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文山廣南縣、南昌市新建區(qū)、黔西南貞豐縣、涼山鹽源縣、廣西貴港市平南縣、荊門市沙洋縣、南充市閬中市、六安市霍山縣
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、昭通市鹽津縣、廣安市前鋒區(qū)、重慶市沙坪壩區(qū)、伊春市嘉蔭縣、襄陽市宜城市、黑河市五大連池市、恩施州宣恩縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、深圳市寶安區(qū)
淮南市田家庵區(qū)、延邊圖們市、漳州市詔安縣、沈陽市法庫縣、漢中市城固縣、蚌埠市五河縣、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、南昌市東湖區(qū)、白城市鎮(zhèn)賚縣、青島市市北區(qū)
宣城市績溪縣、溫州市文成縣、廣西來賓市金秀瑤族自治縣、邵陽市雙清區(qū)、天津市河西區(qū)、鶴壁市鶴山區(qū)、東營市東營區(qū)、濟南市章丘區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、安康市平利縣
九江市修水縣、大同市渾源縣、涼山金陽縣、永州市新田縣、運城市永濟市
聊城市茌平區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、六安市金安區(qū)、鶴崗市蘿北縣、甘孜爐霍縣、文山西疇縣
德州市臨邑縣、大同市新榮區(qū)、新鄉(xiāng)市封丘縣、長治市長子縣、東莞市長安鎮(zhèn)、延邊安圖縣、黔西南興義市、荊州市江陵縣、阿壩藏族羌族自治州汶川縣
衡陽市石鼓區(qū)、鞍山市臺安縣、荊門市掇刀區(qū)、牡丹江市陽明區(qū)、雞西市雞冠區(qū)、延邊敦化市、重慶市銅梁區(qū)、東莞市大嶺山鎮(zhèn)
舟山市普陀區(qū)、廣西貴港市平南縣、雅安市寶興縣、畢節(jié)市納雍縣、玉樹雜多縣、太原市尖草坪區(qū)、南京市江寧區(qū)、晉中市和順縣、宣城市績溪縣、泉州市鯉城區(qū)
聊城市莘縣、鞍山市鐵東區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)、上饒市鉛山縣、天津市北辰區(qū)、恩施州來鳳縣
安陽市文峰區(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、德陽市中江縣、商洛市丹鳳縣、濰坊市諸城市、銅川市宜君縣、遵義市鳳岡縣、南京市秦淮區(qū)、合肥市廬江縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、南京市秦淮區(qū)、濱州市博興縣、昭通市昭陽區(qū)、邵陽市邵東市、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、伊春市伊美區(qū)、商洛市商南縣、寧夏吳忠市青銅峽市
廣西玉林市興業(yè)縣、文山麻栗坡縣、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、黔東南雷山縣、海東市循化撒拉族自治縣
黔南長順縣、雞西市密山市、開封市禹王臺區(qū)、廣西桂林市灌陽縣、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、樂山市五通橋區(qū)、晉中市祁縣、信陽市浉河區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)
撫順市清原滿族自治縣、臨汾市古縣、黔南貴定縣、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、深圳市福田區(qū)、東莞市萬江街道
安康市寧陜縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、溫州市永嘉縣、萬寧市南橋鎮(zhèn)、宜春市袁州區(qū)
白山市臨江市、洛陽市偃師區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、三亞市天涯區(qū)、邵陽市雙清區(qū)、大理永平縣、武漢市漢南區(qū)、鐵嶺市開原市、黔東南丹寨縣、開封市祥符區(qū)
亳州市蒙城縣、上饒市弋陽縣、臨汾市洪洞縣、湘西州花垣縣、廣西河池市鳳山縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣、吉安市永豐縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、黔西南安龍縣
西寧市湟源縣、鹽城市射陽縣、?？谑旋埲A區(qū)、菏澤市成武縣、蘇州市吳江區(qū)、黃山市黃山區(qū)、濟南市歷下區(qū)、南平市建陽區(qū)、宿州市碭山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗
果洛瑪沁縣、三明市三元區(qū)、安陽市龍安區(qū)、韶關(guān)市湞江區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、成都市溫江區(qū)、廣西桂林市荔浦市、黔東南從江縣、雅安市名山區(qū)、哈爾濱市香坊區(qū)
湘西州鳳凰縣、九江市永修縣、蘭州市七里河區(qū)、廣西柳州市融水苗族自治縣、黔東南麻江縣
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昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、淮南市大通區(qū)、長治市潞州區(qū)、甘南瑪曲縣、黔南貴定縣、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、成都市金堂縣、臨高縣多文鎮(zhèn)
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遵義市赤水市、紅河河口瑤族自治縣、樂山市犍為縣、武漢市江漢區(qū)、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、潮州市湘橋區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、畢節(jié)市黔西市、大理巍山彝族回族自治縣
東方市新龍鎮(zhèn)、益陽市桃江縣、白山市臨江市、昆明市晉寧區(qū)、寶雞市金臺區(qū)、天水市甘谷縣、海西蒙古族茫崖市、西寧市城西區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣
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連云港市贛榆區(qū)、湘潭市湘潭縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、北京市延慶區(qū)、雅安市石棉縣、撫州市臨川區(qū)、衢州市龍游縣、重慶市江北區(qū)
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邵陽市洞口縣、鎮(zhèn)江市丹陽市、重慶市大足區(qū)、邵陽市隆回縣、煙臺市福山區(qū)
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廣安市前鋒區(qū)、常德市石門縣、重慶市巫山縣、重慶市潼南區(qū)、晉城市沁水縣、撫州市金溪縣
三門峽市陜州區(qū)、楚雄姚安縣、瀘州市江陽區(qū)、徐州市邳州市、長沙市芙蓉區(qū)、長春市雙陽區(qū)、重慶市南岸區(qū)、濟寧市嘉祥縣、海東市平安區(qū)
南陽市方城縣、襄陽市棗陽市、遼陽市弓長嶺區(qū)、黃石市西塞山區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、湘潭市湘潭縣、潮州市湘橋區(qū)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、駐馬店市汝南縣、長治市武鄉(xiāng)縣
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清遠(yuǎn)市連州市、文山丘北縣、揚州市邗江區(qū)、咸陽市武功縣、廣西貴港市港北區(qū)、南充市南部縣、延安市吳起縣、龍巖市長汀縣、隨州市隨縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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