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東莞市望牛墩鎮(zhèn)、榆林市橫山區(qū)、蘇州市昆山市、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、延邊龍井市、蘭州市紅古區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、衡陽(yáng)市雁峰區(qū)、隴南市成縣
許昌市鄢陵縣、果洛瑪多縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣、榆林市米脂縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)
景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、安陽(yáng)市林州市、郴州市臨武縣、商丘市夏邑縣、周口市商水縣、鶴崗市興安區(qū)、濟(jì)南市鋼城區(qū)
煙臺(tái)市福山區(qū)、保山市昌寧縣、銅仁市碧江區(qū)、牡丹江市林口縣、聊城市茌平區(qū)、臨沂市平邑縣、菏澤市巨野縣
沈陽(yáng)市康平縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、肇慶市鼎湖區(qū)、四平市鐵東區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市、南平市延平區(qū)、廣西百色市西林縣、甘孜石渠縣、湖州市安吉縣
武威市涼州區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、煙臺(tái)市棲霞市、大興安嶺地區(qū)漠河市、韶關(guān)市翁源縣、溫州市鹿城區(qū)、邵陽(yáng)市雙清區(qū)
宜昌市枝江市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、甘孜稻城縣
三亞市吉陽(yáng)區(qū)、銅陵市義安區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、海西蒙古族德令哈市、宜春市豐城市、九江市都昌縣
甘孜新龍縣、雅安市天全縣、廣西崇左市大新縣、雙鴨山市饒河縣、上海市寶山區(qū)
長(zhǎng)治市潞州區(qū)、天津市紅橋區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)、遂寧市船山區(qū)、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、潮州市湘橋區(qū)
隴南市兩當(dāng)縣、梅州市興寧市、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、蕪湖市無(wú)為市、連云港市東?？h
渭南市華陰市、大理彌渡縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)、宜昌市伍家崗區(qū)、北京市石景山區(qū)、甘孜甘孜縣
酒泉市肅州區(qū)、深圳市光明區(qū)、南通市啟東市、哈爾濱市呼蘭區(qū)、廈門市湖里區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、漢中市寧強(qiáng)縣、綏化市慶安縣
大慶市林甸縣、懷化市鶴城區(qū)、咸陽(yáng)市楊陵區(qū)、嘉興市海寧市、廣西百色市那坡縣
韶關(guān)市南雄市、駐馬店市驛城區(qū)、晉中市祁縣、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、酒泉市瓜州縣
遼源市龍山區(qū)、忻州市保德縣、?？谑协偵絽^(qū)、衡陽(yáng)市衡東縣、蘇州市昆山市、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)
鄭州市上街區(qū)、青島市平度市、榆林市神木市、?？谑协偵絽^(qū)、沈陽(yáng)市渾南區(qū)、重慶市九龍坡區(qū)、涼山喜德縣
龍巖市連城縣、廣西來(lái)賓市忻城縣、榆林市吳堡縣、運(yùn)城市新絳縣、天津市紅橋區(qū)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、海南共和縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、臨夏和政縣
德州市夏津縣、濟(jì)寧市任城區(qū)、綿陽(yáng)市三臺(tái)縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、黔南獨(dú)山縣、阜新市新邱區(qū)、鄂州市鄂城區(qū)、滁州市南譙區(qū)
玉溪市通?？h、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、廣西來(lái)賓市象州縣、五指山市通什、涼山甘洛縣、株洲市荷塘區(qū)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)
定安縣富文鎮(zhèn)、延安市延川縣、雞西市虎林市、天津市西青區(qū)、定西市通渭縣、龍巖市新羅區(qū)、甘孜爐霍縣
濟(jì)寧市嘉祥縣、鄭州市金水區(qū)、太原市小店區(qū)、黃岡市蘄春縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、咸陽(yáng)市三原縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、中山市港口鎮(zhèn)、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)
東營(yíng)市墾利區(qū)、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、宜賓市屏山縣、吉林市永吉縣、成都市郫都區(qū)、大理云龍縣、鶴壁市?？h、天水市秦安縣、濰坊市青州市
廣西百色市德保縣、揭陽(yáng)市普寧市、臺(tái)州市路橋區(qū)、寶雞市太白縣、贛州市瑞金市、商丘市永城市、三門峽市陜州區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、宿遷市宿城區(qū)
大連市沙河口區(qū)、北京市西城區(qū)、鄭州市中牟縣、佛山市高明區(qū)、濟(jì)寧市梁山縣、廣西百色市田東縣
晉中市祁縣、上海市靜安區(qū)、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)、衡陽(yáng)市常寧市、重慶市南川區(qū)、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、泉州市惠安縣
重慶市城口縣、邵陽(yáng)市綏寧縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、杭州市濱江區(qū)、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗、重慶市潼南區(qū)、遵義市紅花崗區(qū)
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曲靖市陸良縣、東方市大田鎮(zhèn)、德陽(yáng)市綿竹市、伊春市嘉蔭縣、廣西來(lái)賓市忻城縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、陽(yáng)泉市盂縣、北京市平谷區(qū)、德州市臨邑縣
保山市隆陽(yáng)區(qū)、慶陽(yáng)市寧縣、黔西南貞豐縣、撫順市望花區(qū)、永州市江永縣、大理巍山彝族回族自治縣、贛州市上猶縣
重慶市云陽(yáng)縣、上海市金山區(qū)、鶴壁市淇縣、阜陽(yáng)市界首市、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、廣西梧州市岑溪市、東莞市寮步鎮(zhèn)
揚(yáng)州市廣陵區(qū)、朝陽(yáng)市凌源市、馬鞍山市雨山區(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、廣西河池市宜州區(qū)、東方市四更鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、淮安市清江浦區(qū)、玉樹(shù)玉樹(shù)市、北京市懷柔區(qū)
廣西河池市大化瑤族自治縣、雞西市麻山區(qū)、南平市建陽(yáng)區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)、濱州市無(wú)棣縣、咸寧市嘉魚(yú)縣、陽(yáng)江市江城區(qū)、三沙市南沙區(qū)
臨夏臨夏市、伊春市湯旺縣、濟(jì)南市平陰縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、咸寧市咸安區(qū)、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣
襄陽(yáng)市襄城區(qū)、駐馬店市確山縣、濰坊市濰城區(qū)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、黔東南天柱縣、文昌市文城鎮(zhèn)、宣城市郎溪縣、東莞市橋頭鎮(zhèn)、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)
廣西崇左市寧明縣、鞍山市立山區(qū)、西寧市城西區(qū)、韶關(guān)市湞江區(qū)、七臺(tái)河市桃山區(qū)、北京市昌平區(qū)
吉安市安?？h、淮北市杜集區(qū)、伊春市鐵力市、邵陽(yáng)市洞口縣、文山文山市、南通市如皋市、伊春市伊美區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、汕頭市澄海區(qū)、昭通市彝良縣
朔州市平魯區(qū)、內(nèi)江市市中區(qū)、株洲市茶陵縣、南昌市青云譜區(qū)、平頂山市汝州市、楚雄雙柏縣、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)
周口市鄲城縣、甘孜甘孜縣、聊城市陽(yáng)谷縣、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、孝感市大悟縣、鹽城市東臺(tái)市、清遠(yuǎn)市佛岡縣、渭南市臨渭區(qū)、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)
長(zhǎng)沙市天心區(qū)、天水市秦安縣、廣西南寧市馬山縣、宣城市郎溪縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、五指山市毛道、南陽(yáng)市桐柏縣
滁州市南譙區(qū)、吉安市安?？h、深圳市龍華區(qū)、銅陵市樅陽(yáng)縣、惠州市博羅縣、廣州市南沙區(qū)、蘇州市常熟市
忻州市原平市、平頂山市葉縣、肇慶市高要區(qū)、太原市古交市、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)、麗水市慶元縣、甘南瑪曲縣、泉州市安溪縣、南平市延平區(qū)、滁州市鳳陽(yáng)縣
甘孜德格縣、長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、衡陽(yáng)市衡山縣、郴州市北湖區(qū)、中山市石岐街道
黑河市嫩江市、廣西桂林市資源縣、南京市鼓樓區(qū)、果洛瑪沁縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、臺(tái)州市溫嶺市、濮陽(yáng)市清豐縣
廣西來(lái)賓市忻城縣、馬鞍山市花山區(qū)、宿遷市泗陽(yáng)縣、蘇州市常熟市、福州市閩清縣、宜春市豐城市、廣安市岳池縣、孝感市大悟縣、澄邁縣文儒鎮(zhèn)
成都市蒲江縣、貴陽(yáng)市清鎮(zhèn)市、青島市黃島區(qū)、惠州市博羅縣、鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市、焦作市中站區(qū)、重慶市九龍坡區(qū)、鹽城市大豐區(qū)、五指山市毛陽(yáng)、廣西玉林市博白縣
三亞市吉陽(yáng)區(qū)、安陽(yáng)市內(nèi)黃縣、廣西貴港市港北區(qū)、湘潭市岳塘區(qū)、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、合肥市瑤海區(qū)、郴州市桂陽(yáng)縣
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宜昌市猇亭區(qū)、吉安市泰和縣、惠州市博羅縣、伊春市鐵力市、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、上饒市德興市、黑河市遜克縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)、西雙版納勐?？h、重慶市九龍坡區(qū)
運(yùn)城市河津市、海東市互助土族自治縣、漳州市龍文區(qū)、寧夏石嘴山市平羅縣、商丘市睢陽(yáng)區(qū)、信陽(yáng)市潢川縣
遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、惠州市惠陽(yáng)區(qū)、寶雞市鳳翔區(qū)、慶陽(yáng)市正寧縣、棗莊市薛城區(qū)
成都市崇州市、淄博市沂源縣、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、平?jīng)鍪徐o寧縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市
昆明市尋甸回族彝族自治縣、酒泉市敦煌市、安陽(yáng)市文峰區(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、襄陽(yáng)市襄州區(qū)、贛州市定南縣、葫蘆島市建昌縣、三亞市海棠區(qū)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)
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阿壩藏族羌族自治州小金縣、瀘州市敘永縣、呂梁市交口縣、鶴崗市蘿北縣、馬鞍山市含山縣、廣元市昭化區(qū)、延安市寶塔區(qū)、常德市桃源縣、哈爾濱市道里區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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