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楚雄永仁縣、南陽市臥龍區(qū)、廣州市荔灣區(qū)、海南共和縣、十堰市丹江口市、菏澤市定陶區(qū)
漯河市郾城區(qū)、合肥市廬陽區(qū)、玉樹囊謙縣、煙臺市福山區(qū)、婁底市新化縣、天水市秦州區(qū)、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、昆明市安寧市、惠州市惠東縣
延邊安圖縣、普洱市思茅區(qū)、撫州市南城縣、懷化市溆浦縣、成都市青白江區(qū)、廣西北海市合浦縣
日照市東港區(qū)、臨汾市堯都區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、永州市新田縣、九江市修水縣、保山市昌寧縣、上海市金山區(qū)、眉山市東坡區(qū)
廣西河池市大化瑤族自治縣、三明市寧化縣、呂梁市臨縣、青島市市北區(qū)、湖州市吳興區(qū)、保山市施甸縣、哈爾濱市道外區(qū)、樂山市沙灣區(qū)
晉中市昔陽縣、贛州市于都縣、成都市崇州市、廣西百色市右江區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、忻州市保德縣、東營市東營區(qū)、長沙市天心區(qū)
陽泉市礦區(qū)、阜陽市界首市、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、岳陽市岳陽樓區(qū)、盤錦市雙臺子區(qū)、貴陽市烏當區(qū)
駐馬店市汝南縣、平頂山市新華區(qū)、吉安市青原區(qū)、合肥市巢湖市、宜昌市點軍區(qū)、滁州市鳳陽縣、泰州市興化市、吉林市豐滿區(qū)、金華市武義縣
黑河市五大連池市、大理賓川縣、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、莆田市城廂區(qū)、臨汾市浮山縣、廣西北海市銀海區(qū)、濰坊市諸城市
重慶市奉節(jié)縣、玉樹玉樹市、楚雄雙柏縣、寧德市蕉城區(qū)、甘孜丹巴縣、襄陽市谷城縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)
南平市建甌市、上海市奉賢區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、宜昌市猇亭區(qū)、儋州市王五鎮(zhèn)
嘉興市平湖市、三明市三元區(qū)、宜賓市長寧縣、衡陽市祁東縣、佛山市三水區(qū)
邵陽市武岡市、新余市分宜縣、大慶市龍鳳區(qū)、臺州市三門縣、濱州市鄒平市、福州市晉安區(qū)、郴州市臨武縣、德州市平原縣、重慶市長壽區(qū)
內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、漯河市源匯區(qū)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、哈爾濱市依蘭縣、蚌埠市淮上區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)
濰坊市坊子區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、慶陽市慶城縣、寧夏吳忠市鹽池縣、上饒市廣信區(qū)
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黃南河南蒙古族自治縣、十堰市張灣區(qū)、昭通市水富市、焦作市中站區(qū)、鶴壁市?？h、萬寧市萬城鎮(zhèn)、江門市恩平市、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)
雅安市蘆山縣、蘭州市七里河區(qū)、恩施州咸豐縣、延安市宜川縣、上饒市德興市、衢州市開化縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、廣西柳州市柳北區(qū)、四平市鐵西區(qū)、淮南市八公山區(qū)
松原市長嶺縣、文山富寧縣、杭州市濱江區(qū)、吉林市永吉縣、內(nèi)江市隆昌市、佛山市禪城區(qū)、延邊汪清縣
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伊春市伊美區(qū)、慶陽市寧縣、長春市農(nóng)安縣、信陽市羅山縣、濮陽市南樂縣
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珠海突圍半導體設備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設備，標志著國內(nèi)高端半導體制造核心裝備領域的重大技術(shù)突破。
該設備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設備在顯示領域的規(guī)?；瘧?；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應用。預計6月會交付第一臺設備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務為等離子體工業(yè)應用設備相關(guān)領域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領域，包括PCB/載板領域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領域和半導體領域。
公司方面表示，最早專注于PCB設備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導體裝備領域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準半導體裝備賽道，聚焦刻蝕設備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應用材料（16.96%）三巨頭主導。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導體設備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學檢測設備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當前珠海正提速建設“云上智城”，集聚算力基礎、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設計服務平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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