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中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、亳州市渦陽縣、信陽市平橋區(qū)、茂名市化州市、寧夏固原市原州區(qū)、廣西賀州市富川瑤族自治縣、上饒市玉山縣、萬寧市后安鎮(zhèn)、上饒市婺源縣
郴州市北湖區(qū)、贛州市瑞金市、太原市古交市、雞西市雞冠區(qū)、滁州市南譙區(qū)、淮南市八公山區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、涼山布拖縣、文昌市東路鎮(zhèn)、梅州市平遠(yuǎn)縣
盤錦市雙臺(tái)子區(qū)、鐵嶺市鐵嶺縣、七臺(tái)河市桃山區(qū)、荊州市公安縣、昆明市呈貢區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、中山市西區(qū)街道、龍巖市長汀縣、宜賓市筠連縣、綏化市明水縣
安慶市迎江區(qū)、濟(jì)源市市轄區(qū)、鶴崗市東山區(qū)、瀘州市瀘縣、肇慶市高要區(qū)、涼山布拖縣、十堰市茅箭區(qū)、瀘州市合江縣、遼源市龍山區(qū)、重慶市九龍坡區(qū)
信陽市商城縣、金華市永康市、東莞市麻涌鎮(zhèn)、綏化市蘭西縣、玉溪市峨山彝族自治縣、德陽市什邡市、遵義市紅花崗區(qū)
蚌埠市龍子湖區(qū)、寶雞市陳倉區(qū)、四平市公主嶺市、張掖市高臺(tái)縣、楚雄永仁縣、菏澤市巨野縣、昭通市永善縣、綏化市海倫市、廣西崇左市龍州縣
保山市昌寧縣、杭州市富陽區(qū)、商丘市寧陵縣、遼陽市遼陽縣、東莞市常平鎮(zhèn)、泰安市肥城市、許昌市建安區(qū)
北京市昌平區(qū)、洛陽市宜陽縣、荊門市沙洋縣、宿州市蕭縣、廣西崇左市扶綏縣、臺(tái)州市溫嶺市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、普洱市景谷傣族彝族自治縣
瓊海市博鰲鎮(zhèn)、淄博市臨淄區(qū)、遵義市鳳岡縣、東莞市石碣鎮(zhèn)、泉州市德化縣、溫州市泰順縣、淮南市謝家集區(qū)
曲靖市富源縣、鶴崗市興安區(qū)、南陽市臥龍區(qū)、清遠(yuǎn)市陽山縣、景德鎮(zhèn)市樂平市、長沙市天心區(qū)、臨汾市洪洞縣
吉林市舒蘭市、安慶市桐城市、信陽市息縣、葫蘆島市興城市、安陽市文峰區(qū)、臺(tái)州市玉環(huán)市
天津市薊州區(qū)、萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、牡丹江市東寧市、安陽市龍安區(qū)、海西蒙古族茫崖市、酒泉市肅州區(qū)、武漢市江夏區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、臨滄市鳳慶縣、大連市旅順口區(qū)
廣州市越秀區(qū)、杭州市江干區(qū)、新余市分宜縣、揚(yáng)州市寶應(yīng)縣、懷化市中方縣、開封市尉氏縣、淄博市高青縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗
懷化市靖州苗族侗族自治縣、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、陽泉市城區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、咸寧市嘉魚縣
涼山冕寧縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、東莞市虎門鎮(zhèn)、直轄縣潛江市、定西市通渭縣
大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、合肥市廬江縣、惠州市惠東縣、宿州市埇橋區(qū)、廣西百色市田陽區(qū)、焦作市博愛縣、慶陽市正寧縣、孝感市應(yīng)城市、淮南市壽縣
福州市長樂區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)、昆明市石林彝族自治縣、太原市晉源區(qū)、甘南碌曲縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、安慶市桐城市、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)
大慶市紅崗區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、廣州市越秀區(qū)、漳州市東山縣、武漢市青山區(qū)、臨沂市蘭陵縣、文山硯山縣、海口市秀英區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、鹽城市建湖縣
無錫市宜興市、延安市宜川縣、益陽市安化縣、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、儋州市光村鎮(zhèn)
撫州市南豐縣、白山市渾江區(qū)、黔西南安龍縣、許昌市魏都區(qū)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、韶關(guān)市武江區(qū)、儋州市南豐鎮(zhèn)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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