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九江市共青城市、伊春市友好區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、天水市清水縣、廣西桂林市興安縣、鎮(zhèn)江市潤州區(qū)、漳州市龍文區(qū)、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、大慶市薩爾圖區(qū)、哈爾濱市通河縣
襄陽市宜城市、甘南夏河縣、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、甘孜瀘定縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗
駐馬店市驛城區(qū)、萬寧市大茂鎮(zhèn)、貴陽市息烽縣、運城市永濟(jì)市、青島市黃島區(qū)、朔州市朔城區(qū)、湘西州瀘溪縣
煙臺市棲霞市、鹽城市阜寧縣、臨高縣臨城鎮(zhèn)、樂山市犍為縣、西安市臨潼區(qū)、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、廣西桂林市全州縣
嘉興市嘉善縣、內(nèi)江市資中縣、漳州市龍文區(qū)、涼山雷波縣、銅仁市萬山區(qū)、大連市莊河市、濟(jì)南市商河縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、吉安市永豐縣、清遠(yuǎn)市英德市、衡陽市常寧市、錦州市太和區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、海東市民和回族土族自治縣、開封市鼓樓區(qū)、合肥市巢湖市、廈門市同安區(qū)
佛山市南海區(qū)、南充市嘉陵區(qū)、上海市楊浦區(qū)、海東市平安區(qū)、蕪湖市弋江區(qū)、松原市乾安縣、商丘市夏邑縣、焦作市沁陽市、溫州市洞頭區(qū)、廣西桂林市永福縣
通化市輝南縣、延邊龍井市、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、蘇州市昆山市、吉林市樺甸市、通化市梅河口市、東莞市茶山鎮(zhèn)
天水市甘谷縣、?？谑忻捞m區(qū)、福州市平潭縣、武威市天祝藏族自治縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、西寧市湟源縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗
廣西崇左市寧明縣、涼山鹽源縣、榆林市綏德縣、咸寧市赤壁市、潮州市湘橋區(qū)、上海市青浦區(qū)、呂梁市方山縣、蘇州市吳江區(qū)、撫州市金溪縣
濮陽市范縣、贛州市大余縣、河源市東源縣、信陽市新縣、無錫市梁溪區(qū)、哈爾濱市通河縣、蘭州市城關(guān)區(qū)、金華市金東區(qū)
三門峽市靈寶市、天津市武清區(qū)、成都市金堂縣、保山市隆陽區(qū)、三明市三元區(qū)、黃石市鐵山區(qū)、南平市延平區(qū)、寶雞市太白縣、中山市小欖鎮(zhèn)
白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、通化市二道江區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、中山市石岐街道、婁底市雙峰縣、晉中市和順縣
內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、朔州市朔城區(qū)、宜昌市西陵區(qū)、綿陽市梓潼縣、天津市西青區(qū)、安陽市內(nèi)黃縣、內(nèi)江市市中區(qū)
漳州市薌城區(qū)、大連市普蘭店區(qū)、呂梁市離石區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、岳陽市汨羅市、晉中市榆次區(qū)、臨汾市永和縣、張家界市永定區(qū)、溫州市蒼南縣
營口市西市區(qū)、齊齊哈爾市訥河市、滁州市鳳陽縣、廣西桂林市興安縣、銅陵市銅官區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、保山市施甸縣、武漢市東西湖區(qū)、泰州市興化市
南京市浦口區(qū)、臨夏永靖縣、深圳市龍華區(qū)、涼山布拖縣、德州市陵城區(qū)、杭州市臨安區(qū)、上饒市鄱陽縣
寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、保山市施甸縣、鄭州市金水區(qū)、臨夏臨夏縣、眉山市彭山區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、十堰市鄖西縣、湛江市坡頭區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)
運城市萬榮縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、東莞市厚街鎮(zhèn)、玉樹囊謙縣、贛州市定南縣、綿陽市江油市、鄭州市上街區(qū)、中山市東升鎮(zhèn)
天津市薊州區(qū)、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、延邊圖們市、漢中市城固縣、大理云龍縣、涼山冕寧縣、贛州市安遠(yuǎn)縣、滁州市天長市、大理大理市
樂山市峨眉山市、宿遷市宿城區(qū)、福州市晉安區(qū)、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、淮安市淮陰區(qū)、哈爾濱市香坊區(qū)、撫州市黎川縣
鞍山市海城市、遼陽市遼陽縣、北京市西城區(qū)、常德市武陵區(qū)、中山市民眾鎮(zhèn)
黃南同仁市、臺州市黃巖區(qū)、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、眉山市彭山區(qū)、重慶市忠縣、寧夏固原市隆德縣、隴南市徽縣、宜春市袁州區(qū)、中山市橫欄鎮(zhèn)、廣西防城港市東興市
松原市乾安縣、文山富寧縣、天津市南開區(qū)、哈爾濱市通河縣、周口市沈丘縣、酒泉市肅北蒙古族自治縣、大同市天鎮(zhèn)縣、鶴壁市淇縣、瀘州市古藺縣、臨沂市費縣
南昌市東湖區(qū)、紹興市柯橋區(qū)、自貢市沿灘區(qū)、六安市舒城縣、武漢市江漢區(qū)、孝感市應(yīng)城市、重慶市萬州區(qū)、洛陽市澗西區(qū)、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、普洱市西盟佤族自治縣
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南平市武夷山市、慶陽市慶城縣、益陽市赫山區(qū)、成都市溫江區(qū)、信陽市新縣
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、開封市祥符區(qū)、七臺河市勃利縣、湘潭市韶山市、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、三明市大田縣、眉山市仁壽縣
廣州市越秀區(qū)、杭州市江干區(qū)、新余市分宜縣、揚州市寶應(yīng)縣、懷化市中方縣、開封市尉氏縣、淄博市高青縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗
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延安市宜川縣、蘇州市相城區(qū)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、儋州市雅星鎮(zhèn)、隴南市武都區(qū)、北京市朝陽區(qū)、襄陽市襄州區(qū)、婁底市冷水江市、宿遷市宿豫區(qū)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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