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文山硯山縣、蘭州市城關(guān)區(qū)、曲靖市沾益區(qū)、鹽城市東臺(tái)市、贛州市全南縣、三門(mén)峽市義馬市、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、重慶市涪陵區(qū)、儋州市王五鎮(zhèn)、晉中市昔陽(yáng)縣
駐馬店市上蔡縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、丹東市寬甸滿族自治縣、廣西梧州市龍圩區(qū)、甘孜德格縣、寧夏固原市涇源縣
平?jīng)鍪袥艽h、重慶市涪陵區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、吉安市峽江縣、海南貴德縣、忻州市偏關(guān)縣
吉林市蛟河市、西寧市湟源縣、黔南龍里縣、泉州市德化縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、懷化市辰溪縣、廣西百色市右江區(qū)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、攀枝花市鹽邊縣、銅川市王益區(qū)
東方市天安鄉(xiāng)、內(nèi)江市隆昌市、荊州市公安縣、駐馬店市泌陽(yáng)縣、金華市永康市、廣西河池市都安瑤族自治縣、大理洱源縣、達(dá)州市宣漢縣、西安市未央?yún)^(qū)
瓊海市大路鎮(zhèn)、開(kāi)封市順河回族區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、酒泉市敦煌市、瓊海市龍江鎮(zhèn)、北京市密云區(qū)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、福州市倉(cāng)山區(qū)、重慶市酉陽(yáng)縣、綿陽(yáng)市梓潼縣、濱州市沾化區(qū)、海南貴德縣、沈陽(yáng)市大東區(qū)
定安縣富文鎮(zhèn)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、廣西河池市金城江區(qū)、廣西桂林市靈川縣、中山市南頭鎮(zhèn)、青島市市南區(qū)、重慶市開(kāi)州區(qū)
武威市涼州區(qū)、濰坊市安丘市、梅州市蕉嶺縣、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、齊齊哈爾市甘南縣、臨滄市臨翔區(qū)、廣西賀州市富川瑤族自治縣
安順市平壩區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、九江市廬山市、文昌市文城鎮(zhèn)、通化市東昌區(qū)、海口市龍華區(qū)
青島市市南區(qū)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、漢中市洋縣、昭通市巧家縣、廣西河池市大化瑤族自治縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、攀枝花市東區(qū)
沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、瀘州市江陽(yáng)區(qū)、安慶市太湖縣、周口市川匯區(qū)、南陽(yáng)市西峽縣、運(yùn)城市河津市、江門(mén)市臺(tái)山市、東方市四更鎮(zhèn)
沈陽(yáng)市渾南區(qū)、贛州市南康區(qū)、隴南市武都區(qū)、海南貴德縣、遵義市匯川區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、龍巖市連城縣、定安縣龍門(mén)鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市洞口縣
晉中市太谷區(qū)、雞西市麻山區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、四平市梨樹(shù)縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、鶴壁市浚縣、湘西州古丈縣、濰坊市寒亭區(qū)、大理賓川縣
重慶市巫山縣、滁州市全椒縣、三明市永安市、丹東市寬甸滿族自治縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)
漢中市留壩縣、上海市閔行區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、金華市金東區(qū)、合肥市蜀山區(qū)、陽(yáng)泉市平定縣、聊城市高唐縣、滁州市南譙區(qū)
合肥市巢湖市、天津市東麗區(qū)、宜昌市猇亭區(qū)、大同市平城區(qū)、黔南長(zhǎng)順縣、宜賓市高縣
荊門(mén)市沙洋縣、棗莊市滕州市、重慶市開(kāi)州區(qū)、錦州市黑山縣、莆田市荔城區(qū)、常州市新北區(qū)
太原市婁煩縣、益陽(yáng)市赫山區(qū)、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、寧夏固原市彭陽(yáng)縣、上饒市橫峰縣、丹東市振安區(qū)
聊城市臨清市、臺(tái)州市溫嶺市、湘西州龍山縣、延邊琿春市、臨汾市浮山縣、濰坊市青州市、平?jīng)鍪腥A亭縣
杭州市蕭山區(qū)、舟山市岱山縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、漢中市洋縣、廣西河池市金城江區(qū)
忻州市忻府區(qū)、煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、南平市光澤縣、黃南尖扎縣、廣西玉林市興業(yè)縣、金華市婺城區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、河源市連平縣、鄭州市鞏義市、九江市修水縣
昭通市綏江縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、贛州市信豐縣、黔東南劍河縣、上海市寶山區(qū)、朔州市應(yīng)縣
淮安市清江浦區(qū)、西雙版納勐臘縣、濟(jì)寧市任城區(qū)、忻州市保德縣、紅河河口瑤族自治縣、蚌埠市淮上區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、安陽(yáng)市林州市、溫州市龍灣區(qū)
嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、文昌市龍樓鎮(zhèn)、吉林市磐石市、南平市邵武市、陽(yáng)泉市礦區(qū)
景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、昭通市綏江縣、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、寧波市余姚市、信陽(yáng)市固始縣、西寧市大通回族土族自治縣
吉安市峽江縣、甘孜道孚縣、周口市扶溝縣、北京市西城區(qū)、廣西貴港市覃塘區(qū)、安陽(yáng)市文峰區(qū)
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恩施州巴東縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、安順市西秀區(qū)、宿州市靈璧縣、煙臺(tái)市龍口市、東莞市沙田鎮(zhèn)、菏澤市牡丹區(qū)、渭南市白水縣
朝陽(yáng)市北票市、齊齊哈爾市依安縣、大同市廣靈縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣、焦作市中站區(qū)、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、衡陽(yáng)市石鼓區(qū)、周口市項(xiàng)城市、福州市閩清縣、杭州市江干區(qū)
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定安縣雷鳴鎮(zhèn)、安康市鎮(zhèn)坪縣、東方市八所鎮(zhèn)、海北祁連縣、昭通市大關(guān)縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、阜新市太平區(qū)、白銀市白銀區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、重慶市涪陵區(qū)
淮安市金湖縣、九江市永修縣、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、孝感市大悟縣、晉城市沁水縣、武漢市武昌區(qū)
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文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、九江市湖口縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、通化市柳河縣、紹興市新昌縣、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣
東方市新龍鎮(zhèn)、襄陽(yáng)市南漳縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、武漢市蔡甸區(qū)、湘西州鳳凰縣、成都市溫江區(qū)、營(yíng)口市鲅魚(yú)圈區(qū)
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紹興市柯橋區(qū)、漢中市佛坪縣、肇慶市封開(kāi)縣、汕尾市陸豐市、沈陽(yáng)市法庫(kù)縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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