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內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、玉樹(shù)曲麻萊縣、合肥市包河區(qū)、黔南惠水縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、佛山市三水區(qū)、滁州市來(lái)安縣、朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、麗水市遂昌縣
三明市寧化縣、黃石市西塞山區(qū)、西安市藍(lán)田縣、武威市古浪縣、直轄縣天門市、鶴壁市鶴山區(qū)、永州市寧遠(yuǎn)縣
聊城市臨清市、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、哈爾濱市尚志市、菏澤市定陶區(qū)、漢中市洋縣、咸寧市通山縣、鄭州市鞏義市、舟山市嵊泗縣、慶陽(yáng)市合水縣、舟山市岱山縣
楚雄南華縣、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、五指山市通什、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、廣西貴港市平南縣
泉州市永春縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、大興安嶺地區(qū)漠河市、廣西防城港市上思縣、紹興市新昌縣
哈爾濱市道外區(qū)、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)、南陽(yáng)市社旗縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市
新鄉(xiāng)市延津縣、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、儋州市王五鎮(zhèn)、成都市溫江區(qū)、楚雄楚雄市、宜昌市五峰土家族自治縣、廣西崇左市天等縣
綿陽(yáng)市涪城區(qū)、涼山木里藏族自治縣、嘉興市平湖市、廣西南寧市馬山縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、黔東南臺(tái)江縣、渭南市大荔縣
平頂山市汝州市、濱州市沾化區(qū)、紹興市諸暨市、濟(jì)南市商河縣、白銀市平川區(qū)、濰坊市高密市、黃石市陽(yáng)新縣、六安市金寨縣
孝感市安陸市、菏澤市曹縣、甘孜得榮縣、商丘市虞城縣、濰坊市青州市、隴南市文縣
南通市如東縣、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、恩施州來(lái)鳳縣、丹東市振安區(qū)、涼山德昌縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、黃石市陽(yáng)新縣、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣、漢中市南鄭區(qū)、晉中市昔陽(yáng)縣
黃岡市武穴市、臺(tái)州市三門縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、安陽(yáng)市滑縣、七臺(tái)河市桃山區(qū)、荊州市江陵縣、貴陽(yáng)市修文縣、伊春市伊美區(qū)
宿州市泗縣、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、吉林市昌邑區(qū)、襄陽(yáng)市谷城縣、東莞市橋頭鎮(zhèn)、吉安市永豐縣、黃山市祁門縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、雅安市寶興縣
安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、遵義市播州區(qū)、阿壩藏族羌族自治州理縣、濟(jì)南市平陰縣、丹東市振興區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、廣西來(lái)賓市象州縣、玉樹(shù)囊謙縣
洛陽(yáng)市洛寧縣、吉林市舒蘭市、南平市邵武市、平頂山市郟縣、邵陽(yáng)市新邵縣、泰州市高港區(qū)
贛州市寧都縣、文昌市文教鎮(zhèn)、上海市寶山區(qū)、成都市溫江區(qū)、錦州市義縣、中山市南頭鎮(zhèn)
泰州市泰興市、太原市迎澤區(qū)、鶴崗市興山區(qū)、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、鶴崗市興安區(qū)、廣西河池市宜州區(qū)、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣
廣西桂林市永?？h、濟(jì)南市天橋區(qū)、延安市洛川縣、榆林市吳堡縣、池州市東至縣、中山市神灣鎮(zhèn)、宜春市萬(wàn)載縣
珠海市斗門區(qū)、永州市江永縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、張掖市山丹縣、商丘市夏邑縣、濰坊市安丘市、武威市涼州區(qū)
哈爾濱市方正縣、酒泉市敦煌市、徐州市邳州市、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、貴陽(yáng)市白云區(qū)、甘南卓尼縣
泉州市洛江區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、重慶市巫山縣、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、常德市漢壽縣、駐馬店市汝南縣
丹東市寬甸滿族自治縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、黃南尖扎縣、臺(tái)州市仙居縣、九江市共青城市、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、重慶市北碚區(qū)、龍巖市連城縣、溫州市龍港市、聊城市東阿縣
白城市鎮(zhèn)賚縣、商丘市寧陵縣、畢節(jié)市金沙縣、佳木斯市向陽(yáng)區(qū)、贛州市興國(guó)縣、武漢市黃陂區(qū)
寧夏銀川市永寧縣、南平市建甌市、黔西南望謨縣、煙臺(tái)市棲霞市、荊州市洪湖市、永州市江華瑤族自治縣、黔西南晴隆縣、商丘市柘城縣、北京市西城區(qū)
朔州市懷仁市、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、云浮市云安區(qū)、邵陽(yáng)市隆回縣
遼陽(yáng)市文圣區(qū)、大理云龍縣、周口市鹿邑縣、廣西桂林市資源縣、江門市新會(huì)區(qū)、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、連云港市東?？h
臺(tái)州市路橋區(qū)、福州市福清市、定安縣黃竹鎮(zhèn)、駐馬店市正陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、麗水市松陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、黔西南普安縣
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南通市崇川區(qū)、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、雅安市名山區(qū)、文山廣南縣、榆林市佳縣、廣西欽州市欽南區(qū)
陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、遵義市習(xí)水縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、陽(yáng)泉市郊區(qū)、南陽(yáng)市鄧州市、綏化市海倫市、樂(lè)山市犍為縣、天津市紅橋區(qū)、紹興市柯橋區(qū)、韶關(guān)市武江區(qū)
臨汾市吉縣、黔西南興仁市、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、渭南市韓城市、上海市徐匯區(qū)、潮州市湘橋區(qū)
長(zhǎng)治市潞城區(qū)、鶴崗市向陽(yáng)區(qū)、寶雞市眉縣、福州市鼓樓區(qū)、宿遷市泗陽(yáng)縣、衢州市衢江區(qū)、福州市永泰縣
西安市碑林區(qū)、菏澤市單縣、佳木斯市湯原縣、通化市梅河口市、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、廈門市海滄區(qū)、宜春市萬(wàn)載縣、鷹潭市余江區(qū)、瓊海市龍江鎮(zhèn)、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣
長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)、臺(tái)州市天臺(tái)縣、信陽(yáng)市商城縣、五指山市南圣、廣西崇左市扶綏縣、郴州市汝城縣、樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、臨沂市臨沭縣、湖州市安吉縣
內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、湖州市吳興區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、淮南市潘集區(qū)、焦作市馬村區(qū)
忻州市代縣、海南貴南縣、涼山金陽(yáng)縣、涼山美姑縣、廈門市集美區(qū)
漯河市舞陽(yáng)縣、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)、廣西欽州市欽北區(qū)、恩施州恩施市
濰坊市諸城市、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、綏化市慶安縣、阜陽(yáng)市潁上縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、廣西來(lái)賓市金秀瑤族自治縣、臺(tái)州市三門縣、聊城市高唐縣
韶關(guān)市翁源縣、呂梁市孝義市、遂寧市安居區(qū)、張掖市甘州區(qū)、甘孜白玉縣、延安市延川縣、無(wú)錫市江陰市、湘潭市岳塘區(qū)、懷化市溆浦縣
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晉城市沁水縣、上海市金山區(qū)、宜賓市長(zhǎng)寧縣、黃南同仁市、甘孜得榮縣
德州市齊河縣、貴陽(yáng)市白云區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、達(dá)州市開(kāi)江縣、蚌埠市龍子湖區(qū)
深圳市鹽田區(qū)、襄陽(yáng)市南漳縣、太原市杏花嶺區(qū)、淮安市淮陰區(qū)、海南共和縣、眉山市洪雅縣、嘉興市海寧市、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、陽(yáng)泉市礦區(qū)、三門峽市陜州區(qū)
沈陽(yáng)市康平縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、肇慶市鼎湖區(qū)、四平市鐵東區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市、南平市延平區(qū)、廣西百色市西林縣、甘孜石渠縣、湖州市安吉縣
西安市未央?yún)^(qū)、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、麗江市華坪縣、郴州市桂陽(yáng)縣、南陽(yáng)市西峽縣、昆明市五華區(qū)、運(yùn)城市新絳縣、大同市新榮區(qū)、天津市寶坻區(qū)
廣西百色市右江區(qū)、寧波市江北區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、深圳市龍華區(qū)、武漢市新洲區(qū)、麗水市慶元縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
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漳州市薌城區(qū)、大連市普蘭店區(qū)、呂梁市離石區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、岳陽(yáng)市汨羅市、晉中市榆次區(qū)、臨汾市永和縣、張家界市永定區(qū)、溫州市蒼南縣
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楚雄楚雄市、西寧市城東區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、紅河河口瑤族自治縣、麗水市云和縣
湘西州龍山縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、杭州市西湖區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、雞西市恒山區(qū)、宜昌市秭歸縣、德州市樂(lè)陵市
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內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、濰坊市高密市、綏化市蘭西縣、海西蒙古族都蘭縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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