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廣西百色市那坡縣、常德市津市市、臨高縣新盈鎮(zhèn)、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、鄭州市上街區(qū)、白銀市會寧縣、廣西貴港市平南縣
東營市河口區(qū)、漳州市南靖縣、吉林市舒蘭市、長沙市寧鄉(xiāng)市、南平市松溪縣、平頂山市郟縣、煙臺市棲霞市、玉溪市江川區(qū)、馬鞍山市和縣、濟(jì)南市章丘區(qū)
大興安嶺地區(qū)漠河市、平?jīng)鍪徐`臺縣、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、聊城市莘縣、茂名市信宜市、池州市青陽縣、日照市東港區(qū)、廣西防城港市港口區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)
廣西梧州市蒙山縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、上海市青浦區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、定安縣新竹鎮(zhèn)
湛江市坡頭區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、牡丹江市東寧市、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、文山文山市、晉中市壽陽縣
吉林市豐滿區(qū)、廣西桂林市永?？h、瓊海市大路鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、泉州市洛江區(qū)、韶關(guān)市南雄市、重慶市璧山區(qū)
海口市秀英區(qū)、齊齊哈爾市依安縣、鹽城市射陽縣、廣西桂林市靈川縣、蘇州市吳江區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣
保亭黎族苗族自治縣什玲、沈陽市鐵西區(qū)、郴州市宜章縣、海西蒙古族格爾木市、遼源市東遼縣、廣西欽州市浦北縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市
岳陽市岳陽樓區(qū)、南京市雨花臺區(qū)、佳木斯市樺南縣、肇慶市四會市、黔南甕安縣、安陽市湯陰縣、文山硯山縣、泉州市鯉城區(qū)、九江市德安縣、寶雞市鳳翔區(qū)
濱州市鄒平市、惠州市惠東縣、無錫市惠山區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、長春市綠園區(qū)
玉溪市江川區(qū)、撫順市順城區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、呂梁市孝義市、東莞市麻涌鎮(zhèn)、廣州市黃埔區(qū)、菏澤市巨野縣、徐州市睢寧縣、惠州市博羅縣、佳木斯市樺川縣
宜春市銅鼓縣、湘西州花垣縣、南平市武夷山市、韶關(guān)市翁源縣、定西市渭源縣、徐州市豐縣、自貢市沿灘區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)
宿州市碭山縣、渭南市臨渭區(qū)、湘西州古丈縣、南平市建甌市、瓊海市長坡鎮(zhèn)、錦州市太和區(qū)、岳陽市湘陰縣、果洛甘德縣、天水市秦州區(qū)
淮安市淮安區(qū)、太原市古交市、樂山市夾江縣、黔南惠水縣、亳州市蒙城縣、株洲市荷塘區(qū)、廣安市岳池縣
煙臺市招遠(yuǎn)市、朝陽市龍城區(qū)、廣西百色市右江區(qū)、麗水市遂昌縣、咸陽市旬邑縣、吉安市泰和縣、沈陽市蘇家屯區(qū)、江門市新會區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)
東莞市中堂鎮(zhèn)、云浮市新興縣、鷹潭市貴溪市、南平市延平區(qū)、延安市洛川縣、內(nèi)江市市中區(qū)、晉城市澤州縣、甘孜新龍縣、武漢市新洲區(qū)、牡丹江市寧安市
三明市三元區(qū)、安康市寧陜縣、宜春市高安市、吉安市廬陵新區(qū)、重慶市璧山區(qū)、杭州市桐廬縣
洛陽市伊川縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、東方市感城鎮(zhèn)、隴南市宕昌縣、郴州市桂陽縣、惠州市惠東縣、海西蒙古族格爾木市、萬寧市后安鎮(zhèn)
漳州市南靖縣、海北剛察縣、成都市郫都區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、三明市永安市、安慶市迎江區(qū)、甘孜九龍縣、駐馬店市泌陽縣
自貢市沿灘區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)、廣西桂林市全州縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、慶陽市寧縣、淄博市周村區(qū)、大連市中山區(qū)、洛陽市瀍河回族區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)
湘潭市雨湖區(qū)、永州市藍(lán)山縣、常州市金壇區(qū)、鹽城市亭湖區(qū)、錦州市古塔區(qū)、甘孜雅江縣、廣西桂林市平樂縣、錦州市凌河區(qū)
武漢市江岸區(qū)、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、曲靖市陸良縣、茂名市高州市、紅河石屏縣
懷化市靖州苗族侗族自治縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、泰安市東平縣、涼山美姑縣、雙鴨山市四方臺區(qū)
臨高縣博厚鎮(zhèn)、贛州市大余縣、朔州市右玉縣、宿州市泗縣、綏化市安達(dá)市、沈陽市康平縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市
銅川市印臺區(qū)、松原市寧江區(qū)、文昌市會文鎮(zhèn)、鹽城市東臺市、嘉興市南湖區(qū)、哈爾濱市木蘭縣、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、大理祥云縣、蘭州市永登縣
天津市河?xùn)|區(qū)、重慶市銅梁區(qū)、白山市撫松縣、東莞市東城街道、臺州市路橋區(qū)、淮安市清江浦區(qū)、呂梁市中陽縣、廣西河池市南丹縣、六盤水市六枝特區(qū)
東方市天安鄉(xiāng)、揚州市邗江區(qū)、煙臺市福山區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、潮州市饒平縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、贛州市龍南市、吉林市樺甸市、鶴崗市工農(nóng)區(qū)
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六盤水市鐘山區(qū)、咸陽市涇陽縣、南陽市南召縣、樂山市沙灣區(qū)、運城市臨猗縣
?？谑行阌^(qū)、綏化市海倫市、六安市舒城縣、懷化市洪江市、渭南市華州區(qū)、武漢市新洲區(qū)、阜陽市臨泉縣、哈爾濱市木蘭縣、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣
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長沙市雨花區(qū)、阜陽市界首市、廣州市天河區(qū)、連云港市灌云縣、寧德市柘榮縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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