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通化市通化縣、濟寧市汶上縣、廣西桂林市靈川縣、玉樹稱多縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、廣元市利州區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)
揚州市邗江區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、蚌埠市禹會區(qū)、達州市渠縣、湖州市長興縣、廣西百色市樂業(yè)縣、成都市雙流區(qū)、嘉興市南湖區(qū)、天津市武清區(qū)
呂梁市離石區(qū)、龍巖市上杭縣、咸陽市三原縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、中山市南頭鎮(zhèn)、榆林市子洲縣
臨夏康樂縣、鄭州市中牟縣、五指山市毛道、北京市大興區(qū)、晉城市沁水縣、太原市小店區(qū)、郴州市北湖區(qū)、大理祥云縣、黔東南從江縣
黃岡市英山縣、平?jīng)鍪星f浪縣、棗莊市市中區(qū)、廣西梧州市蒼梧縣、濮陽市臺前縣、臺州市路橋區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、忻州市五寨縣、黔東南黎平縣、雙鴨山市嶺東區(qū)
隴南市文縣、廣西賀州市富川瑤族自治縣、遂寧市大英縣、寧夏銀川市靈武市、南昌市西湖區(qū)、十堰市竹溪縣、咸寧市通城縣
漢中市留壩縣、上海市閔行區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、金華市金東區(qū)、合肥市蜀山區(qū)、陽泉市平定縣、聊城市高唐縣、滁州市南譙區(qū)
襄陽市棗陽市、阜新市彰武縣、韶關(guān)市武江區(qū)、遂寧市船山區(qū)、咸陽市旬邑縣、鷹潭市余江區(qū)、寧波市奉化區(qū)、六安市舒城縣
武漢市蔡甸區(qū)、涼山雷波縣、鶴壁市淇縣、濱州市陽信縣、邵陽市邵陽縣、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、湖州市德清縣
大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、哈爾濱市松北區(qū)、安順市普定縣、鶴崗市興安區(qū)、內(nèi)江市市中區(qū)、齊齊哈爾市依安縣
文山西疇縣、臨高縣多文鎮(zhèn)、慶陽市合水縣、萬寧市和樂鎮(zhèn)、廈門市湖里區(qū)、普洱市景谷傣族彝族自治縣、無錫市梁溪區(qū)
廣州市海珠區(qū)、郴州市臨武縣、上海市徐匯區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、沈陽市皇姑區(qū)、杭州市拱墅區(qū)、榆林市榆陽區(qū)、開封市通許縣、濰坊市濰城區(qū)、河源市源城區(qū)
海西蒙古族都蘭縣、呂梁市柳林縣、延安市志丹縣、武漢市武昌區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、廣西貴港市桂平市、運城市河津市
濟寧市任城區(qū)、廣西梧州市長洲區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、鄭州市金水區(qū)、廣西南寧市青秀區(qū)、廣西桂林市資源縣
揭陽市普寧市、溫州市文成縣、汕頭市南澳縣、本溪市南芬區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)
廣元市昭化區(qū)、長治市黎城縣、三明市將樂縣、太原市古交市、岳陽市平江縣、黔南長順縣
九江市濂溪區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、蘇州市吳中區(qū)、運城市稷山縣、廈門市同安區(qū)、廣州市番禺區(qū)
咸陽市旬邑縣、廣州市南沙區(qū)、蘭州市七里河區(qū)、廣安市鄰水縣、郴州市嘉禾縣
安順市普定縣、梅州市平遠縣、深圳市龍崗區(qū)、大慶市大同區(qū)、淮南市謝家集區(qū)、衡陽市常寧市、黃岡市黃州區(qū)、紅河彌勒市、太原市尖草坪區(qū)、?？谑行阌^(qū)
昆明市祿勸彝族苗族自治縣、伊春市嘉蔭縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、攀枝花市西區(qū)、重慶市長壽區(qū)、寧德市福安市、上海市靜安區(qū)、淮安市淮陰區(qū)、淄博市高青縣、永州市新田縣
玉溪市紅塔區(qū)、日照市東港區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、天津市寧河區(qū)、佳木斯市前進區(qū)
瀘州市江陽區(qū)、福州市羅源縣、九江市修水縣、臨高縣東英鎮(zhèn)、淮南市大通區(qū)、太原市萬柏林區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)
直轄縣潛江市、永州市寧遠縣、白銀市會寧縣、聊城市高唐縣、廣西梧州市岑溪市
內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、濮陽市華龍區(qū)、泉州市石獅市、寧波市北侖區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、馬鞍山市博望區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、錦州市古塔區(qū)、紅河彌勒市
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渭南市澄城縣、武漢市新洲區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、常德市津市市、九江市修水縣、呂梁市孝義市
營口市西市區(qū)、齊齊哈爾市訥河市、滁州市鳳陽縣、廣西桂林市興安縣、銅陵市銅官區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、保山市施甸縣、武漢市東西湖區(qū)、泰州市興化市
成都市金牛區(qū)、蘇州市太倉市、棗莊市薛城區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、湘西州吉首市、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、葫蘆島市龍港區(qū)、重慶市南岸區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、臨高縣皇桐鎮(zhèn)
廣西柳州市柳江區(qū)、隴南市西和縣、衡陽市耒陽市、晉中市祁縣、撫順市望花區(qū)、西安市灞橋區(qū)、杭州市濱江區(qū)、廣西梧州市蒙山縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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