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紅河元陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、泉州市泉港區(qū)、成都市成華區(qū)、廣西防城港市東興市、天水市甘谷縣、紅河建水縣
益陽(yáng)市安化縣、漳州市薌城區(qū)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、楚雄武定縣、懷化市中方縣
儋州市光村鎮(zhèn)、重慶市黔江區(qū)、長(zhǎng)治市黎城縣、麗江市華坪縣、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)
運(yùn)城市鹽湖區(qū)、成都市青羊區(qū)、雅安市寶興縣、鐵嶺市清河區(qū)、永州市雙牌縣、馬鞍山市雨山區(qū)、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)
廣西北海市合浦縣、宜春市奉新縣、廣西北海市海城區(qū)、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、黃山市歙縣
廣元市昭化區(qū)、東莞市清溪鎮(zhèn)、銅仁市沿河土家族自治縣、臨沂市沂水縣、寧德市柘榮縣、寧波市北侖區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)
晉中市昔陽(yáng)縣、中山市南頭鎮(zhèn)、延安市寶塔區(qū)、臨汾市永和縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、西安市藍(lán)田縣、德陽(yáng)市羅江區(qū)、阿壩藏族羌族自治州小金縣
汕尾市海豐縣、重慶市石柱土家族自治縣、天水市武山縣、雞西市密山市、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、文山馬關(guān)縣、金華市磐安縣、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)
駐馬店市遂平縣、杭州市余杭區(qū)、亳州市譙城區(qū)、哈爾濱市延壽縣、荊門(mén)市掇刀區(qū)、榆林市佳縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、四平市鐵東區(qū)
吉安市永新縣、青島市平度市、廣西北海市銀海區(qū)、株洲市荷塘區(qū)、濱州市無(wú)棣縣、昆明市盤(pán)龍區(qū)、寧夏銀川市永寧縣
太原市尖草坪區(qū)、德州市平原縣、濱州市博興縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、甘孜色達(dá)縣、泰安市寧陽(yáng)縣、南昌市進(jìn)賢縣、涼山美姑縣
瓊海市龍江鎮(zhèn)、撫順市望花區(qū)、上海市普陀區(qū)、白銀市平川區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、合肥市廬陽(yáng)區(qū)、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)
廣西崇左市憑祥市、紅河蒙自市、鶴崗市向陽(yáng)區(qū)、雅安市寶興縣、臨汾市侯馬市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗
海口市瓊山區(qū)、梅州市梅江區(qū)、黃南同仁市、昭通市魯?shù)榭h、南平市政和縣、蘭州市皋蘭縣、大連市甘井子區(qū)、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、雞西市麻山區(qū)
眉山市仁壽縣、三沙市西沙區(qū)、綿陽(yáng)市平武縣、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、吉林市蛟河市、楚雄姚安縣、文山文山市
哈爾濱市呼蘭區(qū)、泰安市新泰市、阜新市新邱區(qū)、海西蒙古族天峻縣、重慶市奉節(jié)縣、北京市密云區(qū)、齊齊哈爾市拜泉縣
武漢市漢陽(yáng)區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、湖州市南潯區(qū)、嘉興市海寧市、梅州市五華縣、鶴崗市向陽(yáng)區(qū)、十堰市張灣區(qū)
駐馬店市確山縣、四平市雙遼市、東莞市沙田鎮(zhèn)、吉安市吉水縣、忻州市寧武縣、廈門(mén)市思明區(qū)、廣安市武勝縣、云浮市郁南縣
內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、濟(jì)南市商河縣、重慶市銅梁區(qū)、大同市靈丘縣、福州市羅源縣、南平市建甌市、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、貴陽(yáng)市白云區(qū)
甘南臨潭縣、濟(jì)寧市梁山縣、潮州市饒平縣、廣州市南沙區(qū)、武漢市新洲區(qū)、直轄縣天門(mén)市、東方市三家鎮(zhèn)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、?？谑忻捞m區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、銅川市印臺(tái)區(qū)、吉安市青原區(qū)、宿遷市宿城區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、南昌市安義縣、廣西柳州市柳南區(qū)、達(dá)州市大竹縣、臨汾市浮山縣
益陽(yáng)市赫山區(qū)、西安市閻良區(qū)、阜陽(yáng)市潁上縣、?？谑忻捞m區(qū)、泰州市海陵區(qū)、撫順市東洲區(qū)、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)
珠海市香洲區(qū)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、衡陽(yáng)市衡東縣、重慶市北碚區(qū)、長(zhǎng)治市沁源縣、漯河市臨潁縣、綏化市慶安縣、九江市廬山市、呂梁市交口縣
樂(lè)山市金口河區(qū)、眉山市青神縣、文山麻栗坡縣、晉城市沁水縣、運(yùn)城市絳縣、廣西崇左市憑祥市、漳州市薌城區(qū)、武威市天祝藏族自治縣、徐州市賈汪區(qū)、梅州市平遠(yuǎn)縣
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、黃山市屯溪區(qū)、淄博市桓臺(tái)縣、河源市連平縣、成都市新都區(qū)、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、晉中市太谷區(qū)
寧波市象山縣、曲靖市陸良縣、直轄縣仙桃市、白城市大安市、鄭州市新密市、黃岡市羅田縣
大慶市大同區(qū)、海東市平安區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、信陽(yáng)市平橋區(qū)、連云港市灌云縣
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涼山會(huì)理市、上饒市廣信區(qū)、周口市西華縣、衢州市常山縣、黃岡市黃州區(qū)、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、寧德市柘榮縣
陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、武漢市江夏區(qū)、南陽(yáng)市新野縣、海南興?？h、廣西賀州市富川瑤族自治縣、荊州市江陵縣、黃岡市黃梅縣
景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、昭通市綏江縣、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、寧波市余姚市、信陽(yáng)市固始縣、西寧市大通回族土族自治縣
直轄縣潛江市、永州市寧遠(yuǎn)縣、白銀市會(huì)寧縣、聊城市高唐縣、廣西梧州市岑溪市
眉山市丹棱縣、衢州市開(kāi)化縣、葫蘆島市建昌縣、滁州市鳳陽(yáng)縣、廣西桂林市資源縣、湛江市坡頭區(qū)、本溪市溪湖區(qū)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣
齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、樂(lè)山市夾江縣、曲靖市馬龍區(qū)、溫州市龍港市、普洱市景谷傣族彝族自治縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、寧波市奉化區(qū)
紹興市柯橋區(qū)、撫州市黎川縣、常德市臨澧縣、上饒市弋陽(yáng)縣、郴州市資興市、揚(yáng)州市邗江區(qū)
上饒市余干縣、杭州市拱墅區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、上海市閔行區(qū)、蘇州市相城區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、丹東市東港市
內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、荊門(mén)市掇刀區(qū)、南充市閬中市、中山市中山港街道、鹽城市東臺(tái)市
襄陽(yáng)市谷城縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、重慶市渝北區(qū)、益陽(yáng)市安化縣、黃山市祁門(mén)縣、合肥市瑤海區(qū)、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市
臨滄市滄源佤族自治縣、淮南市田家庵區(qū)、湛江市赤坎區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、廈門(mén)市海滄區(qū)
邵陽(yáng)市北塔區(qū)、南平市順昌縣、雅安市寶興縣、黃岡市蘄春縣、漢中市洋縣、鞍山市鐵西區(qū)、鶴崗市興安區(qū)
淮北市杜集區(qū)、池州市貴池區(qū)、大同市左云縣、十堰市竹山縣、菏澤市東明縣、西安市藍(lán)田縣、寧夏吳忠市鹽池縣、蘇州市吳江區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗
延安市安塞區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、荊州市洪湖市、煙臺(tái)市萊山區(qū)、六安市葉集區(qū)、黃石市西塞山區(qū)
寧夏吳忠市青銅峽市、攀枝花市米易縣、晉中市靈石縣、安慶市太湖縣、臨高縣多文鎮(zhèn)、南通市啟東市、湛江市麻章區(qū)、安順市普定縣、常州市金壇區(qū)、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)
白銀市景泰縣、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、寧波市江北區(qū)、三亞市崖州區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、宜春市高安市、白山市江源區(qū)、宜賓市長(zhǎng)寧縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、綿陽(yáng)市涪城區(qū)
寶雞市千陽(yáng)縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、咸陽(yáng)市永壽縣、龍巖市新羅區(qū)、阜新市彰武縣
曲靖市師宗縣、深圳市羅湖區(qū)、隨州市曾都區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)、黃山市祁門(mén)縣
無(wú)錫市梁溪區(qū)、呂梁市文水縣、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、泰安市寧陽(yáng)縣、資陽(yáng)市樂(lè)至縣
長(zhǎng)治市屯留區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、上饒市玉山縣、黔東南黃平縣、延安市洛川縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、邵陽(yáng)市新寧縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)、張家界市桑植縣、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、德州市平原縣
樂(lè)山市井研縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、永州市江永縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、金華市武義縣、汕頭市濠江區(qū)、安慶市太湖縣、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣
五指山市通什、大慶市讓胡路區(qū)、紹興市越城區(qū)、廣西桂林市灌陽(yáng)縣、佳木斯市湯原縣、運(yùn)城市永濟(jì)市、周口市西華縣
常德市鼎城區(qū)、隴南市武都區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)、肇慶市德慶縣、佛山市南海區(qū)、重慶市開(kāi)州區(qū)
金華市磐安縣、淮安市洪澤區(qū)、郴州市宜章縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、黔南貴定縣
六安市舒城縣、重慶市榮昌區(qū)、天津市薊州區(qū)、哈爾濱市巴彥縣、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、無(wú)錫市新吳區(qū)、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、文山丘北縣、南平市邵武市
東莞市大朗鎮(zhèn)、荊門(mén)市掇刀區(qū)、遵義市習(xí)水縣、邵陽(yáng)市綏寧縣、焦作市溫縣、襄陽(yáng)市南漳縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、黔東南麻江縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、安陽(yáng)市龍安區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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