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韶關(guān)市新豐縣、溫州市龍灣區(qū)、儋州市雅星鎮(zhèn)、甘孜得榮縣、畢節(jié)市金沙縣、紹興市嵊州市
贛州市定南縣、玉溪市紅塔區(qū)、儋州市光村鎮(zhèn)、寧德市福鼎市、莆田市涵江區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)
貴陽(yáng)市南明區(qū)、長(zhǎng)治市沁縣、東莞市麻涌鎮(zhèn)、廣西梧州市藤縣、鐵嶺市鐵嶺縣、太原市杏花嶺區(qū)、上饒市萬(wàn)年縣、臨滄市臨翔區(qū)、煙臺(tái)市海陽(yáng)市
屯昌縣坡心鎮(zhèn)、晉城市高平市、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、紅河開遠(yuǎn)市、安慶市宜秀區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣
儋州市峨蔓鎮(zhèn)、宿州市泗縣、廣西玉林市福綿區(qū)、中山市阜沙鎮(zhèn)、朔州市懷仁市、吉安市永豐縣、通化市梅河口市、廣西桂林市興安縣
甘孜色達(dá)縣、昆明市晉寧區(qū)、慶陽(yáng)市鎮(zhèn)原縣、贛州市大余縣、臨汾市曲沃縣、巴中市南江縣、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣
廣西桂林市荔浦市、哈爾濱市平房區(qū)、東方市江邊鄉(xiāng)、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、漢中市洋縣、淮安市淮陰區(qū)、榆林市吳堡縣、中山市東區(qū)街道
廣西玉林市北流市、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、晉城市陵川縣、牡丹江市穆棱市、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、廣元市青川縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、撫州市臨川區(qū)、懷化市芷江侗族自治縣
寧夏固原市隆德縣、南充市蓬安縣、楚雄大姚縣、煙臺(tái)市萊州市、綏化市青岡縣、中山市坦洲鎮(zhèn)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、宿州市泗縣、泉州市南安市
重慶市云陽(yáng)縣、鶴壁市淇縣、長(zhǎng)治市屯留區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)
大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、朔州市應(yīng)縣、武威市天祝藏族自治縣、商丘市永城市、安康市寧陜縣、天津市靜海區(qū)、哈爾濱市雙城區(qū)、南陽(yáng)市方城縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、天津市和平區(qū)
煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、淮安市清江浦區(qū)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、常德市武陵區(qū)
安康市鎮(zhèn)坪縣、惠州市惠東縣、衢州市開化縣、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、天水市張家川回族自治縣、安康市寧陜縣、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、泉州市石獅市、果洛瑪多縣、宜賓市南溪區(qū)
七臺(tái)河市茄子河區(qū)、張家界市武陵源區(qū)、南昌市東湖區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、達(dá)州市開江縣
瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、晉中市左權(quán)縣、中山市五桂山街道、濟(jì)寧市微山縣、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、湘西州龍山縣、菏澤市曹縣
泰州市泰興市、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、廣州市從化區(qū)、甘南卓尼縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、泉州市石獅市
湛江市遂溪縣、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、呂梁市方山縣、馬鞍山市雨山區(qū)、安陽(yáng)市湯陰縣、哈爾濱市方正縣、常德市鼎城區(qū)、郴州市桂陽(yáng)縣、菏澤市成武縣、濟(jì)寧市兗州區(qū)
濟(jì)寧市梁山縣、廣西柳州市柳南區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、莆田市涵江區(qū)、新余市分宜縣、杭州市濱江區(qū)、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、洛陽(yáng)市嵩縣
泰安市泰山區(qū)、大同市云州區(qū)、呂梁市文水縣、雅安市天全縣、荊州市江陵縣、定安縣富文鎮(zhèn)、信陽(yáng)市商城縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、贛州市贛縣區(qū)、重慶市南川區(qū)
北京市朝陽(yáng)區(qū)、滁州市明光市、徐州市泉山區(qū)、郴州市嘉禾縣、哈爾濱市依蘭縣、廣西防城港市上思縣、南平市順昌縣
株洲市攸縣、無(wú)錫市錫山區(qū)、咸寧市赤壁市、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、五指山市水滿、臺(tái)州市天臺(tái)縣、臨高縣加來鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、深圳市坪山區(qū)
佳木斯市同江市、遼源市東遼縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、臺(tái)州市天臺(tái)縣、天津市寧河區(qū)、宜昌市宜都市、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)
上海市普陀區(qū)、撫順市新?lián)釁^(qū)、中山市阜沙鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、煙臺(tái)市龍口市、直轄縣天門市、自貢市富順縣、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、昆明市宜良縣
撫州市臨川區(qū)、宿遷市宿城區(qū)、連云港市東?？h、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、濱州市博興縣
懷化市靖州苗族侗族自治縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、泰安市東平縣、涼山美姑縣、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)
宜賓市敘州區(qū)、濱州市鄒平市、衡陽(yáng)市南岳區(qū)、大同市云州區(qū)、上饒市橫峰縣、武漢市青山區(qū)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、河源市源城區(qū)
佳木斯市郊區(qū)、自貢市沿灘區(qū)、濟(jì)南市章丘區(qū)、文昌市鋪前鎮(zhèn)、延安市黃陵縣
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南陽(yáng)市淅川縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、商丘市柘城縣、渭南市臨渭區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、南充市順慶區(qū)
天水市麥積區(qū)、文山麻栗坡縣、宜賓市長(zhǎng)寧縣、貴陽(yáng)市開陽(yáng)縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、重慶市璧山區(qū)、北京市懷柔區(qū)、平?jīng)鍪腥A亭縣
新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、西寧市城東區(qū)、大連市甘井子區(qū)、黑河市北安市、亳州市譙城區(qū)、黃岡市麻城市、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)
廣西柳州市柳南區(qū)、臨夏臨夏市、廣西崇左市寧明縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、北京市通州區(qū)
天津市薊州區(qū)、貴陽(yáng)市白云區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、邵陽(yáng)市邵東市、晉中市左權(quán)縣、湛江市吳川市
內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、滁州市南譙區(qū)、長(zhǎng)春市德惠市、廣西貴港市桂平市、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、鹽城市響水縣、武漢市東西湖區(qū)、贛州市寧都縣
揭陽(yáng)市榕城區(qū)、韶關(guān)市南雄市、黑河市北安市、資陽(yáng)市安岳縣、臺(tái)州市天臺(tái)縣、湘西州吉首市
怒江傈僳族自治州福貢縣、蘇州市太倉(cāng)市、錦州市古塔區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、寧夏吳忠市鹽池縣、六安市葉集區(qū)
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臨沂市羅莊區(qū)、宿州市泗縣、南京市江寧區(qū)、自貢市富順縣、齊齊哈爾市甘南縣、葫蘆島市連山區(qū)、滁州市明光市
常德市武陵區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、淄博市臨淄區(qū)、無(wú)錫市梁溪區(qū)、廣西北海市海城區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、曲靖市沾益區(qū)、達(dá)州市萬(wàn)源市、昭通市永善縣
黑河市孫吳縣、九江市德安縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、廣西梧州市蒙山縣、重慶市開州區(qū)
黔東南臺(tái)江縣、重慶市酉陽(yáng)縣、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、中山市黃圃鎮(zhèn)、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、吉林市樺甸市、綿陽(yáng)市鹽亭縣、本溪市南芬區(qū)
平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市、寧夏吳忠市同心縣、臨汾市霍州市、白銀市平川區(qū)、自貢市貢井區(qū)、晉城市澤州縣、金華市浦江縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣
海西蒙古族天峻縣、周口市川匯區(qū)、自貢市榮縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、黃岡市黃州區(qū)、撫州市資溪縣、紅河彌勒市、鐵嶺市清河區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、株洲市淥口區(qū)
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涼山冕寧縣、攀枝花市鹽邊縣、南昌市青云譜區(qū)、周口市西華縣、佳木斯市郊區(qū)、樂山市五通橋區(qū)
巴中市南江縣、岳陽(yáng)市華容縣、六盤水市六枝特區(qū)、伊春市嘉蔭縣、廣西來賓市武宣縣、延安市延長(zhǎng)縣、宜春市銅鼓縣、焦作市孟州市、晉中市榆社縣、南陽(yáng)市桐柏縣
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大理劍川縣、鹽城市東臺(tái)市、鶴崗市蘿北縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、重慶市榮昌區(qū)、樂山市夾江縣、上海市楊浦區(qū)
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鶴崗市綏濱縣、安慶市宜秀區(qū)、商洛市柞水縣、紅河開遠(yuǎn)市、黑河市愛輝區(qū)、南京市秦淮區(qū)、甘孜康定市
普洱市景谷傣族彝族自治縣、六安市霍山縣、清遠(yuǎn)市英德市、天津市河北區(qū)、合肥市瑤海區(qū)、昆明市呈貢區(qū)、濰坊市寒亭區(qū)、咸寧市崇陽(yáng)縣
定安縣新竹鎮(zhèn)、蚌埠市龍子湖區(qū)、中山市橫欄鎮(zhèn)、安陽(yáng)市內(nèi)黃縣、咸寧市崇陽(yáng)縣
濰坊市坊子區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、慶陽(yáng)市慶城縣、寧夏吳忠市鹽池縣、上饒市廣信區(qū)
滁州市明光市、三門峽市澠池縣、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、中山市南朗鎮(zhèn)、武威市天祝藏族自治縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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