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酒泉市肅州區(qū)、棗莊市山亭區(qū)、榆林市綏德縣、十堰市鄖西縣、中山市坦洲鎮(zhèn)
衡陽市雁峰區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、贛州市全南縣、濰坊市昌樂縣、寶雞市太白縣、寧夏銀川市西夏區(qū)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、文昌市馮坡鎮(zhèn)、九江市共青城市、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、商丘市夏邑縣、南充市閬中市、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)
黔東南黃平縣、綏化市肇東市、泉州市德化縣、哈爾濱市尚志市、泉州市永春縣、臨沂市費(fèi)縣、寶雞市隴縣、長治市屯留區(qū)、廣西梧州市蒙山縣
廣安市岳池縣、德州市齊河縣、伊春市湯旺縣、徐州市銅山區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)、寧波市江北區(qū)
涼山德昌縣、恩施州建始縣、隴南市禮縣、玉溪市江川區(qū)、十堰市竹溪縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、吉林市豐滿區(qū)
大同市靈丘縣、衢州市江山市、鎮(zhèn)江市潤州區(qū)、佛山市禪城區(qū)、西安市新城區(qū)、廣西桂林市資源縣、臨沂市費(fèi)縣、寧夏固原市西吉縣、深圳市光明區(qū)、蘭州市皋蘭縣
長春市寬城區(qū)、慶陽市華池縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、西寧市大通回族土族自治縣、楚雄大姚縣、郴州市北湖區(qū)、煙臺市福山區(qū)、晉中市榆次區(qū)
岳陽市平江縣、重慶市奉節(jié)縣、運(yùn)城市絳縣、洛陽市新安縣、榆林市神木市、許昌市襄城縣
湘西州鳳凰縣、內(nèi)江市資中縣、延邊龍井市、涼山木里藏族自治縣、永州市零陵區(qū)、鐵嶺市西豐縣、中山市民眾鎮(zhèn)
阿壩藏族羌族自治州黑水縣、黔南福泉市、哈爾濱市五常市、撫州市樂安縣、贛州市龍南市、濟(jì)寧市梁山縣、廈門市思明區(qū)
成都市青白江區(qū)、運(yùn)城市芮城縣、韶關(guān)市樂昌市、鷹潭市余江區(qū)、西雙版納勐臘縣、金華市永康市、宜賓市興文縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)
牡丹江市陽明區(qū)、寧德市壽寧縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、黑河市五大連池市、信陽市羅山縣、河源市和平縣、淮北市杜集區(qū)、惠州市惠城區(qū)、寧德市古田縣、忻州市繁峙縣
寧德市周寧縣、十堰市竹山縣、儋州市新州鎮(zhèn)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、自貢市貢井區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、上饒市廣豐區(qū)、達(dá)州市開江縣、荊門市沙洋縣、鎮(zhèn)江市潤州區(qū)
信陽市潢川縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣、黔東南從江縣、泉州市金門縣、郴州市蘇仙區(qū)、黑河市遜克縣、佛山市高明區(qū)、黃岡市黃梅縣
安慶市懷寧縣、泉州市惠安縣、麗水市云和縣、大理大理市、沈陽市皇姑區(qū)、隴南市禮縣、運(yùn)城市河津市、常德市漢壽縣
荊門市東寶區(qū)、忻州市忻府區(qū)、直轄縣潛江市、株洲市攸縣、齊齊哈爾市泰來縣、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、大同市左云縣、白山市靖宇縣、定西市岷縣、昆明市官渡區(qū)
宜昌市興山縣、漢中市佛坪縣、佳木斯市向陽區(qū)、廣西柳州市柳南區(qū)、六盤水市六枝特區(qū)、濱州市惠民縣、洛陽市西工區(qū)、綏化市肇東市、安慶市宿松縣
寧波市象山縣、廣西南寧市良慶區(qū)、深圳市羅湖區(qū)、遼源市東遼縣、紅河河口瑤族自治縣
揭陽市榕城區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、永州市寧遠(yuǎn)縣、滁州市鳳陽縣、清遠(yuǎn)市陽山縣、滁州市來安縣、贛州市崇義縣、九江市共青城市
咸陽市三原縣、臨夏永靖縣、襄陽市南漳縣、商丘市民權(quán)縣、咸陽市永壽縣、內(nèi)江市資中縣
臨高縣多文鎮(zhèn)、南通市啟東市、馬鞍山市博望區(qū)、黔東南榕江縣、無錫市惠山區(qū)、酒泉市敦煌市、甘南瑪曲縣、常州市鐘樓區(qū)
廣西南寧市上林縣、成都市金堂縣、臺州市三門縣、哈爾濱市巴彥縣、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽市、臨汾市古縣、佛山市三水區(qū)、漳州市南靖縣
宜春市銅鼓縣、湘西州花垣縣、南平市武夷山市、韶關(guān)市翁源縣、定西市渭源縣、徐州市豐縣、自貢市沿灘區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)
信陽市淮濱縣、朝陽市凌源市、贛州市全南縣、中山市神灣鎮(zhèn)、岳陽市岳陽樓區(qū)
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大慶市龍鳳區(qū)、杭州市江干區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、撫順市望花區(qū)、蘇州市常熟市
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陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、宜賓市翠屏區(qū)、安陽市林州市、宿州市碭山縣、淮南市鳳臺縣、攀枝花市鹽邊縣、臨汾市吉縣、江門市蓬江區(qū)、廣西河池市天峨縣、臨沂市蘭陵縣
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成都市錦江區(qū)、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、昆明市嵩明縣、上海市楊浦區(qū)、運(yùn)城市永濟(jì)市
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陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、棗莊市嶧城區(qū)、涼山雷波縣、臺州市椒江區(qū)、許昌市襄城縣、滁州市鳳陽縣
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重慶市石柱土家族自治縣、瓊海市陽江鎮(zhèn)、運(yùn)城市絳縣、廣西北海市銀海區(qū)、德州市寧津縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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