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上饒市德興市、寧德市福鼎市、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、荊門市沙洋縣、無錫市新吳區(qū)、紅河紅河縣、漢中市留壩縣、張掖市民樂縣、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、阜陽市界首市
贛州市寧都縣、清遠(yuǎn)市陽山縣、中山市西區(qū)街道、阜新市細(xì)河區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)
哈爾濱市阿城區(qū)、濰坊市青州市、陽泉市平定縣、韶關(guān)市湞江區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、佳木斯市樺川縣
甘孜得榮縣、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、重慶市榮昌區(qū)、安陽市林州市、聊城市東昌府區(qū)、鶴壁市淇縣、長治市潞城區(qū)、成都市簡陽市
廣西桂林市恭城瑤族自治縣、鄂州市梁子湖區(qū)、肇慶市高要區(qū)、吉安市泰和縣、本溪市南芬區(qū)
屯昌縣楓木鎮(zhèn)、渭南市臨渭區(qū)、杭州市濱江區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、北京市大興區(qū)
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、萬寧市南橋鎮(zhèn)、岳陽市臨湘市、漢中市留壩縣、威海市文登區(qū)、白山市臨江市、定西市安定區(qū)、莆田市荔城區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、宜昌市猇亭區(qū)、臨沂市沂南縣、上海市普陀區(qū)、延安市黃龍縣、鞍山市鐵東區(qū)、九江市廬山市
忻州市代縣、廣西桂林市全州縣、荊門市京山市、迪慶維西傈僳族自治縣、龍巖市上杭縣
重慶市榮昌區(qū)、酒泉市敦煌市、中山市阜沙鎮(zhèn)、周口市扶溝縣、孝感市應(yīng)城市、安康市鎮(zhèn)坪縣、廣西欽州市靈山縣、無錫市新吳區(qū)
漳州市平和縣、大慶市林甸縣、大連市西崗區(qū)、陽江市江城區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)、揭陽市普寧市
臨汾市霍州市、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、廈門市集美區(qū)、荊州市荊州區(qū)、臨滄市永德縣、重慶市銅梁區(qū)、九江市修水縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、福州市馬尾區(qū)
忻州市河曲縣、天津市濱海新區(qū)、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、海北門源回族自治縣、漢中市略陽縣、池州市東至縣、南陽市南召縣
天津市濱海新區(qū)、南充市嘉陵區(qū)、玉溪市澄江市、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、黃岡市黃梅縣、榆林市橫山區(qū)
黔西南興仁市、西安市高陵區(qū)、大理漾濞彝族自治縣、吉安市廬陵新區(qū)、南陽市鄧州市
澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、隴南市兩當(dāng)縣、青島市膠州市、舟山市定海區(qū)、雙鴨山市集賢縣、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、武漢市漢南區(qū)、甘南夏河縣、宜春市銅鼓縣
聊城市東阿縣、汕尾市陸河縣、贛州市贛縣區(qū)、瓊海市龍江鎮(zhèn)、衡陽市石鼓區(qū)、遵義市播州區(qū)、信陽市固始縣、甘孜瀘定縣
安康市旬陽市、連云港市東?？h、涼山冕寧縣、駐馬店市驛城區(qū)、汕頭市龍湖區(qū)、甘孜雅江縣
達(dá)州市宣漢縣、中山市南頭鎮(zhèn)、九江市彭澤縣、上海市金山區(qū)、朝陽市朝陽縣、白城市洮北區(qū)、臨汾市大寧縣、甘孜德格縣
泉州市石獅市、直轄縣天門市、萬寧市南橋鎮(zhèn)、臺州市路橋區(qū)、通化市二道江區(qū)、咸寧市通山縣、榆林市榆陽區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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