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忻州市原平市、廣州市南沙區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、甘孜得榮縣、襄陽(yáng)市老河口市
廣西桂林市陽(yáng)朔縣、丹東市振興區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、松原市乾安縣、上饒市信州區(qū)、遵義市正安縣、鶴崗市蘿北縣、黑河市五大連池市、太原市陽(yáng)曲縣、海西蒙古族茫崖市
安順市平壩區(qū)、樂山市沙灣區(qū)、十堰市鄖西縣、南京市鼓樓區(qū)、永州市雙牌縣、廣西玉林市博白縣、昆明市官渡區(qū)、長(zhǎng)春市二道區(qū)、晉城市澤州縣
漳州市龍文區(qū)、雅安市名山區(qū)、湘西州吉首市、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、廣西防城港市東興市、泰州市泰興市
定安縣龍湖鎮(zhèn)、濱州市博興縣、鄭州市新密市、安順市普定縣、黔南甕安縣、宜昌市猇亭區(qū)、寧德市福鼎市、曲靖市宣威市、麗水市慶元縣
晉城市城區(qū)、溫州市瑞安市、焦作市中站區(qū)、阜新市清河門區(qū)、雞西市虎林市、寧德市霞浦縣
樂山市峨邊彝族自治縣、哈爾濱市道里區(qū)、廣西百色市樂業(yè)縣、河源市龍川縣、寧夏吳忠市同心縣、南京市建鄴區(qū)、晉中市靈石縣、東莞市中堂鎮(zhèn)、三門峽市湖濱區(qū)
東方市東河鎮(zhèn)、甘南卓尼縣、永州市江永縣、安康市平利縣、西安市藍(lán)田縣、昭通市永善縣、中山市南頭鎮(zhèn)、臨高縣多文鎮(zhèn)
中山市東升鎮(zhèn)、池州市貴池區(qū)、菏澤市鄆城縣、岳陽(yáng)市臨湘市、滁州市全椒縣
南陽(yáng)市新野縣、丹東市振安區(qū)、儋州市新州鎮(zhèn)、黃山市祁門縣、中山市橫欄鎮(zhèn)、陽(yáng)江市陽(yáng)春市、婁底市新化縣、長(zhǎng)治市平順縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、泉州市石獅市、寧波市北侖區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、馬鞍山市博望區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、錦州市古塔區(qū)、紅河彌勒市
甘孜理塘縣、雞西市滴道區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、無(wú)錫市梁溪區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)、晉城市高平市、十堰市丹江口市、臨汾市大寧縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、德陽(yáng)市旌陽(yáng)區(qū)
昭通市威信縣、咸陽(yáng)市永壽縣、南京市高淳區(qū)、孝感市應(yīng)城市、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、深圳市鹽田區(qū)、宜春市樟樹市、忻州市神池縣
晉中市榆社縣、蘭州市榆中縣、廣西防城港市東興市、呂梁市孝義市、銅仁市碧江區(qū)、天津市西青區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、安慶市望江縣、杭州市江干區(qū)
宣城市績(jī)溪縣、六安市金安區(qū)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、宜賓市南溪區(qū)、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、酒泉市玉門市、蘇州市太倉(cāng)市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、永州市藍(lán)山縣、綿陽(yáng)市鹽亭縣、開封市杞縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)
鐵嶺市開原市、佛山市南海區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)、懷化市芷江侗族自治縣、荊州市石首市
綿陽(yáng)市江油市、許昌市魏都區(qū)、資陽(yáng)市樂至縣、常州市溧陽(yáng)市、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、安慶市望江縣、吉林市船營(yíng)區(qū)、重慶市合川區(qū)、鶴崗市興安區(qū)
荊州市監(jiān)利市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、內(nèi)江市東興區(qū)、盤錦市盤山縣、北京市東城區(qū)、銅陵市郊區(qū)、贛州市興國(guó)縣、資陽(yáng)市樂至縣
甘南碌曲縣、鶴壁市鶴山區(qū)、臨汾市安澤縣、阜陽(yáng)市阜南縣、許昌市建安區(qū)、天水市張家川回族自治縣、吉林市船營(yíng)區(qū)、銅川市耀州區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、廣州市天河區(qū)
景德鎮(zhèn)市浮梁縣、沈陽(yáng)市康平縣、伊春市鐵力市、遵義市余慶縣、駐馬店市確山縣、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、煙臺(tái)市萊山區(qū)
合肥市肥東縣、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、九江市修水縣、定西市渭源縣、海口市美蘭區(qū)、紅河開遠(yuǎn)市、梅州市大埔縣
長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、宜春市宜豐縣、巴中市平昌縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、安慶市桐城市、淮安市金湖縣、韶關(guān)市仁化縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)
長(zhǎng)治市黎城縣、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、贛州市信豐縣、北京市西城區(qū)、淮南市潘集區(qū)
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廣西玉林市玉州區(qū)、攀枝花市西區(qū)、湘潭市湘鄉(xiāng)市、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、澄邁縣加樂鎮(zhèn)
溫州市平陽(yáng)縣、昭通市綏江縣、沈陽(yáng)市遼中區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、丹東市振安區(qū)
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長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、九江市柴桑區(qū)、三明市大田縣、合肥市包河區(qū)、滁州市鳳陽(yáng)縣
遂寧市船山區(qū)、龍巖市新羅區(qū)、韶關(guān)市武江區(qū)、溫州市蒼南縣、郴州市北湖區(qū)、臺(tái)州市三門縣、涼山美姑縣、婁底市新化縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗
駐馬店市確山縣、三沙市西沙區(qū)、茂名市茂南區(qū)、綏化市綏棱縣、河源市源城區(qū)
廣西桂林市灌陽(yáng)縣、西安市閻良區(qū)、七臺(tái)河市桃山區(qū)、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、景德鎮(zhèn)市樂平市、信陽(yáng)市浉河區(qū)、洛陽(yáng)市伊川縣
杭州市富陽(yáng)區(qū)、安陽(yáng)市文峰區(qū)、吉安市廬陵新區(qū)、泉州市德化縣、重慶市潼南區(qū)、三門峽市靈寶市、廣安市前鋒區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、恩施州建始縣
鶴崗市綏濱縣、白銀市平川區(qū)、南充市嘉陵區(qū)、深圳市羅湖區(qū)、廣州市黃埔區(qū)、安陽(yáng)市龍安區(qū)
伊春市南岔縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、涼山金陽(yáng)縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、三明市泰寧縣、楚雄元謀縣、寧波市慈溪市
盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、沈陽(yáng)市和平區(qū)、齊齊哈爾市訥河市、連云港市灌云縣、廣西桂林市永?？h
眉山市彭山區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、太原市小店區(qū)、安陽(yáng)市林州市、麗水市松陽(yáng)縣、中山市民眾鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、常州市武進(jìn)區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、大同市陽(yáng)高縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、大理鶴慶縣、綿陽(yáng)市梓潼縣、襄陽(yáng)市老河口市、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、贛州市尋烏縣、黃石市大冶市、重慶市江津區(qū)
肇慶市端州區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、江門市蓬江區(qū)、東方市板橋鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、天水市甘谷縣、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)
昆明市尋甸回族彝族自治縣、酒泉市敦煌市、安陽(yáng)市文峰區(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、襄陽(yáng)市襄州區(qū)、贛州市定南縣、葫蘆島市建昌縣、三亞市海棠區(qū)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)
黔東南錦屏縣、亳州市利辛縣、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、大慶市肇州縣
隴南市徽縣、黃岡市紅安縣、大同市新榮區(qū)、泉州市泉港區(qū)、慶陽(yáng)市西峰區(qū)、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)
佳木斯市樺南縣、常德市鼎城區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、黔西南普安縣、五指山市番陽(yáng)、咸陽(yáng)市乾縣
遂寧市射洪市、定安縣龍河鎮(zhèn)、南充市西充縣、深圳市福田區(qū)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、麗水市蓮都區(qū)、天津市北辰區(qū)、天水市張家川回族自治縣、合肥市肥東縣
揚(yáng)州市寶應(yīng)縣、深圳市鹽田區(qū)、綏化市青岡縣、瀘州市古藺縣、紹興市新昌縣
廣安市前鋒區(qū)、邵陽(yáng)市邵東市、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、海南共和縣、廣州市從化區(qū)、荊州市石首市、濰坊市諸城市、濰坊市青州市、溫州市甌海區(qū)
九江市湖口縣、漳州市云霄縣、黃岡市黃州區(qū)、直轄縣仙桃市、汕頭市龍湖區(qū)、遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)
三亞市吉陽(yáng)區(qū)、銅陵市義安區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、海西蒙古族德令哈市、宜春市豐城市、九江市都昌縣
天津市薊州區(qū)、貴陽(yáng)市白云區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、邵陽(yáng)市邵東市、晉中市左權(quán)縣、湛江市吳川市
果洛班瑪縣、黔東南從江縣、北京市房山區(qū)、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、商丘市夏邑縣
吉安市峽江縣、鶴壁市山城區(qū)、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、東莞市麻涌鎮(zhèn)、西安市長(zhǎng)安區(qū)、淮安市洪澤區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、北京市門頭溝區(qū)
宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、九江市武寧縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、信陽(yáng)市浉河區(qū)、銅川市宜君縣、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)
重慶市梁平區(qū)、滁州市明光市、南昌市西湖區(qū)、臺(tái)州市仙居縣、榆林市吳堡縣
廈門市同安區(qū)、南充市南部縣、濟(jì)寧市嘉祥縣、汕頭市南澳縣、儋州市那大鎮(zhèn)、湛江市霞山區(qū)
瀘州市納溪區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、隴南市武都區(qū)、本溪市平山區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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