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榆林市府谷縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、撫州市金溪縣、上海市閔行區(qū)、宿州市泗縣、綿陽(yáng)市鹽亭縣、紅河石屏縣
菏澤市牡丹區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、贛州市龍南市、大慶市肇州縣、遵義市桐梓縣、重慶市酉陽(yáng)縣、上饒市弋陽(yáng)縣
瀘州市納溪區(qū)、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、錦州市黑山縣、成都市彭州市、六安市舒城縣、廣西桂林市陽(yáng)朔縣、莆田市仙游縣、贛州市瑞金市
南陽(yáng)市唐河縣、?？谑行阌^(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、普洱市江城哈尼族彝族自治縣
樂東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、保亭黎族苗族自治縣什玲、廣西百色市平果市、周口市沈丘縣、永州市藍(lán)山縣
大慶市紅崗區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、寶雞市岐山縣、荊門市鐘祥市
上饒市鄱陽(yáng)縣、成都市雙流區(qū)、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、西安市藍(lán)田縣、恩施州咸豐縣
昭通市大關(guān)縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、萬(wàn)寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、畢節(jié)市納雍縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、岳陽(yáng)市汨羅市、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、綏化市海倫市
瓊海市博鰲鎮(zhèn)、南京市鼓樓區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、沈陽(yáng)市渾南區(qū)
臨汾市古縣、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、衡陽(yáng)市衡南縣、鹽城市響水縣、臨沂市平邑縣、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、酒泉市瓜州縣、淄博市淄川區(qū)、寶雞市麟游縣
畢節(jié)市黔西市、松原市寧江區(qū)、周口市西華縣、鞍山市臺(tái)安縣、銅川市耀州區(qū)、恩施州建始縣、懷化市洪江市、宜春市豐城市、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、天水市麥積區(qū)
臨高縣南寶鎮(zhèn)、湖州市南潯區(qū)、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)、南陽(yáng)市社旗縣、昆明市嵩明縣
長(zhǎng)沙市寧鄉(xiāng)市、韶關(guān)市樂昌市、黃岡市黃州區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、寧夏固原市涇源縣
煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、廣西來(lái)賓市忻城縣、黃岡市浠水縣、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、南充市閬中市、文昌市翁田鎮(zhèn)
龍巖市武平縣、平頂山市魯山縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、鄭州市鞏義市、孝感市孝南區(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)、溫州市鹿城區(qū)、黔東南岑鞏縣、遂寧市蓬溪縣、濮陽(yáng)市范縣
茂名市電白區(qū)、咸陽(yáng)市楊陵區(qū)、贛州市信豐縣、煙臺(tái)市萊山區(qū)、安康市鎮(zhèn)坪縣、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、淮北市濉溪縣
煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、臨沂市蘭陵縣、鄭州市鞏義市、曲靖市沾益區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)
煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、永州市江永縣、十堰市竹溪縣、江門市恩平市、營(yíng)口市站前區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、呂梁市臨縣、黃石市下陸區(qū)、合肥市長(zhǎng)豐縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、黔東南劍河縣、中山市東鳳鎮(zhèn)、宜春市萬(wàn)載縣、安慶市太湖縣
遵義市仁懷市、文昌市東郊鎮(zhèn)、商丘市虞城縣、紅河河口瑤族自治縣、淮南市鳳臺(tái)縣、濰坊市寒亭區(qū)、銅仁市德江縣、東方市四更鎮(zhèn)
海東市循化撒拉族自治縣、白山市撫松縣、大慶市薩爾圖區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、南充市營(yíng)山縣、莆田市秀嶼區(qū)
陽(yáng)泉市城區(qū)、德陽(yáng)市廣漢市、大慶市林甸縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、西雙版納勐海縣、宜賓市興文縣、天水市武山縣
朝陽(yáng)市凌源市、昭通市大關(guān)縣、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、連云港市灌南縣、鶴壁市鶴山區(qū)、甘孜爐霍縣、昆明市富民縣、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、重慶市墊江縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、大同市廣靈縣、隨州市隨縣、九江市潯陽(yáng)區(qū)、德州市夏津縣、甘孜新龍縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、白銀市景泰縣、周口市淮陽(yáng)區(qū)
廣西桂林市象山區(qū)、周口市沈丘縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、撫州市資溪縣、哈爾濱市呼蘭區(qū)、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、南昌市安義縣、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣
鄭州市中原區(qū)、徐州市邳州市、德宏傣族景頗族自治州芒市、寶雞市鳳縣、泰安市寧陽(yáng)縣、沈陽(yáng)市新民市、樂山市沐川縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、宜賓市興文縣
銅仁市沿河土家族自治縣、阜陽(yáng)市阜南縣、贛州市石城縣、泰安市東平縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、漯河市郾城區(qū)、臨汾市古縣
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聊城市莘縣、黔東南臺(tái)江縣、重慶市豐都縣、南昌市青山湖區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗
陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、七臺(tái)河市勃利縣、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、東莞市莞城街道、晉城市陵川縣、青島市即墨區(qū)、黔南惠水縣、成都市彭州市、文昌市重興鎮(zhèn)
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杭州市臨安區(qū)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、沈陽(yáng)市遼中區(qū)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、常德市桃源縣
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阿壩藏族羌族自治州松潘縣、上海市楊浦區(qū)、永州市道縣、十堰市鄖西縣、甘南夏河縣、果洛瑪沁縣、寧夏銀川市賀蘭縣、汕頭市南澳縣、黃山市歙縣、淮北市烈山區(qū)
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延安市延川縣、江門市開平市、鶴壁市淇縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、南充市蓬安縣、普洱市景東彝族自治縣
永州市新田縣、齊齊哈爾市克東縣、福州市連江縣、呂梁市汾陽(yáng)市、聊城市臨清市、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、商丘市梁園區(qū)、大連市沙河口區(qū)、云浮市郁南縣
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松原市長(zhǎng)嶺縣、文山富寧縣、杭州市濱江區(qū)、吉林市永吉縣、內(nèi)江市隆昌市、佛山市禪城區(qū)、延邊汪清縣
張掖市民樂縣、湛江市坡頭區(qū)、鄭州市中牟縣、韶關(guān)市南雄市、信陽(yáng)市光山縣、淮南市謝家集區(qū)、焦作市解放區(qū)、廣西北海市銀海區(qū)、伊春市鐵力市、廣西桂林市荔浦市
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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