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上饒市玉山縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、慶陽(yáng)市環(huán)縣、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、松原市乾安縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、廣元市昭化區(qū)、安康市嵐皋縣
周口市沈丘縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、甘孜白玉縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
聊城市東昌府區(qū)、黃山市休寧縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、晉城市城區(qū)、張家界市慈利縣、陽(yáng)江市江城區(qū)、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、廣西賀州市平桂區(qū)、南陽(yáng)市方城縣
六盤(pán)水市鐘山區(qū)、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、六安市霍山縣、漢中市勉縣
平頂山市汝州市、廣州市越秀區(qū)、定安縣定城鎮(zhèn)、遵義市鳳岡縣、咸寧市嘉魚(yú)縣、惠州市惠東縣、晉中市和順縣、曲靖市師宗縣、玉樹(shù)曲麻萊縣、涼山雷波縣
甘南臨潭縣、黃石市大冶市、晉中市祁縣、蘇州市太倉(cāng)市、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、攀枝花市西區(qū)、遵義市鳳岡縣、上海市金山區(qū)
哈爾濱市香坊區(qū)、達(dá)州市渠縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、云浮市新興縣、上海市靜安區(qū)
昆明市西山區(qū)、深圳市福田區(qū)、遵義市播州區(qū)、攀枝花市米易縣、衡陽(yáng)市雁峰區(qū)
運(yùn)城市芮城縣、黃岡市紅安縣、滁州市來(lái)安縣、菏澤市成武縣、洛陽(yáng)市新安縣
新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、果洛達(dá)日縣、上海市黃浦區(qū)、文山馬關(guān)縣、廣西南寧市良慶區(qū)、畢節(jié)市金沙縣、黔南福泉市
臨汾市洪洞縣、酒泉市金塔縣、伊春市豐林縣、黔西南冊(cè)亨縣、北京市豐臺(tái)區(qū)、鶴壁市浚縣、廣西北海市海城區(qū)、盤(pán)錦市盤(pán)山縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)
廣西柳州市柳北區(qū)、酒泉市玉門(mén)市、延安市子長(zhǎng)市、漯河市召陵區(qū)、果洛瑪多縣、湖州市安吉縣、銅仁市印江縣、白銀市白銀區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
濟(jì)南市商河縣、貴陽(yáng)市修文縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、樂(lè)山市市中區(qū)、龍巖市連城縣、麗江市永勝縣、日照市東港區(qū)
廣西來(lái)賓市忻城縣、汕尾市海豐縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、儋州市雅星鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)、德陽(yáng)市旌陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、徐州市新沂市、平?jīng)鍪谐缧趴h
陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、昆明市五華區(qū)、成都市青羊區(qū)、黃石市大冶市、重慶市云陽(yáng)縣、寧波市北侖區(qū)、重慶市武隆區(qū)、濰坊市昌邑市
伊春市大箐山縣、廣西桂林市疊彩區(qū)、白山市臨江市、普洱市墨江哈尼族自治縣、臨沂市郯城縣
常德市漢壽縣、淮南市謝家集區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、四平市鐵西區(qū)、宜賓市珙縣、成都市龍泉驛區(qū)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)
營(yíng)口市蓋州市、紹興市嵊州市、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)、綏化市明水縣、棗莊市山亭區(qū)、潮州市湘橋區(qū)、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣
保山市昌寧縣、杭州市富陽(yáng)區(qū)、商丘市寧陵縣、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、東莞市常平鎮(zhèn)、泰安市肥城市、許昌市建安區(qū)
邵陽(yáng)市綏寧縣、榆林市吳堡縣、上海市浦東新區(qū)、臨沂市沂南縣、貴陽(yáng)市修文縣、聊城市莘縣
信陽(yáng)市潢川縣、黃岡市紅安縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、上海市閔行區(qū)
臨高縣皇桐鎮(zhèn)、果洛達(dá)日縣、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、廣西梧州市蒙山縣、荊門(mén)市鐘祥市、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、榆林市橫山區(qū)
滁州市定遠(yuǎn)縣、咸陽(yáng)市武功縣、陽(yáng)泉市礦區(qū)、贛州市信豐縣、泉州市惠安縣、天津市東麗區(qū)、威海市文登區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、河源市源城區(qū)
哈爾濱市平房區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、本溪市南芬區(qū)、天水市清水縣、三門(mén)峽市靈寶市、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)
直轄縣天門(mén)市、紅河彌勒市、西寧市湟中區(qū)、撫州市崇仁縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、廣西來(lái)賓市武宣縣
甘孜理塘縣、宜昌市秭歸縣、南京市雨花臺(tái)區(qū)、延安市延川縣、張家界市桑植縣
雞西市滴道區(qū)、臨汾市襄汾縣、延邊琿春市、株洲市淥口區(qū)、臨沂市蒙陰縣
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綿陽(yáng)市涪城區(qū)、涼山木里藏族自治縣、嘉興市平湖市、廣西南寧市馬山縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、黔東南臺(tái)江縣、渭南市大荔縣
濟(jì)寧市微山縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、洛陽(yáng)市孟津區(qū)、成都市錦江區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)
廣西貴港市港北區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、揭陽(yáng)市揭西縣、通化市東昌區(qū)
東莞市東城街道、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、常德市安鄉(xiāng)縣、榆林市定邊縣、東方市天安鄉(xiāng)、儋州市大成鎮(zhèn)、宿州市埇橋區(qū)
屯昌縣坡心鎮(zhèn)、西安市碑林區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、信陽(yáng)市光山縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)
廣西防城港市東興市、黔南羅甸縣、安慶市迎江區(qū)、綏化市安達(dá)市、寧德市霞浦縣
東莞市黃江鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、盤(pán)錦市大洼區(qū)、重慶市城口縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、武威市民勤縣
昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、安順市西秀區(qū)、太原市晉源區(qū)、東方市江邊鄉(xiāng)、上饒市余干縣、泉州市晉江市、懷化市鶴城區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、廣西玉林市博白縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、楚雄大姚縣、東莞市謝崗鎮(zhèn)、葫蘆島市連山區(qū)、駐馬店市平輿縣、黔南都勻市、丹東市鳳城市
株洲市淥口區(qū)、海西蒙古族德令哈市、鶴崗市南山區(qū)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市、銅仁市石阡縣、青島市市南區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、宜賓市敘州區(qū)
慶陽(yáng)市合水縣、定西市臨洮縣、廣安市岳池縣、大理祥云縣、開(kāi)封市順河回族區(qū)、白銀市白銀區(qū)
中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、菏澤市成武縣、撫州市金溪縣、白城市通榆縣、恩施州利川市、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
西安市鄠邑區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)、三亞市吉陽(yáng)區(qū)、茂名市高州市、贛州市尋烏縣、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)
濟(jì)源市市轄區(qū)、三亞市吉陽(yáng)區(qū)、黑河市孫吳縣、寧波市江北區(qū)、普洱市墨江哈尼族自治縣、黃南尖扎縣、海東市循化撒拉族自治縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、丹東市振安區(qū)
安康市紫陽(yáng)縣、南昌市灣里區(qū)、許昌市長(zhǎng)葛市、重慶市巫山縣、綏化市望奎縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、晉中市太谷區(qū)
酒泉市瓜州縣、廣西百色市西林縣、臺(tái)州市仙居縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、德州市陵城區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣
南充市南部縣、滁州市定遠(yuǎn)縣、十堰市茅箭區(qū)、深圳市龍華區(qū)、寧夏固原市西吉縣、福州市羅源縣、廣西百色市隆林各族自治縣、濰坊市坊子區(qū)、資陽(yáng)市樂(lè)至縣
郴州市臨武縣、婁底市新化縣、巴中市平昌縣、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、海西蒙古族烏蘭縣、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、運(yùn)城市稷山縣、泰安市泰山區(qū)、延邊龍井市、瀘州市合江縣
北京市門(mén)頭溝區(qū)、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、太原市清徐縣、景德鎮(zhèn)市樂(lè)平市、杭州市建德市
商洛市商南縣、瀘州市合江縣、黔西南普安縣、麗江市古城區(qū)、黔南荔波縣、瀘州市敘永縣、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、南陽(yáng)市桐柏縣
揭陽(yáng)市普寧市、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、臨夏永靖縣、洛陽(yáng)市新安縣、鹽城市建湖縣、安康市漢濱區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)、泉州市晉江市、南充市儀隴縣、福州市鼓樓區(qū)
廣西玉林市福綿區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、大連市長(zhǎng)?？h、安康市嵐皋縣、德宏傣族景頗族自治州芒市、濰坊市壽光市、龍巖市連城縣、丹東市寬甸滿族自治縣
阿壩藏族羌族自治州汶川縣、四平市伊通滿族自治縣、重慶市涪陵區(qū)、慶陽(yáng)市慶城縣、貴陽(yáng)市南明區(qū)、葫蘆島市連山區(qū)、濰坊市青州市
臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、延邊龍井市、哈爾濱市阿城區(qū)
鶴壁市淇縣、廣西欽州市欽南區(qū)、七臺(tái)河市勃利縣、重慶市沙坪壩區(qū)、淮南市壽縣、廣西崇左市憑祥市、漯河市舞陽(yáng)縣、合肥市蜀山區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)、東方市天安鄉(xiāng)
涼山普格縣、哈爾濱市木蘭縣、大理永平縣、棗莊市市中區(qū)、鄭州市金水區(qū)
寧夏銀川市永寧縣、南陽(yáng)市宛城區(qū)、寶雞市隴縣、慶陽(yáng)市寧縣、海東市民和回族土族自治縣、青島市平度市
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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