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汕尾市城區(qū)、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、嘉興市海鹽縣、朔州市平魯區(qū)、鄂州市華容區(qū)
遂寧市安居區(qū)、天津市靜海區(qū)、伊春市烏翠區(qū)、宣城市旌德縣、廣西柳州市融安縣、文昌市鋪前鎮(zhèn)、臨汾市大寧縣、盤錦市大洼區(qū)、揚州市江都區(qū)、長春市榆樹市
鶴崗市南山區(qū)、揭陽市惠來縣、北京市海淀區(qū)、梅州市大埔縣、運城市聞喜縣、榆林市榆陽區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)
大同市靈丘縣、安陽市內(nèi)黃縣、南陽市唐河縣、威海市榮成市、沈陽市康平縣、邵陽市武岡市
陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、常德市漢壽縣、定西市岷縣、廣州市海珠區(qū)、南陽市唐河縣、太原市小店區(qū)、威海市榮成市、濱州市惠民縣、蘭州市皋蘭縣、樂東黎族自治縣千家鎮(zhèn)
天水市張家川回族自治縣、眉山市仁壽縣、許昌市長葛市、忻州市保德縣、郴州市嘉禾縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、綏化市明水縣
吉安市遂川縣、廣西百色市田東縣、南平市延平區(qū)、瓊海市長坡鎮(zhèn)、贛州市于都縣、太原市晉源區(qū)、長治市襄垣縣、黑河市孫吳縣
成都市成華區(qū)、肇慶市高要區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、惠州市惠陽區(qū)、朔州市朔城區(qū)、萬寧市禮紀鎮(zhèn)、廣西桂林市荔浦市、大同市陽高縣、茂名市化州市
景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏海市烏達區(qū)、德州市夏津縣、渭南市澄城縣
達州市萬源市、宿遷市沭陽縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽縣、黔西南安龍縣、汕頭市澄海區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、麗水市景寧畬族自治縣
開封市龍亭區(qū)、榆林市府谷縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、廣西百色市平果市、鶴崗市綏濱縣、滁州市鳳陽縣、茂名市電白區(qū)
宣城市宣州區(qū)、遵義市仁懷市、遼源市西安區(qū)、大同市廣靈縣、益陽市桃江縣、宜昌市興山縣、重慶市巴南區(qū)
吉安市永豐縣、哈爾濱市道外區(qū)、郴州市桂陽縣、雞西市城子河區(qū)、開封市禹王臺區(qū)、銅陵市樅陽縣、荊州市監(jiān)利市、瓊海市陽江鎮(zhèn)
榆林市吳堡縣、伊春市湯旺縣、大同市新榮區(qū)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、廣西南寧市江南區(qū)、五指山市番陽、新鄉(xiāng)市原陽縣
漳州市龍海區(qū)、銅仁市石阡縣、鄭州市管城回族區(qū)、開封市龍亭區(qū)、肇慶市鼎湖區(qū)、南昌市南昌縣
遵義市正安縣、荊州市監(jiān)利市、遵義市湄潭縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)
安陽市龍安區(qū)、眉山市青神縣、五指山市毛道、沈陽市皇姑區(qū)、齊齊哈爾市建華區(qū)
青島市嶗山區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、臨汾市浮山縣、岳陽市湘陰縣、遼陽市太子河區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、上饒市廣豐區(qū)
焦作市溫縣、廣西來賓市興賓區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、三亞市海棠區(qū)、黔西南望謨縣、商丘市虞城縣、濰坊市臨朐縣、福州市鼓樓區(qū)、攀枝花市米易縣、吉安市吉州區(qū)
雅安市雨城區(qū)、肇慶市端州區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、廈門市湖里區(qū)、麗水市松陽縣、安慶市太湖縣、宜昌市宜都市
株洲市天元區(qū)、成都市都江堰市、六安市金安區(qū)、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、定西市通渭縣、福州市平潭縣、吉安市吉安縣
眉山市仁壽縣、三沙市西沙區(qū)、綿陽市平武縣、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、吉林市蛟河市、楚雄姚安縣、文山文山市
棗莊市臺兒莊區(qū)、吉安市安福縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、新鄉(xiāng)市原陽縣、酒泉市肅州區(qū)、深圳市鹽田區(qū)
銅川市王益區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、湘西州花垣縣、洛陽市洛龍區(qū)、淮安市漣水縣、廣州市荔灣區(qū)、汕頭市南澳縣、洛陽市洛寧縣、伊春市友好區(qū)、畢節(jié)市織金縣
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樂山市五通橋區(qū)、武威市民勤縣、攀枝花市米易縣、海南共和縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、萬寧市禮紀鎮(zhèn)、雙鴨山市嶺東區(qū)、三明市建寧縣
淮南市壽縣、通化市二道江區(qū)、長治市長子縣、德州市寧津縣、樂東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、廣西柳州市柳城縣、甘孜稻城縣、南陽市淅川縣、楚雄永仁縣
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文山廣南縣、南昌市新建區(qū)、黔西南貞豐縣、涼山鹽源縣、廣西貴港市平南縣、荊門市沙洋縣、南充市閬中市、六安市霍山縣
盤錦市雙臺子區(qū)、鐵嶺市鐵嶺縣、七臺河市桃山區(qū)、荊州市公安縣、昆明市呈貢區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、中山市西區(qū)街道、龍巖市長汀縣、宜賓市筠連縣、綏化市明水縣
合肥市廬江縣、成都市大邑縣、東莞市厚街鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、朔州市應(yīng)縣、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、天水市甘谷縣
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周口市太康縣、龍巖市新羅區(qū)、岳陽市臨湘市、成都市武侯區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、廣元市昭化區(qū)、雙鴨山市饒河縣、阿壩藏族羌族自治州金川縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、鄭州市登封市
南通市海安市、棗莊市滕州市、武漢市漢陽區(qū)、吉安市新干縣、巴中市南江縣、攀枝花市西區(qū)、海西蒙古族天峻縣、重慶市武隆區(qū)
松原市乾安縣、汕頭市澄海區(qū)、雞西市梨樹區(qū)、綿陽市鹽亭縣、南平市順昌縣、韶關(guān)市曲江區(qū)、佳木斯市郊區(qū)、佛山市南海區(qū)、資陽市樂至縣、上饒市弋陽縣
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南京市鼓樓區(qū)、徐州市鼓樓區(qū)、肇慶市廣寧縣、渭南市韓城市、呂梁市柳林縣、汕頭市潮陽區(qū)、東莞市洪梅鎮(zhèn)
重慶市開州區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、濟南市萊蕪區(qū)、朝陽市朝陽縣、蕪湖市弋江區(qū)
海口市秀英區(qū)、齊齊哈爾市依安縣、鹽城市射陽縣、廣西桂林市靈川縣、蘇州市吳江區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣
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遼源市西安區(qū)、廣西桂林市興安縣、曲靖市沾益區(qū)、泉州市南安市、寧夏銀川市靈武市
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蕪湖市鏡湖區(qū)、寧德市壽寧縣、溫州市洞頭區(qū)、合肥市廬江縣、達州市開江縣、煙臺市萊陽市、麗水市景寧畬族自治縣、隨州市隨縣、湖州市德清縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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