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漢中市留壩縣、東方市感城鎮(zhèn)、麗江市古城區(qū)、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、蘭州市西固區(qū)、海口市瓊山區(qū)、菏澤市定陶區(qū)、廣西柳州市柳南區(qū)、咸陽市涇陽縣
黔南長順縣、南平市建陽區(qū)、商丘市民權(quán)縣、綿陽市江油市、寧德市周寧縣、濰坊市昌邑市、中山市五桂山街道、咸陽市彬州市、儋州市中和鎮(zhèn)
贛州市瑞金市、澄邁縣老城鎮(zhèn)、揭陽市榕城區(qū)、周口市川匯區(qū)、文昌市東路鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟納旗、梅州市梅縣區(qū)、黔西南興義市、上饒市婺源縣
涼山寧南縣、遼陽市燈塔市、七臺河市勃利縣、漯河市郾城區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、菏澤市鄆城縣、廣安市廣安區(qū)、湘潭市韶山市
郴州市資興市、大連市甘井子區(qū)、齊齊哈爾市克山縣、泉州市永春縣、萬寧市北大鎮(zhèn)、淮南市壽縣、嘉興市秀洲區(qū)
臨沂市蒙陰縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、臨沂市平邑縣、盤錦市興隆臺區(qū)、廣西梧州市蒼梧縣、涼山木里藏族自治縣、沈陽市于洪區(qū)、葫蘆島市連山區(qū)、泉州市惠安縣
忻州市岢嵐縣、荊門市東寶區(qū)、廣西桂林市臨桂區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、泰安市東平縣
咸陽市旬邑縣、鷹潭市貴溪市、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、南昌市西湖區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、梅州市平遠(yuǎn)縣、溫州市鹿城區(qū)、廣西來賓市象州縣、牡丹江市海林市、雅安市寶興縣
運城市絳縣、臨高縣博厚鎮(zhèn)、榆林市清澗縣、上饒市鉛山縣、呂梁市汾陽市、昭通市綏江縣、廣西河池市南丹縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣
張掖市山丹縣、廣西梧州市蒼梧縣、廣西桂林市興安縣、樂山市沐川縣、聊城市臨清市、荊州市沙市區(qū)、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、大慶市讓胡路區(qū)、阜陽市潁東區(qū)
紹興市上虞區(qū)、沈陽市于洪區(qū)、九江市都昌縣、岳陽市湘陰縣、黔南長順縣、六盤水市六枝特區(qū)
青島市平度市、揚州市邗江區(qū)、益陽市安化縣、洛陽市新安縣、昆明市晉寧區(qū)、珠海市斗門區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)
北京市平谷區(qū)、葫蘆島市龍港區(qū)、濟南市歷下區(qū)、懷化市辰溪縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、廣西百色市那坡縣
常州市溧陽市、西安市周至縣、大連市西崗區(qū)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、延邊圖們市、南平市武夷山市
隨州市曾都區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、南昌市西湖區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、普洱市思茅區(qū)、運城市永濟市、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、宜賓市敘州區(qū)、?？谑旋埲A區(qū)
內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、廣西百色市靖西市、長沙市天心區(qū)、保山市昌寧縣、巴中市通江縣、邵陽市邵東市、文山富寧縣
阜新市清河門區(qū)、天津市河西區(qū)、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)、平頂山市寶豐縣、梅州市蕉嶺縣、洛陽市汝陽縣、洛陽市伊川縣、瓊海市大路鎮(zhèn)、淮南市潘集區(qū)、北京市順義區(qū)
延安市延川縣、德州市德城區(qū)、長治市襄垣縣、葫蘆島市建昌縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、吉林市豐滿區(qū)、邵陽市邵東市
黑河市愛輝區(qū)、重慶市璧山區(qū)、銅仁市萬山區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、酒泉市金塔縣
玉溪市通海縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、廣西來賓市象州縣、五指山市通什、涼山甘洛縣、株洲市荷塘區(qū)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)
重慶市奉節(jié)縣、德州市陵城區(qū)、白山市臨江市、常德市桃源縣、紅河石屏縣、天津市東麗區(qū)
商洛市山陽縣、淮安市清江浦區(qū)、貴陽市修文縣、甘孜新龍縣、廣西桂林市荔浦市、贛州市信豐縣、白城市鎮(zhèn)賚縣、樂山市五通橋區(qū)、衢州市開化縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)
成都市青白江區(qū)、德陽市旌陽區(qū)、大連市沙河口區(qū)、遂寧市蓬溪縣、廣西桂林市疊彩區(qū)、南京市棲霞區(qū)、濰坊市安丘市、白城市洮北區(qū)、黃石市鐵山區(qū)、九江市濂溪區(qū)
漢中市留壩縣、荊州市石首市、三明市清流縣、呂梁市柳林縣、瀘州市敘永縣、海東市循化撒拉族自治縣、黃山市黟縣、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、瓊海市中原鎮(zhèn)
齊齊哈爾市克山縣、迪慶香格里拉市、吉安市安福縣、西寧市湟源縣、寧波市北侖區(qū)、棗莊市嶧城區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、荊州市石首市
棗莊市嶧城區(qū)、宿州市埇橋區(qū)、永州市雙牌縣、酒泉市金塔縣、蘇州市吳中區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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