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吉安市吉安縣、常德市鼎城區(qū)、廣西玉林市玉州區(qū)、銅川市宜君縣、朝陽市凌源市、贛州市興國縣、溫州市鹿城區(qū)
昭通市鎮(zhèn)雄縣、吉安市永新縣、海西蒙古族格爾木市、寧德市霞浦縣、慶陽市鎮(zhèn)原縣、遂寧市安居區(qū)、盤錦市大洼區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)
運(yùn)城市永濟(jì)市、平頂山市葉縣、漯河市召陵區(qū)、延安市子長市、杭州市余杭區(qū)
沈陽市大東區(qū)、漯河市臨潁縣、通化市集安市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、滁州市南譙區(qū)
中山市石岐街道、廣元市青川縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、襄陽市襄州區(qū)、安慶市大觀區(qū)
北京市門頭溝區(qū)、海南共和縣、吉安市青原區(qū)、大理南澗彝族自治縣、潮州市湘橋區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、珠海市金灣區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、呂梁市方山縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)
西寧市城東區(qū)、鶴崗市蘿北縣、涼山木里藏族自治縣、泉州市南安市、慶陽市慶城縣、中山市阜沙鎮(zhèn)、濟(jì)寧市梁山縣、寶雞市隴縣
黑河市北安市、東莞市企石鎮(zhèn)、朔州市朔城區(qū)、肇慶市封開縣、池州市石臺(tái)縣、韶關(guān)市樂昌市
信陽市商城縣、三明市三元區(qū)、文山富寧縣、上海市松江區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗
信陽市羅山縣、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、六盤水市盤州市、鎮(zhèn)江市丹陽市、阿壩藏族羌族自治州理縣、黔南都勻市、福州市鼓樓區(qū)
澄邁縣大豐鎮(zhèn)、內(nèi)江市隆昌市、延安市富縣、合肥市瑤海區(qū)、宜春市豐城市、昆明市宜良縣
太原市陽曲縣、商洛市柞水縣、北京市東城區(qū)、合肥市肥東縣、廣西南寧市上林縣、成都市青白江區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、寧波市慈溪市、廣西柳州市融水苗族自治縣、郴州市安仁縣
汕頭市澄海區(qū)、玉溪市峨山彝族自治縣、廣西百色市德?？h、文昌市潭牛鎮(zhèn)、株洲市醴陵市、福州市鼓樓區(qū)、嘉興市南湖區(qū)、韶關(guān)市新豐縣
黔西南冊亨縣、廣州市南沙區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、大理祥云縣、張掖市民樂縣、濰坊市昌邑市、晉中市靈石縣
池州市石臺(tái)縣、南昌市青云譜區(qū)、信陽市商城縣、吉安市安?？h、渭南市澄城縣、中山市南朗鎮(zhèn)、潮州市湘橋區(qū)
東莞市大朗鎮(zhèn)、荊門市掇刀區(qū)、遵義市習(xí)水縣、邵陽市綏寧縣、焦作市溫縣、襄陽市南漳縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、黔東南麻江縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、安陽市龍安區(qū)
江門市新會(huì)區(qū)、撫順市望花區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、廣西來賓市武宣縣、茂名市化州市、東莞市厚街鎮(zhèn)、貴陽市烏當(dāng)區(qū)、莆田市仙游縣
吉林市豐滿區(qū)、遼源市龍山區(qū)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、東方市三家鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市原陽縣、懷化市中方縣、定安縣嶺口鎮(zhèn)、安康市寧陜縣、湛江市遂溪縣
黃岡市英山縣、宜賓市翠屏區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、上饒市弋陽縣、重慶市銅梁區(qū)
上海市青浦區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、平頂山市郟縣、朝陽市龍城區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、銅陵市銅官區(qū)、丹東市元寶區(qū)、牡丹江市東安區(qū)
大同市渾源縣、西寧市湟中區(qū)、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、四平市鐵東區(qū)、雙鴨山市寶山區(qū)、舟山市嵊泗縣、淮安市淮陰區(qū)
雅安市雨城區(qū)、上饒市弋陽縣、杭州市上城區(qū)、焦作市山陽區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、黔東南丹寨縣
廣西玉林市福綿區(qū)、自貢市大安區(qū)、嘉興市海寧市、泉州市石獅市、泰安市肥城市、商丘市睢陽區(qū)、紅河綠春縣、楚雄元謀縣
內(nèi)江市隆昌市、泉州市安溪縣、福州市福清市、聊城市冠縣、溫州市洞頭區(qū)
張掖市肅南裕固族自治縣、遼陽市太子河區(qū)、臨沂市費(fèi)縣、咸陽市淳化縣、日照市五蓮縣、臺(tái)州市椒江區(qū)、長春市二道區(qū)、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)
黑河市北安市、廣西百色市靖西市、丹東市寬甸滿族自治縣、晉中市平遙縣、運(yùn)城市芮城縣、駐馬店市新蔡縣、廣安市岳池縣、安陽市湯陰縣、龍巖市漳平市、十堰市房縣
東營市利津縣、咸陽市渭城區(qū)、營口市站前區(qū)、南陽市方城縣、?？谑忻捞m區(qū)、營口市大石橋市
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鄭州市中原區(qū)、臨沂市沂南縣、遼源市東豐縣、武威市古浪縣、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、雞西市雞冠區(qū)
上海市浦東新區(qū)、慶陽市西峰區(qū)、沈陽市遼中區(qū)、儋州市南豐鎮(zhèn)、達(dá)州市宣漢縣、臨沂市沂南縣、重慶市合川區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、吉林市永吉縣
大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、遵義市播州區(qū)、開封市尉氏縣、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、安慶市懷寧縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、廣元市蒼溪縣、宿州市碭山縣
鎮(zhèn)江市句容市、呂梁市離石區(qū)、鄭州市中原區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)、重慶市渝中區(qū)
東方市大田鎮(zhèn)、遵義市桐梓縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、連云港市贛榆區(qū)、濱州市惠民縣、東營市廣饒縣、黃岡市武穴市、蘇州市姑蘇區(qū)
梅州市五華縣、慶陽市慶城縣、菏澤市單縣、酒泉市瓜州縣、商洛市商州區(qū)
寧夏銀川市興慶區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、通化市通化縣、淮南市大通區(qū)、銅陵市樅陽縣、吉林市磐石市、杭州市上城區(qū)
安陽市林州市、三明市永安市、駐馬店市上蔡縣、佛山市三水區(qū)、漢中市西鄉(xiāng)縣
西安市未央?yún)^(qū)、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、麗江市華坪縣、郴州市桂陽縣、南陽市西峽縣、昆明市五華區(qū)、運(yùn)城市新絳縣、大同市新榮區(qū)、天津市寶坻區(qū)
漢中市洋縣、晉城市澤州縣、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、三明市建寧縣、宿遷市沭陽縣、福州市連江縣
內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、荊門市掇刀區(qū)、南充市閬中市、中山市中山港街道、鹽城市東臺(tái)市
舟山市普陀區(qū)、重慶市合川區(qū)、十堰市竹溪縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、平?jīng)鍪袥艽h、寧德市福鼎市、棗莊市嶧城區(qū)、樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)
連云港市贛榆區(qū)、湘潭市湘潭縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、北京市延慶區(qū)、雅安市石棉縣、撫州市臨川區(qū)、衢州市龍游縣、重慶市江北區(qū)
湘潭市岳塘區(qū)、四平市梨樹縣、甘南臨潭縣、綿陽市梓潼縣、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、長春市德惠市、贛州市龍南市、朝陽市建平縣、西寧市湟源縣、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)
長春市朝陽區(qū)、景德鎮(zhèn)市樂平市、廣西貴港市港南區(qū)、寧德市柘榮縣、池州市東至縣、延安市宜川縣、漳州市平和縣
遵義市湄潭縣、臨汾市汾西縣、威海市文登區(qū)、安陽市滑縣、天津市寧河區(qū)、德州市平原縣、遵義市匯川區(qū)
酒泉市肅州區(qū)、棗莊市山亭區(qū)、榆林市綏德縣、十堰市鄖西縣、中山市坦洲鎮(zhèn)
東營市東營區(qū)、南充市儀隴縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、杭州市桐廬縣、吉安市井岡山市、宜賓市江安縣、遼源市西安區(qū)、上饒市鉛山縣、恩施州來鳳縣
儋州市峨蔓鎮(zhèn)、宿州市泗縣、廣西玉林市福綿區(qū)、中山市阜沙鎮(zhèn)、朔州市懷仁市、吉安市永豐縣、通化市梅河口市、廣西桂林市興安縣
南充市儀隴縣、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、漳州市云霄縣、臨汾市霍州市、焦作市解放區(qū)
昭通市威信縣、漳州市平和縣、金華市磐安縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)、盤錦市大洼區(qū)、懷化市中方縣
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鶴壁市淇濱區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、中山市阜沙鎮(zhèn)、黔南都勻市、洛陽市偃師區(qū)、遼源市龍山區(qū)
漢中市城固縣、麗江市永勝縣、永州市冷水灘區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、忻州市繁峙縣、九江市柴桑區(qū)、泉州市鯉城區(qū)、廣西百色市德?？h、澄邁縣福山鎮(zhèn)、吉安市廬陵新區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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