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泰安市東平縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、伊春市大箐山縣、哈爾濱市松北區(qū)、廣西來賓市合山市、南通市海門區(qū)
信陽市潢川縣、東方市八所鎮(zhèn)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)
滁州市明光市、常德市津市市、寧德市屏南縣、梅州市五華縣、雙鴨山市寶清縣、馬鞍山市和縣、淄博市沂源縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、滁州市天長市、東方市感城鎮(zhèn)
廣西桂林市臨桂區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、西安市閻良區(qū)、菏澤市單縣、牡丹江市愛民區(qū)、青島市李滄區(qū)
東莞市長安鎮(zhèn)、大連市西崗區(qū)、北京市懷柔區(qū)、駐馬店市新蔡縣、泉州市鯉城區(qū)、隴南市徽縣、黔東南麻江縣、信陽市商城縣
普洱市景谷傣族彝族自治縣、六安市霍山縣、清遠市英德市、天津市河北區(qū)、合肥市瑤海區(qū)、昆明市呈貢區(qū)、濰坊市寒亭區(qū)、咸寧市崇陽縣
四平市公主嶺市、嘉興市南湖區(qū)、東莞市東城街道、濱州市鄒平市、忻州市五寨縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、大慶市紅崗區(qū)
肇慶市廣寧縣、天津市西青區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、宜賓市屏山縣、鶴崗市興安區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、鶴崗市東山區(qū)、隨州市隨縣、青島市市北區(qū)
甘南瑪曲縣、鄂州市鄂城區(qū)、上海市奉賢區(qū)、株洲市天元區(qū)、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、三門峽市靈寶市
杭州市富陽區(qū)、寶雞市千陽縣、廣州市從化區(qū)、池州市青陽縣、朝陽市凌源市、昭通市鹽津縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、鶴壁市鶴山區(qū)、商洛市洛南縣、紅河瀘西縣
寧夏吳忠市青銅峽市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、廣西桂林市平樂縣、曲靖市羅平縣、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、沈陽市康平縣、東莞市石碣鎮(zhèn)、麗水市景寧畬族自治縣、長沙市瀏陽市、南京市六合區(qū)
泉州市德化縣、平頂山市魯山縣、溫州市龍灣區(qū)、延邊敦化市、邵陽市大祥區(qū)、湘西州瀘溪縣
湘潭市韶山市、寶雞市鳳縣、邵陽市北塔區(qū)、文山廣南縣、麗江市玉龍納西族自治縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、文山文山市、無錫市濱湖區(qū)、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、南陽市方城縣
郴州市臨武縣、杭州市淳安縣、武漢市黃陂區(qū)、南陽市宛城區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)
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荊州市監(jiān)利市、遼陽市遼陽縣、宣城市郎溪縣、廣安市廣安區(qū)、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、重慶市石柱土家族自治縣
臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、本溪市平山區(qū)、威海市文登區(qū)、長沙市望城區(qū)、萬寧市禮紀鎮(zhèn)、駐馬店市正陽縣、黃岡市黃梅縣、咸陽市長武縣、揚州市江都區(qū)
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珠海突圍半導體設備業(yè),國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長期以來設計業(yè)“一業(yè)獨大”?,F(xiàn)在,這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡稱“恒格微電子”)發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設備,標志著國內(nèi)高端半導體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點,可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達成合作,一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動國產(chǎn)等離子刻蝕設備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應用;另一家為三疊紀公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應用。預計6月會交付第一臺設備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及,目前該設備已通過頭部晶圓廠驗證,并進入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營業(yè)務為等離子體工業(yè)應用設備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來瞄準半導體裝備賽道,聚焦刻蝕設備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里,薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上,海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應用材料(16.96%)三巨頭主導。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對刻蝕設備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下,國產(chǎn)設備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導體材料,刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運泰利自動化、長園半導體設備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”,運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線,填補了國產(chǎn)光學檢測設備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元,同比增長22.46%,比去年同期提升13.94個百分點,近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出,推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年,設計業(yè)主營收入135億元,占了大頭。對比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到,當前珠海正提速建設“云上智城”,集聚算力基礎、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè),接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設計服務平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞,機器人、汽車廠商供應商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中,AI業(yè)務都有所增加,也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預算,這種情況下客戶會提出芯片改版的需求,使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時會把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會更加復雜?!秉S道遠表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片,瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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