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鹽城市大豐區(qū)、臨高縣多文鎮(zhèn)、定安縣龍湖鎮(zhèn)、四平市鐵東區(qū)、六盤水市盤州市、寧夏銀川市靈武市、廣安市岳池縣、蚌埠市禹會區(qū)、太原市陽曲縣、玉樹玉樹市
九江市都昌縣、福州市閩清縣、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、上海市嘉定區(qū)、贛州市興國縣、資陽市安岳縣、文昌市翁田鎮(zhèn)
濟南市市中區(qū)、臨滄市鎮(zhèn)康縣、瀘州市古藺縣、贛州市尋烏縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、寧波市鄞州區(qū)、永州市江永縣
武漢市江夏區(qū)、亳州市蒙城縣、甘孜新龍縣、廣西桂林市平樂縣、鞍山市立山區(qū)、隴南市武都區(qū)、三門峽市靈寶市、西寧市湟源縣
日照市東港區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、南通市如皋市、臨夏臨夏市、咸陽市淳化縣、玉樹曲麻萊縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、齊齊哈爾市泰來縣、漯河市召陵區(qū)、許昌市長葛市
重慶市大足區(qū)、漳州市華安縣、南昌市新建區(qū)、雙鴨山市寶山區(qū)、青島市市北區(qū)、濟南市萊蕪區(qū)、紅河彌勒市、運城市聞喜縣、深圳市光明區(qū)
成都市新都區(qū)、吉林市船營區(qū)、上海市寶山區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、新鄉(xiāng)市輝縣市、揚州市高郵市、鹽城市大豐區(qū)
遼陽市太子河區(qū)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、西安市長安區(qū)、三明市明溪縣、泉州市惠安縣、徐州市云龍區(qū)、榆林市清澗縣、焦作市修武縣、寶雞市眉縣、金華市金東區(qū)
開封市鼓樓區(qū)、南平市光澤縣、廣西河池市鳳山縣、臨沂市沂南縣、三明市泰寧縣
太原市尖草坪區(qū)、中山市東區(qū)街道、通化市梅河口市、聊城市茌平區(qū)、汕頭市龍湖區(qū)、岳陽市華容縣、萬寧市萬城鎮(zhèn)
西寧市湟中區(qū)、上饒市弋陽縣、佳木斯市向陽區(qū)、青島市嶗山區(qū)、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、廣西北海市海城區(qū)、廣州市白云區(qū)、恩施州來鳳縣、成都市金牛區(qū)
德州市禹城市、延安市宜川縣、徐州市沛縣、湛江市吳川市、郴州市宜章縣、吉林市昌邑區(qū)、運城市絳縣、廣西崇左市憑祥市、自貢市榮縣、延安市富縣
南昌市進(jìn)賢縣、珠海市香洲區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、陽泉市城區(qū)、梅州市梅縣區(qū)、涼山鹽源縣、三明市明溪縣
廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、東營市墾利區(qū)、九江市柴桑區(qū)、太原市小店區(qū)、甘南碌曲縣、瓊海市陽江鎮(zhèn)、七臺河市茄子河區(qū)、深圳市南山區(qū)
南通市海安市、鞍山市立山區(qū)、哈爾濱市松北區(qū)、孝感市漢川市、南平市順昌縣、貴陽市花溪區(qū)、大理南澗彝族自治縣、濰坊市高密市
南京市江寧區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、中山市石岐街道、聊城市東昌府區(qū)、上海市黃浦區(qū)、白銀市平川區(qū)、商丘市柘城縣、儋州市海頭鎮(zhèn)、忻州市靜樂縣
揭陽市普寧市、果洛達(dá)日縣、河源市紫金縣、遼源市西安區(qū)、金昌市永昌縣、廣西桂林市雁山區(qū)、直轄縣仙桃市、昆明市嵩明縣、曲靖市富源縣
曲靖市陸良縣、徐州市新沂市、杭州市臨安區(qū)、朝陽市朝陽縣、遂寧市蓬溪縣、武威市天祝藏族自治縣、中山市東鳳鎮(zhèn)、廣西欽州市靈山縣
武漢市東西湖區(qū)、南通市如皋市、樂山市井研縣、懷化市麻陽苗族自治縣、綏化市安達(dá)市、三明市永安市、宜昌市長陽土家族自治縣
涼山會理市、忻州市定襄縣、運城市永濟市、昭通市威信縣、運城市夏縣、玉溪市峨山彝族自治縣、晉城市沁水縣、寧波市慈溪市、臨高縣皇桐鎮(zhèn)
阜陽市潁泉區(qū)、溫州市永嘉縣、安康市平利縣、濱州市博興縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、樂山市市中區(qū)、呂梁市石樓縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、吉安市峽江縣、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、通化市梅河口市、揭陽市揭西縣、金華市浦江縣、麗江市玉龍納西族自治縣、牡丹江市穆棱市、畢節(jié)市大方縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、濱州市陽信縣、長治市屯留區(qū)
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太原市婁煩縣、麗水市蓮都區(qū)、臨夏康樂縣、商丘市睢陽區(qū)、運城市平陸縣、南昌市新建區(qū)、定安縣嶺口鎮(zhèn)
三明市將樂縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、亳州市譙城區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、遵義市播州區(qū)、廣西桂林市靈川縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、黃南河南蒙古族自治縣、東莞市道滘鎮(zhèn)
衢州市衢江區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣、呂梁市離石區(qū)、邵陽市邵東市
丹東市振興區(qū)、安陽市滑縣、上海市金山區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、泉州市泉港區(qū)、濟南市平陰縣
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阿壩藏族羌族自治州小金縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、文昌市文教鎮(zhèn)、蚌埠市蚌山區(qū)、郴州市北湖區(qū)、南平市松溪縣、寧德市周寧縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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