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六盤水市水城區(qū)、臨沂市蒙陰縣、金昌市永昌縣、常德市石門縣、莆田市仙游縣、白山市臨江市
常州市武進區(qū)、青島市即墨區(qū)、東莞市塘廈鎮(zhèn)、福州市閩侯縣、張家界市慈利縣
吉林市船營區(qū)、徐州市豐縣、佛山市禪城區(qū)、瓊海市陽江鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、福州市鼓樓區(qū)、淮北市濉溪縣
臨夏和政縣、嘉興市嘉善縣、黃南尖扎縣、上饒市婺源縣、寧夏固原市原州區(qū)
臨夏廣河縣、濮陽市濮陽縣、寶雞市太白縣、榆林市橫山區(qū)、濰坊市高密市
貴陽市白云區(qū)、淮南市田家庵區(qū)、重慶市渝中區(qū)、玉樹囊謙縣、中山市板芙鎮(zhèn)
萬寧市南橋鎮(zhèn)、撫順市清原滿族自治縣、重慶市九龍坡區(qū)、黃石市陽新縣、盤錦市盤山縣、南昌市南昌縣、中山市東區(qū)街道
泰州市靖江市、隨州市廣水市、邵陽市雙清區(qū)、昆明市呈貢區(qū)、成都市溫江區(qū)
成都市龍泉驛區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、貴陽市花溪區(qū)、廣西百色市右江區(qū)、大連市西崗區(qū)
紅河石屏縣、撫州市南城縣、榆林市榆陽區(qū)、瀘州市合江縣、張掖市山丹縣、大同市平城區(qū)
廣州市荔灣區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、樂山市峨眉山市、銅仁市印江縣、儋州市中和鎮(zhèn)、運城市夏縣
甘孜道孚縣、大同市渾源縣、紅河彌勒市、保山市昌寧縣、紅河建水縣
清遠市連州市、東莞市長安鎮(zhèn)、安康市嵐皋縣、朔州市應(yīng)縣、廣西崇左市天等縣、湘西州永順縣、牡丹江市東寧市、渭南市臨渭區(qū)
云浮市郁南縣、寶雞市麟游縣、廣西柳州市魚峰區(qū)、濟寧市兗州區(qū)、撫州市宜黃縣、梅州市梅江區(qū)
漢中市佛坪縣、寧夏吳忠市青銅峽市、吉林市昌邑區(qū)、北京市平谷區(qū)、周口市商水縣、南充市營山縣、株洲市荷塘區(qū)
屯昌縣楓木鎮(zhèn)、岳陽市云溪區(qū)、牡丹江市林口縣、天津市薊州區(qū)、江門市臺山市、寧夏中衛(wèi)市中寧縣
新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、南充市順慶區(qū)、甘南迭部縣、洛陽市老城區(qū)、甘孜康定市、大同市廣靈縣
舟山市定海區(qū)、咸陽市禮泉縣、安慶市宿松縣、廣西柳州市城中區(qū)、牡丹江市穆棱市、菏澤市牡丹區(qū)、東莞市橋頭鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、盤錦市盤山縣、保山市隆陽區(qū)、牡丹江市陽明區(qū)、天津市津南區(qū)、阜新市新邱區(qū)
哈爾濱市方正縣、衢州市龍游縣、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、五指山市番陽、哈爾濱市道里區(qū)、張掖市肅南裕固族自治縣、西安市鄠邑區(qū)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、文昌市重興鎮(zhèn)、襄陽市老河口市、安慶市懷寧縣、株洲市荷塘區(qū)
紅河元陽縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、洛陽市偃師區(qū)、文山馬關(guān)縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
長春市南關(guān)區(qū)、阿壩藏族羌族自治州小金縣、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、達州市大竹縣、福州市倉山區(qū)、平頂山市汝州市
濟南市槐蔭區(qū)、株洲市炎陵縣、雅安市滎經(jīng)縣、渭南市大荔縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、陽泉市盂縣、廣西北海市合浦縣
九江市濂溪區(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)、云浮市云安區(qū)、濟南市濟陽區(qū)、涼山普格縣、樂山市犍為縣、撫州市南城縣、三明市尤溪縣
三亞市崖州區(qū)、黔東南麻江縣、本溪市南芬區(qū)、廣西桂林市雁山區(qū)、達州市開江縣、商丘市柘城縣、楚雄楚雄市
哈爾濱市方正縣、海西蒙古族天峻縣、東莞市高埗鎮(zhèn)、武漢市漢南區(qū)、定安縣定城鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、上饒市橫峰縣、開封市禹王臺區(qū)
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平?jīng)鍪腥A亭縣、煙臺市福山區(qū)、大理漾濞彝族自治縣、汕尾市陸河縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、邵陽市北塔區(qū)、寶雞市扶風(fēng)縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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