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安陽市湯陰縣、湛江市吳川市、婁底市婁星區(qū)、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、咸寧市赤壁市、呂梁市中陽縣
聊城市高唐縣、平頂山市郟縣、平?jīng)鍪袥艽h、梅州市平遠(yuǎn)縣、張掖市山丹縣、上海市崇明區(qū)
大連市旅順口區(qū)、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、漢中市漢臺(tái)區(qū)、忻州市五寨縣、南昌市東湖區(qū)、牡丹江市東安區(qū)、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、聊城市莘縣、延安市安塞區(qū)、淮南市田家庵區(qū)
上海市徐匯區(qū)、荊州市洪湖市、迪慶維西傈僳族自治縣、宿遷市沭陽縣、金華市義烏市、儋州市那大鎮(zhèn)、晉中市靈石縣
大理鶴慶縣、新鄉(xiāng)市延津縣、深圳市龍崗區(qū)、泰州市姜堰區(qū)、焦作市溫縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、麗江市永勝縣、長沙市瀏陽市
涼山普格縣、哈爾濱市木蘭縣、大理永平縣、棗莊市市中區(qū)、鄭州市金水區(qū)
雞西市梨樹區(qū)、麗江市永勝縣、雞西市雞東縣、定安縣新竹鎮(zhèn)、三亞市崖州區(qū)、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、伊春市鐵力市、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、呂梁市中陽縣
陽江市陽春市、菏澤市單縣、常德市臨澧縣、常德市武陵區(qū)、寶雞市麟游縣、寧德市屏南縣、曲靖市富源縣、南平市政和縣、衡陽市南岳區(qū)、泰安市東平縣
煙臺(tái)市棲霞市、贛州市章貢區(qū)、株洲市攸縣、齊齊哈爾市克東縣、北京市通州區(qū)
寧夏中衛(wèi)市海原縣、呂梁市石樓縣、晉城市城區(qū)、榆林市佳縣、東方市感城鎮(zhèn)、文昌市公坡鎮(zhèn)、運(yùn)城市絳縣、大慶市薩爾圖區(qū)、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣
蕪湖市鏡湖區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、新鄉(xiāng)市延津縣、長沙市天心區(qū)、攀枝花市米易縣、九江市彭澤縣
廣西柳州市三江侗族自治縣、衡陽市常寧市、亳州市蒙城縣、紅河建水縣、三門峽市盧氏縣、懷化市溆浦縣、大理云龍縣
德宏傣族景頗族自治州盈江縣、郴州市永興縣、呂梁市興縣、駐馬店市正陽縣、洛陽市老城區(qū)、撫州市金溪縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、慶陽市華池縣、五指山市南圣
吉安市永豐縣、廣西柳州市柳城縣、蘇州市吳中區(qū)、佳木斯市同江市、昆明市呈貢區(qū)、云浮市云城區(qū)、東方市感城鎮(zhèn)、廣元市青川縣、焦作市解放區(qū)
玉溪市江川區(qū)、銅陵市銅官區(qū)、贛州市南康區(qū)、湛江市雷州市、南京市秦淮區(qū)
中山市神灣鎮(zhèn)、合肥市瑤海區(qū)、鶴壁市?？h、吉安市萬安縣、隴南市西和縣、九江市德安縣、濰坊市諸城市、蕪湖市南陵縣、商丘市睢陽區(qū)、酒泉市瓜州縣
德陽市旌陽區(qū)、嘉興市嘉善縣、黃石市鐵山區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、紅河個(gè)舊市、泉州市晉江市、鎮(zhèn)江市句容市、酒泉市肅州區(qū)
酒泉市金塔縣、龍巖市漳平市、安康市寧陜縣、肇慶市德慶縣、德陽市綿竹市、長治市長子縣、昭通市昭陽區(qū)、滁州市天長市、宿遷市宿城區(qū)、咸陽市武功縣
煙臺(tái)市棲霞市、鹽城市阜寧縣、臨高縣臨城鎮(zhèn)、樂山市犍為縣、西安市臨潼區(qū)、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、廣西桂林市全州縣
宣城市宣州區(qū)、郴州市宜章縣、長治市平順縣、上海市徐匯區(qū)、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、武威市民勤縣、肇慶市封開縣
臨滄市滄源佤族自治縣、上饒市廣豐區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、韶關(guān)市曲江區(qū)、杭州市蕭山區(qū)、菏澤市巨野縣、上海市徐匯區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、焦作市沁陽市
岳陽市平江縣、青島市李滄區(qū)、淮安市金湖縣、長沙市開福區(qū)、黃石市黃石港區(qū)
資陽市安岳縣、上海市崇明區(qū)、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、綏化市慶安縣、朔州市右玉縣、上饒市鉛山縣
太原市尖草坪區(qū)、臨夏康樂縣、吉林市磐石市、漳州市龍文區(qū)、晉中市昔陽縣
臨汾市鄉(xiāng)寧縣、潮州市饒平縣、上饒市廣豐區(qū)、寶雞市千陽縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、綿陽市鹽亭縣、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、懷化市會(huì)同縣
駐馬店市平輿縣、黔南三都水族自治縣、臨沂市蘭山區(qū)、紅河石屏縣、伊春市豐林縣
渭南市華陰市、武漢市青山區(qū)、泉州市洛江區(qū)、天津市東麗區(qū)、安慶市岳西縣、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、成都市崇州市
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廣州市越秀區(qū)、長治市平順縣、鄭州市中牟縣、果洛甘德縣、肇慶市懷集縣
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菏澤市鄄城縣、保山市施甸縣、洛陽市欒川縣、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、溫州市龍灣區(qū)、南平市邵武市、南昌市新建區(qū)、昭通市鹽津縣、甘孜新龍縣、長春市南關(guān)區(qū)
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南昌市青山湖區(qū)、樂山市五通橋區(qū)、北京市房山區(qū)、三明市明溪縣、徐州市邳州市
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昭通市昭陽區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、婁底市漣源市、舟山市嵊泗縣、青島市膠州市、麗水市云和縣、綏化市明水縣、周口市川匯區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、安陽市安陽縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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