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金華市磐安縣、涼山布拖縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、廣西柳州市魚峰區(qū)、惠州市惠陽區(qū)、常德市桃源縣、濰坊市臨朐縣
吉安市永豐縣、哈爾濱市道外區(qū)、郴州市桂陽縣、雞西市城子河區(qū)、開封市禹王臺(tái)區(qū)、銅陵市樅陽縣、荊州市監(jiān)利市、瓊海市陽江鎮(zhèn)
淮南市田家庵區(qū)、徐州市睢寧縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、濟(jì)寧市鄒城市、三門峽市盧氏縣、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、無錫市濱湖區(qū)
遼陽市太子河區(qū)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、西安市長安區(qū)、三明市明溪縣、泉州市惠安縣、徐州市云龍區(qū)、榆林市清澗縣、焦作市修武縣、寶雞市眉縣、金華市金東區(qū)
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內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、雞西市麻山區(qū)、朝陽市建平縣、濰坊市坊子區(qū)
盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、徐州市泉山區(qū)、伊春市南岔縣、臨夏臨夏縣、寧夏固原市涇源縣、荊州市松滋市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、楚雄姚安縣
懷化市沅陵縣、上海市寶山區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、長春市南關(guān)區(qū)、荊州市石首市、宜昌市五峰土家族自治縣、延邊龍井市、日照市東港區(qū)、臨沂市羅莊區(qū)
亳州市利辛縣、河源市紫金縣、成都市郫都區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、鹽城市亭湖區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、淮安市淮陰區(qū)、洛陽市澗西區(qū)
淄博市沂源縣、常德市安鄉(xiāng)縣、榆林市榆陽區(qū)、重慶市江津區(qū)、淄博市張店區(qū)、濰坊市青州市、宜賓市敘州區(qū)、萍鄉(xiāng)市蓮花縣、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)
直轄縣仙桃市、三明市尤溪縣、淮北市杜集區(qū)、孝感市漢川市、廣西梧州市岑溪市
佳木斯市樺南縣、海西蒙古族格爾木市、南昌市青山湖區(qū)、上海市奉賢區(qū)、黔南荔波縣、濟(jì)寧市泗水縣
張家界市桑植縣、東莞市東城街道、青島市李滄區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、惠州市惠陽區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗
黃石市大冶市、無錫市惠山區(qū)、梅州市平遠(yuǎn)縣、龍巖市新羅區(qū)、天津市薊州區(qū)、長沙市望城區(qū)、貴陽市清鎮(zhèn)市、清遠(yuǎn)市連南瑤族自治縣
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白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、婁底市漣源市、中山市三角鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、營口市鲅魚圈區(qū)、重慶市巫山縣、阜新市新邱區(qū)
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煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、朝陽市龍城區(qū)、廣西百色市右江區(qū)、麗水市遂昌縣、咸陽市旬邑縣、吉安市泰和縣、沈陽市蘇家屯區(qū)、江門市新會(huì)區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)
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沈陽市大東區(qū)、漯河市臨潁縣、通化市集安市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、滁州市南譙區(qū)
溫州市永嘉縣、三亞市吉陽區(qū)、吉安市永新縣、重慶市璧山區(qū)、果洛甘德縣、晉城市澤州縣、沈陽市沈北新區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、三明市三元區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣
廣西賀州市平桂區(qū)、廣西柳州市融安縣、上饒市廣豐區(qū)、武威市涼州區(qū)、揚(yáng)州市寶應(yīng)縣、朝陽市雙塔區(qū)、渭南市富平縣、煙臺(tái)市龍口市、慶陽市華池縣
宜昌市秭歸縣、宜賓市興文縣、甘南合作市、鶴崗市興安區(qū)、云浮市羅定市、阜陽市阜南縣、成都市新津區(qū)
白銀市會(huì)寧縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、撫州市金溪縣、郴州市資興市、咸陽市渭城區(qū)、湛江市徐聞縣、成都市彭州市、泉州市永春縣
樂山市市中區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、晉中市和順縣、大連市普蘭店區(qū)、瓊海市中原鎮(zhèn)、撫順市撫順縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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