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濮陽市南樂縣、南昌市南昌縣、泉州市石獅市、岳陽市岳陽縣、臨沂市沂南縣、大連市普蘭店區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、五指山市毛道、邵陽市城步苗族自治縣、茂名市茂南區(qū)
廣西百色市西林縣、洛陽市澗西區(qū)、成都市錦江區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、南通市如皋市、廣西玉林市北流市
周口市項(xiàng)城市、佛山市禪城區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)、大慶市讓胡路區(qū)、濱州市博興縣、大慶市薩爾圖區(qū)
天水市清水縣、武漢市黃陂區(qū)、佛山市順德區(qū)、南京市雨花臺(tái)區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、太原市清徐縣
廣西玉林市興業(yè)縣、湖州市長(zhǎng)興縣、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、上海市閔行區(qū)、十堰市竹山縣、開封市尉氏縣、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、楚雄雙柏縣
宿遷市沭陽縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、廣安市武勝縣、咸寧市赤壁市、蘇州市吳中區(qū)、陽泉市郊區(qū)
內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、吉安市永新縣、臨滄市永德縣、遼陽市遼陽縣、樂山市峨邊彝族自治縣、宿州市埇橋區(qū)、茂名市電白區(qū)
永州市零陵區(qū)、宿遷市宿豫區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、重慶市酉陽縣、蘭州市安寧區(qū)、江門市鶴山市、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)
淮安市清江浦區(qū)、西雙版納勐臘縣、濟(jì)寧市任城區(qū)、忻州市保德縣、紅河河口瑤族自治縣、蚌埠市淮上區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、安陽市林州市、溫州市龍灣區(qū)
景德鎮(zhèn)市浮梁縣、保山市龍陵縣、宜昌市西陵區(qū)、撫順市撫順縣、阜新市細(xì)河區(qū)
涼山普格縣、哈爾濱市木蘭縣、大理永平縣、棗莊市市中區(qū)、鄭州市金水區(qū)
寧夏固原市彭陽縣、濟(jì)南市平陰縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、贛州市南康區(qū)、遼陽市白塔區(qū)
河源市和平縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、黃岡市羅田縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、沈陽市鐵西區(qū)、宜春市上高縣、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)
西雙版納勐臘縣、武漢市洪山區(qū)、營(yíng)口市西市區(qū)、邵陽市新邵縣、黃石市黃石港區(qū)、定西市隴西縣、延安市甘泉縣、龍巖市永定區(qū)、南昌市南昌縣、襄陽市棗陽市
廣安市前鋒區(qū)、儋州市東成鎮(zhèn)、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、福州市閩侯縣、廣西崇左市憑祥市
臨汾市大寧縣、中山市民眾鎮(zhèn)、文昌市東閣鎮(zhèn)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、宜昌市猇亭區(qū)
滁州市南譙區(qū)、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、遂寧市安居區(qū)、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、鹽城市亭湖區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、孝感市應(yīng)城市
伊春市金林區(qū)、大同市陽高縣、鶴崗市工農(nóng)區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、樂山市馬邊彝族自治縣
廣西柳州市三江侗族自治縣、萬寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、中山市五桂山街道、天津市河?xùn)|區(qū)、大理彌渡縣
南陽市方城縣、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、惠州市惠陽區(qū)、五指山市毛道、廣西崇左市龍州縣、麗水市慶元縣、雞西市梨樹區(qū)、朝陽市建平縣
莆田市荔城區(qū)、晉城市沁水縣、湛江市徐聞縣、廣西欽州市欽北區(qū)、甘孜爐霍縣、重慶市潼南區(qū)、七臺(tái)河市桃山區(qū)、合肥市廬江縣
中山市東區(qū)街道、黔東南錦屏縣、安陽市殷都區(qū)、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、株洲市石峰區(qū)
寧夏銀川市西夏區(qū)、南平市政和縣、福州市鼓樓區(qū)、大理劍川縣、合肥市廬陽區(qū)
中山市板芙鎮(zhèn)、海東市樂都區(qū)、廣安市鄰水縣、廣安市廣安區(qū)、洛陽市伊川縣、龍巖市長(zhǎng)汀縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市
永州市冷水灘區(qū)、莆田市荔城區(qū)、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、淮南市大通區(qū)、南京市鼓樓區(qū)
肇慶市高要區(qū)、金昌市永昌縣、周口市淮陽區(qū)、孝感市安陸市、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、太原市小店區(qū)
池州市青陽縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、成都市龍泉驛區(qū)、常州市天寧區(qū)、黃岡市紅安縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、濰坊市坊子區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)
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慶陽市華池縣、雞西市恒山區(qū)、寧德市福安市、德陽市什邡市、煙臺(tái)市福山區(qū)、佳木斯市樺南縣
昭通市綏江縣、廣州市海珠區(qū)、臨高縣和舍鎮(zhèn)、重慶市合川區(qū)、?？谑旋埲A區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、牡丹江市愛民區(qū)、牡丹江市穆棱市、邵陽市洞口縣
海西蒙古族烏蘭縣、大連市沙河口區(qū)、南陽市淅川縣、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、綏化市綏棱縣、濟(jì)寧市梁山縣、常德市石門縣、黃南尖扎縣
汕頭市濠江區(qū)、宜春市袁州區(qū)、淮南市鳳臺(tái)縣、大連市沙河口區(qū)、雅安市石棉縣、菏澤市牡丹區(qū)、青島市市南區(qū)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
濟(jì)寧市汶上縣、文昌市龍樓鎮(zhèn)、東莞市南城街道、婁底市漣源市、臨夏永靖縣、海北門源回族自治縣、遵義市正安縣
平頂山市新華區(qū)、云浮市羅定市、宜昌市夷陵區(qū)、宜賓市珙縣、延安市宜川縣
內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、荊門市沙洋縣、伊春市豐林縣、黃南尖扎縣、黃岡市黃州區(qū)、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、荊州市松滋市
衢州市開化縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、吉安市遂川縣、嘉興市海鹽縣、平?jīng)鍪袥艽h、濰坊市壽光市、阜陽市潁上縣、遵義市正安縣、儋州市王五鎮(zhèn)
重慶市沙坪壩區(qū)、萬寧市萬城鎮(zhèn)、上海市普陀區(qū)、許昌市襄城縣、果洛瑪沁縣、湛江市遂溪縣、泉州市南安市、屯昌縣新興鎮(zhèn)、婁底市新化縣、定安縣嶺口鎮(zhèn)
廣西柳州市柳江區(qū)、天津市紅橋區(qū)、晉城市高平市、常州市天寧區(qū)、宿州市靈璧縣
池州市貴池區(qū)、達(dá)州市通川區(qū)、宣城市郎溪縣、瀘州市合江縣、大理巍山彝族回族自治縣、廣西貴港市桂平市、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)
廣州市南沙區(qū)、寧德市蕉城區(qū)、贛州市全南縣、清遠(yuǎn)市陽山縣、上饒市萬年縣、恩施州來鳳縣
昭通市威信縣、咸陽市永壽縣、南京市高淳區(qū)、孝感市應(yīng)城市、巴中市恩陽區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、深圳市鹽田區(qū)、宜春市樟樹市、忻州市神池縣
南京市六合區(qū)、邵陽市邵東市、慶陽市正寧縣、咸陽市永壽縣、重慶市江北區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)、黔東南臺(tái)江縣、玉溪市華寧縣、郴州市資興市
南通市如皋市、臨汾市侯馬市、朝陽市龍城區(qū)、樂山市沙灣區(qū)、黔西南興仁市、吉林市磐石市、上海市閔行區(qū)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、曲靖市師宗縣、臨汾市永和縣
濰坊市坊子區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、慶陽市慶城縣、寧夏吳忠市鹽池縣、上饒市廣信區(qū)
阜陽市潁泉區(qū)、平頂山市魯山縣、九江市濂溪區(qū)、文昌市文城鎮(zhèn)、遵義市仁懷市、駐馬店市汝南縣
麗江市華坪縣、貴陽市清鎮(zhèn)市、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、重慶市巫溪縣、徐州市睢寧縣、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、濟(jì)寧市泗水縣、西安市鄠邑區(qū)
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池州市東至縣、廣西防城港市上思縣、六安市霍山縣、泉州市永春縣、成都市大邑縣、臨汾市永和縣、商丘市夏邑縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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