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鹽城市建湖縣、定安縣龍門鎮(zhèn)、沈陽市沈河區(qū)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、晉中市昔陽縣
永州市雙牌縣、錦州市太和區(qū)、鹽城市亭湖區(qū)、南通市如東縣、莆田市仙游縣、蘇州市吳江區(qū)、涼山喜德縣、黃山市祁門縣、黃石市大冶市、泉州市洛江區(qū)
銅仁市沿河土家族自治縣、信陽市商城縣、黑河市五大連池市、蕪湖市南陵縣、哈爾濱市南崗區(qū)、駐馬店市正陽縣、安康市白河縣
北京市通州區(qū)、漢中市略陽縣、十堰市茅箭區(qū)、黔西南普安縣、漳州市漳浦縣、巴中市平昌縣、大同市云州區(qū)、商丘市睢陽區(qū)、孝感市安陸市
文昌市錦山鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、九江市共青城市、襄陽市南漳縣、天津市靜海區(qū)、海北祁連縣、晉城市沁水縣、忻州市五臺縣
黃岡市羅田縣、鶴崗市綏濱縣、寶雞市金臺區(qū)、樂山市市中區(qū)、懷化市辰溪縣、廣西防城港市東興市
玉溪市澄江市、七臺河市茄子河區(qū)、湘西州保靖縣、濟南市槐蔭區(qū)、郴州市宜章縣、舟山市定海區(qū)、廣西百色市田東縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、廣西防城港市防城區(qū)、臨滄市臨翔區(qū)
四平市鐵東區(qū)、杭州市富陽區(qū)、黔南龍里縣、盤錦市雙臺子區(qū)、泉州市豐澤區(qū)、普洱市西盟佤族自治縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、澄邁縣金江鎮(zhèn)
寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽市、恩施州建始縣、白銀市白銀區(qū)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、朔州市平魯區(qū)、貴陽市花溪區(qū)、朔州市朔城區(qū)、懷化市鶴城區(qū)
福州市羅源縣、綏化市北林區(qū)、武漢市江夏區(qū)、廣西崇左市大新縣、咸陽市旬邑縣、廣西柳州市鹿寨縣
宿州市碭山縣、延邊圖們市、煙臺市龍口市、武威市古浪縣、寧德市福鼎市、陽泉市礦區(qū)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、衢州市衢江區(qū)
哈爾濱市通河縣、隴南市禮縣、中山市港口鎮(zhèn)、荊州市沙市區(qū)、常德市臨澧縣
衢州市開化縣、洛陽市西工區(qū)、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、濟寧市金鄉(xiāng)縣、吉林市船營區(qū)、廣西玉林市容縣、西寧市城中區(qū)、信陽市平橋區(qū)
內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、畢節(jié)市黔西市、臨滄市臨翔區(qū)、昆明市呈貢區(qū)、南陽市西峽縣、東方市四更鎮(zhèn)、阜新市清河門區(qū)、贛州市尋烏縣
株洲市茶陵縣、文山馬關(guān)縣、牡丹江市寧安市、榆林市吳堡縣、綏化市青岡縣
寶雞市太白縣、廣西梧州市萬秀區(qū)、廣西柳州市柳城縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、廣西崇左市天等縣、鐵嶺市清河區(qū)、朝陽市朝陽縣、撫州市金溪縣
東營市東營區(qū)、萬寧市萬城鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、宿州市碭山縣、江門市新會區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗
玉溪市華寧縣、雙鴨山市四方臺區(qū)、保山市昌寧縣、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、文昌市文城鎮(zhèn)、安慶市懷寧縣、威海市文登區(qū)、甘南卓尼縣
大理鶴慶縣、玉溪市峨山彝族自治縣、延安市吳起縣、許昌市建安區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、中山市阜沙鎮(zhèn)、昭通市鹽津縣、杭州市上城區(qū)
黃山市黟縣、儋州市王五鎮(zhèn)、洛陽市偃師區(qū)、南充市西充縣、呂梁市交口縣、太原市陽曲縣、亳州市譙城區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)
贛州市贛縣區(qū)、漢中市西鄉(xiāng)縣、泰州市興化市、臨汾市霍州市、廣西桂林市灌陽縣、銅仁市德江縣
襄陽市襄城區(qū)、甘孜色達縣、衡陽市蒸湘區(qū)、咸陽市三原縣、平頂山市舞鋼市、西寧市城中區(qū)、雅安市雨城區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、安慶市桐城市
蘭州市皋蘭縣、長治市沁縣、寧夏銀川市金鳳區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、佛山市南海區(qū)
白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、郴州市蘇仙區(qū)、商丘市虞城縣、荊州市公安縣、三明市泰寧縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、紅河紅河縣
黃岡市羅田縣、懷化市會同縣、臨夏和政縣、畢節(jié)市金沙縣、揚州市邗江區(qū)、瓊海市萬泉鎮(zhèn)、西安市閻良區(qū)
怒江傈僳族自治州福貢縣、廣州市越秀區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、本溪市桓仁滿族自治縣、信陽市商城縣
雅安市天全縣、寧夏銀川市興慶區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、臨汾市安澤縣、株洲市醴陵市、江門市江海區(qū)、上饒市萬年縣
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內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、黃山市黃山區(qū)、四平市鐵東區(qū)、天津市薊州區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣
臨汾市古縣、天水市張家川回族自治縣、運城市夏縣、五指山市水滿、周口市鹿邑縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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