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撫州市資溪縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、溫州市洞頭區(qū)、廣西北海市海城區(qū)
保山市施甸縣、汕頭市龍湖區(qū)、懷化市新晃侗族自治縣、黔南長(zhǎng)順縣、阜陽(yáng)市潁上縣
臨沂市臨沭縣、酒泉市肅州區(qū)、聊城市東阿縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、巴中市巴州區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、廣西百色市德?？h、濰坊市昌邑市、果洛瑪多縣、東營(yíng)市利津縣
梅州市五華縣、玉溪市峨山彝族自治縣、綿陽(yáng)市梓潼縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、開封市龍亭區(qū)、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、延邊龍井市
濰坊市壽光市、重慶市南岸區(qū)、錦州市太和區(qū)、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、遼源市東遼縣、上海市奉賢區(qū)、阜新市海州區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、婁底市冷水江市
龍巖市武平縣、伊春市友好區(qū)、六安市霍山縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、成都市新都區(qū)、重慶市奉節(jié)縣、中山市東升鎮(zhèn)、莆田市城廂區(qū)、鐵嶺市開原市
周口市鹿邑縣、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、渭南市合陽(yáng)縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、綿陽(yáng)市鹽亭縣、肇慶市高要區(qū)、郴州市安仁縣、洛陽(yáng)市伊川縣
紹興市越城區(qū)、廣西崇左市江州區(qū)、菏澤市巨野縣、焦作市沁陽(yáng)市、亳州市利辛縣、果洛班瑪縣、撫順市新?lián)釁^(qū)、泰安市寧陽(yáng)縣
雙鴨山市集賢縣、廣西南寧市青秀區(qū)、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣、咸陽(yáng)市興平市、成都市雙流區(qū)
濟(jì)南市章丘區(qū)、中山市神灣鎮(zhèn)、周口市沈丘縣、定西市通渭縣、蘭州市紅古區(qū)、蘇州市吳江區(qū)、廈門市海滄區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市
綿陽(yáng)市游仙區(qū)、五指山市通什、龍巖市長(zhǎng)汀縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、廣西柳州市融安縣、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)
臨沂市蒙陰縣、西安市灞橋區(qū)、合肥市瑤海區(qū)、臨汾市安澤縣、江門市江海區(qū)、常德市津市市、黃南河南蒙古族自治縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、黃岡市麻城市、商洛市洛南縣
呂梁市石樓縣、昭通市永善縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、佛山市順德區(qū)、上海市青浦區(qū)、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)
果洛達(dá)日縣、甘南舟曲縣、郴州市資興市、衡陽(yáng)市衡東縣、廣西南寧市上林縣
安陽(yáng)市湯陰縣、肇慶市懷集縣、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、深圳市坪山區(qū)、南京市浦口區(qū)
陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、昆明市五華區(qū)、成都市青羊區(qū)、黃石市大冶市、重慶市云陽(yáng)縣、寧波市北侖區(qū)、重慶市武隆區(qū)、濰坊市昌邑市
瀘州市合江縣、忻州市五臺(tái)縣、雙鴨山市集賢縣、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、商洛市丹鳳縣、宜昌市秭歸縣、寧夏吳忠市利通區(qū)、松原市乾安縣
大同市靈丘縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、淄博市博山區(qū)、西安市高陵區(qū)、安慶市宿松縣、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、荊州市監(jiān)利市
上海市松江區(qū)、綿陽(yáng)市鹽亭縣、天津市津南區(qū)、漳州市薌城區(qū)、舟山市普陀區(qū)、甘孜九龍縣、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、大慶市紅崗區(qū)、晉城市澤州縣
榆林市佳縣、菏澤市曹縣、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、果洛瑪沁縣、威海市環(huán)翠區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、漢中市寧強(qiáng)縣、東營(yíng)市利津縣、肇慶市廣寧縣
蘇州市常熟市、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、大慶市龍鳳區(qū)、延安市安塞區(qū)
攀枝花市西區(qū)、北京市石景山區(qū)、齊齊哈爾市克山縣、紅河河口瑤族自治縣、吉安市峽江縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、衢州市衢江區(qū)
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萍鄉(xiāng)市上栗縣、海南同德縣、涼山甘洛縣、懷化市溆浦縣、樂山市馬邊彝族自治縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、寧夏固原市涇源縣、營(yíng)口市鲅魚圈區(qū)
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涼山美姑縣、荊門市京山市、慶陽(yáng)市合水縣、東方市感城鎮(zhèn)、馬鞍山市雨山區(qū)
通化市輝南縣、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、咸寧市嘉魚縣、咸陽(yáng)市禮泉縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、攀枝花市米易縣
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廣西賀州市富川瑤族自治縣、上海市松江區(qū)、合肥市包河區(qū)、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、運(yùn)城市垣曲縣、河源市和平縣、廣元市蒼溪縣、葫蘆島市綏中縣、白山市臨江市、畢節(jié)市赫章縣
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遵義市仁懷市、玉溪市新平彝族傣族自治縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、玉樹雜多縣、內(nèi)江市東興區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗
平?jīng)鍪袥艽h、重慶市涪陵區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、吉安市峽江縣、海南貴德縣、忻州市偏關(guān)縣
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長(zhǎng)治市襄垣縣、贛州市定南縣、晉中市榆社縣、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、佛山市高明區(qū)、金華市永康市、上海市徐匯區(qū)
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新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、金華市武義縣、重慶市酉陽(yáng)縣、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市潁上縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、常州市溧陽(yáng)市、臨滄市鳳慶縣
白銀市景泰縣、榆林市府谷縣、延邊龍井市、定西市隴西縣、上饒市信州區(qū)
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德州市夏津縣、吉林市船營(yíng)區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、衡陽(yáng)市石鼓區(qū)、昭通市鹽津縣、儋州市光村鎮(zhèn)、嘉興市平湖市、昭通市巧家縣
錦州市北鎮(zhèn)市、阜陽(yáng)市太和縣、連云港市贛榆區(qū)、四平市雙遼市、煙臺(tái)市萊山區(qū)、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、七臺(tái)河市桃山區(qū)、龍巖市新羅區(qū)、商洛市柞水縣
廣西來(lái)賓市金秀瑤族自治縣、淮南市謝家集區(qū)、東莞市塘廈鎮(zhèn)、大連市長(zhǎng)?？h、西寧市城北區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、黔西南望謨縣
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撫州市南豐縣、紅河蒙自市、三門峽市靈寶市、三沙市西沙區(qū)、常德市鼎城區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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