶市岳西縣、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、盤(pán)錦市興隆臺(tái)區(qū)、成都市崇州市
遵義市桐梓縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、太原市小店區(qū)、棗莊市薛城區(qū)、青島市黃島區(qū)、菏澤市成武縣、重慶市巫溪縣、臨沂市蘭陵縣、運(yùn)城市芮城縣
宣城市旌德縣、臨滄市云縣、廣西來(lái)賓市金秀瑤族自治縣、延邊安圖縣、重慶市潼南區(qū)、北京市東城區(qū)、遂寧市射洪市、定安縣龍湖鎮(zhèn)
大同市左云縣、黃岡市羅田縣、荊州市江陵縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、汕頭市濠江區(qū)、湘西州花垣縣
廣西柳州市柳北區(qū)、阜新市清河門(mén)區(qū)、龍巖市永定區(qū)、達(dá)州市宣漢縣、黔南都勻市
昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、婁底市雙峰縣、銅川市宜君縣、本溪市溪湖區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、濟(jì)寧市任城區(qū)、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣、營(yíng)口市老邊區(qū)、甘孜康定市
鄭州市管城回族區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市、荊州市江陵縣、廣西柳州市柳北區(qū)、重慶市永川區(qū)、西安市藍(lán)田縣、四平市伊通滿(mǎn)族自治縣、遼陽(yáng)市燈塔市、東莞市石龍鎮(zhèn)、蕪湖市鳩江區(qū)
焦作市山陽(yáng)區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、南陽(yáng)市臥龍區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣、延邊和龍市、商丘市睢陽(yáng)區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、黑河市嫩江市、德州市齊河縣、杭州市淳安縣
衢州市龍游縣、雙鴨山市嶺東區(qū)、曲靖市宣威市、鶴崗市蘿北縣、涼山布拖縣、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、吉安市遂川縣、蘭州市皋蘭縣、樂(lè)山市市中區(qū)
鹽城市鹽都區(qū)、南平市浦城縣、上海市金山區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、紹興市嵊州市、佛山市順德區(qū)、許昌市魏都區(qū)、廣西桂林市資源縣、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、武威市民勤縣
南充市高坪區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、宣城市廣德市、東莞市中堂鎮(zhèn)、葫蘆島市南票區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣
韶關(guān)市南雄市、安慶市太湖縣、三明市永安市、內(nèi)蒙古通遼市開(kāi)魯縣、鐵嶺市清河區(qū)
南陽(yáng)市西峽縣、六盤(pán)水市鐘山區(qū)、晉中市和順縣、肇慶市端州區(qū)、廣西南寧市良慶區(qū)、營(yíng)口市西市區(qū)、寧德市周寧縣、定西市安定區(qū)、濮陽(yáng)市范縣、信陽(yáng)市淮濱縣
本溪市溪湖區(qū)、淮北市濉溪縣、黔東南黃平縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、西安市蓮湖區(qū)、成都市大邑縣、黔東南從江縣、黔西南興仁市、濰坊市安丘市
泉州市安溪縣、大連市旅順口區(qū)、雞西市城子河區(qū)、鄭州市鞏義市、麗江市寧蒗彝族自治縣、株洲市石峰區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)
畢節(jié)市納雍縣、黔東南劍河縣、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、黔東南施秉縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、武漢市漢陽(yáng)區(qū)、宜昌市枝江市、涼山冕寧縣、湘西州吉首市
西寧市城西區(qū)、牡丹江市林口縣、慶陽(yáng)市合水縣、通化市二道江區(qū)、泰州市泰興市、蘭州市七里河區(qū)、東方市板橋鎮(zhèn)、泉州市金門(mén)縣、大理云龍縣
德陽(yáng)市旌陽(yáng)區(qū)、黑河市嫩江市、德陽(yáng)市羅江區(qū)、蘇州市張家港市、雞西市麻山區(qū)、安慶市桐城市、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、文昌市東路鎮(zhèn)、太原市晉源區(qū)
景德鎮(zhèn)市樂(lè)平市、淄博市張店區(qū)、臨汾市翼城縣、廣西玉林市博白縣、三門(mén)峽市義馬市、海東市民和回族土族自治縣
郴州市桂陽(yáng)縣、臨汾市堯都區(qū)、黔南福泉市、廣西河池市金城江區(qū)、雙鴨山市寶清縣、濟(jì)寧市兗州區(qū)、臨汾市汾西縣、肇慶市四會(huì)市、德陽(yáng)市羅江區(qū)、商丘市寧陵縣
大理祥云縣、潮州市潮安區(qū)、玉樹(shù)曲麻萊縣、滁州市鳳陽(yáng)縣、龍巖市永定區(qū)
吉林市蛟河市、西寧市湟源縣、黔南龍里縣、泉州市德化縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、懷化市辰溪縣、廣西百色市右江區(qū)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、攀枝花市鹽邊縣、銅川市王益區(qū)
邵陽(yáng)市綏寧縣、黔東南凱里市、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、許昌市鄢陵縣、黑河市遜克縣
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內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、麗水市縉云縣、重慶市黔江區(qū)、楚雄姚安縣、吉安市新干縣
廣西桂林市秀峰區(qū)、岳陽(yáng)市臨湘市、阜新市彰武縣、溫州市龍港市、貴陽(yáng)市白云區(qū)
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澄邁縣金江鎮(zhèn)、廣西百色市平果市、雅安市天全縣、濮陽(yáng)市清豐縣、鹽城市鹽都區(qū)
漳州市薌城區(qū)、黔南甕安縣、信陽(yáng)市潢川縣、菏澤市鄆城縣、淮南市潘集區(qū)、松原市扶余市
伊春市湯旺縣、廣西柳州市柳城縣、廣西桂林市興安縣、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、莆田市城廂區(qū)、甘南臨潭縣、三亞市吉陽(yáng)區(qū)、鎮(zhèn)江市句容市、寧夏銀川市永寧縣、鄭州市鞏義市
黔南甕安縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、文山富寧縣、蘭州市七里河區(qū)、晉中市昔陽(yáng)縣、晉中市太谷區(qū)、西雙版納景洪市
錦州市義縣、泰州市靖江市、周口市鹿邑縣、常德市漢壽縣、臨滄市鳳慶縣、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、呂梁市汾陽(yáng)市、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣
池州市石臺(tái)縣、聊城市東昌府區(qū)、遵義市習(xí)水縣、阜陽(yáng)市潁上縣、贛州市興國(guó)縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣
永州市江華瑤族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、吉安市新干縣、涼山布拖縣
恩施州宣恩縣、太原市古交市、汕尾市城區(qū)、松原市乾安縣、廣西南寧市馬山縣、寧夏吳忠市鹽池縣、東莞市沙田鎮(zhèn)
南昌市進(jìn)賢縣、焦作市馬村區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、濱州市惠民縣、九江市共青城市、濮陽(yáng)市清豐縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、汕頭市濠江區(qū)、信陽(yáng)市固始縣、吉安市永新縣、滁州市南譙區(qū)、紅河瀘西縣、泉州市泉港區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)
楚雄楚雄市、大同市云州區(qū)、甘孜雅江縣、大理彌渡縣、安康市白河縣、池州市石臺(tái)縣
屯昌縣南呂鎮(zhèn)、宿遷市宿豫區(qū)、大理南澗彝族自治縣、松原市寧江區(qū)、黔東南從江縣、東莞市東城街道、溫州市鹿城區(qū)、鄭州市鞏義市、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)
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哈爾濱市呼蘭區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、白城市洮南市、儋州市中和鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、韶關(guān)市翁源縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、上海市奉賢區(qū)
周口市項(xiàng)城市、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、撫順市清原滿(mǎn)族自治縣、湘西州花垣縣、上海市嘉定區(qū)、大連市西崗區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、廣西崇左市大新縣、珠海市香洲區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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