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呂梁市離石區(qū)、廣西百色市右江區(qū)、文昌市重興鎮(zhèn)、常德市石門縣、保山市施甸縣、隴南市禮縣、宜賓市江安縣
大慶市讓胡路區(qū)、東莞市石碣鎮(zhèn)、泰州市興化市、盤錦市盤山縣、成都市青羊區(qū)、延安市黃陵縣、大連市瓦房店市、晉中市祁縣
景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、無錫市宜興市、麗水市縉云縣、平?jīng)鍪徐`臺縣、延邊圖們市、寧夏吳忠市利通區(qū)、商洛市鎮(zhèn)安縣、懷化市麻陽苗族自治縣、萬寧市和樂鎮(zhèn)、重慶市大足區(qū)
武威市天祝藏族自治縣、吉林市豐滿區(qū)、衡陽市衡南縣、德陽市羅江區(qū)、黃岡市浠水縣、清遠(yuǎn)市清新區(qū)
涼山布拖縣、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、泉州市南安市、十堰市丹江口市、上海市青浦區(qū)、臨沂市臨沭縣
內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、洛陽市偃師區(qū)、長治市長子縣、阜陽市太和縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、重慶市彭水苗族土家族自治縣、寧夏銀川市靈武市、瀘州市古藺縣、海北祁連縣
紹興市上虞區(qū)、慶陽市合水縣、西安市周至縣、淄博市沂源縣、成都市龍泉驛區(qū)
吉安市吉州區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、渭南市華州區(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)、商洛市柞水縣、宿州市蕭縣、上饒市信州區(qū)、五指山市通什、哈爾濱市通河縣
廣西玉林市玉州區(qū)、日照市莒縣、荊門市東寶區(qū)、河源市龍川縣、懷化市沅陵縣、六安市裕安區(qū)、成都市簡陽市、青島市嶗山區(qū)、屯昌縣新興鎮(zhèn)、甘孜爐霍縣
武漢市江岸區(qū)、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、曲靖市陸良縣、茂名市高州市、紅河石屏縣
汕頭市龍湖區(qū)、東莞市道滘鎮(zhèn)、甘南舟曲縣、廣西來賓市武宣縣、西安市新城區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗
瓊海市博鰲鎮(zhèn)、淄博市臨淄區(qū)、遵義市鳳岡縣、東莞市石碣鎮(zhèn)、泉州市德化縣、溫州市泰順縣、淮南市謝家集區(qū)
哈爾濱市賓縣、荊州市沙市區(qū)、滁州市南譙區(qū)、郴州市臨武縣、吉安市萬安縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、煙臺市龍口市、福州市平潭縣、吉林市蛟河市、常德市桃源縣
保山市施甸縣、忻州市定襄縣、晉中市祁縣、中山市大涌鎮(zhèn)、遼源市西安區(qū)、徐州市沛縣、洛陽市偃師區(qū)、安康市白河縣
武漢市漢陽區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、湖州市南潯區(qū)、嘉興市海寧市、梅州市五華縣、鶴崗市向陽區(qū)、十堰市張灣區(qū)
三門峽市盧氏縣、鶴壁市??h、運(yùn)城市萬榮縣、濟(jì)南市平陰縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、廣西桂林市灌陽縣、朔州市平魯區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、甘孜白玉縣、十堰市竹山縣
本溪市桓仁滿族自治縣、寧夏固原市隆德縣、廣西賀州市八步區(qū)、甘孜道孚縣、贛州市大余縣、瀘州市敘永縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、駐馬店市確山縣
三明市沙縣區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)、武漢市黃陂區(qū)、大興安嶺地區(qū)漠河市、呂梁市方山縣、蚌埠市五河縣、周口市淮陽區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、畢節(jié)市黔西市
馬鞍山市雨山區(qū)、廣西梧州市蒼梧縣、徐州市云龍區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)、廣西南寧市馬山縣
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內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、荊門市掇刀區(qū)、南充市閬中市、中山市中山港街道、鹽城市東臺市
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株洲市天元區(qū)、成都市都江堰市、六安市金安區(qū)、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、定西市通渭縣、福州市平潭縣、吉安市吉安縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?,F(xiàn)在,這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡稱“恒格微電子”)發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作,一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?;瘧?yīng)用;另一家為三疊紀(jì)公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及,目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證,并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?,薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上,海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下,國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”,運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線,填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元,同比增長22.46%,比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn),近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出,推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年,設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元,占了大頭。對比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè),接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞,機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會提出芯片改版的需求,使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時(shí)會把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會更加復(fù)雜?!秉S道遠(yuǎn)表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片,瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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