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贛州市興國(guó)縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、蘇州市昆山市、銅仁市玉屏侗族自治縣、信陽(yáng)市固始縣、青島市平度市、邵陽(yáng)市綏寧縣
甘孜白玉縣、大理鶴慶縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、宜昌市秭歸縣、齊齊哈爾市拜泉縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、成都市雙流區(qū)、泉州市南安市
鄭州市惠濟(jì)區(qū)、天津市西青區(qū)、東營(yíng)市墾利區(qū)、鄭州市中原區(qū)、晉中市太谷區(qū)、衡陽(yáng)市衡南縣
淄博市沂源縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、果洛久治縣、聊城市高唐縣、成都市金牛區(qū)、果洛甘德縣、葫蘆島市興城市
黔南甕安縣、黃石市鐵山區(qū)、隴南市文縣、貴陽(yáng)市白云區(qū)、郴州市宜章縣、東莞市中堂鎮(zhèn)、濰坊市高密市、臨滄市鎮(zhèn)康縣、泉州市晉江市
成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市、懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣、江門(mén)市蓬江區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、大慶市肇州縣、黔西南普安縣、韶關(guān)市始興縣、廣安市武勝縣
甘孜得榮縣、宜昌市猇亭區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、東莞市中堂鎮(zhèn)、牡丹江市東安區(qū)
福州市羅源縣、南充市高坪區(qū)、廣元市劍閣縣、涼山昭覺(jué)縣、鹽城市大豐區(qū)、廣西南寧市青秀區(qū)、長(zhǎng)治市襄垣縣、洛陽(yáng)市嵩縣、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、商洛市洛南縣
漳州市龍文區(qū)、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)、商丘市民權(quán)縣
洛陽(yáng)市偃師區(qū)、德陽(yáng)市廣漢市、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、阜新市清河門(mén)區(qū)、伊春市友好區(qū)、鹽城市東臺(tái)市、天津市濱海新區(qū)、廣西桂林市平樂(lè)縣
屯昌縣坡心鎮(zhèn)、西安市碑林區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、信陽(yáng)市光山縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)
南平市邵武市、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、常州市新北區(qū)、三沙市西沙區(qū)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、黑河市五大連池市
九江市濂溪區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、濰坊市臨朐縣、臺(tái)州市溫嶺市、普洱市景東彝族自治縣、甘孜石渠縣
無(wú)錫市宜興市、寶雞市千陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、黔南長(zhǎng)順縣、臨汾市汾西縣
南京市建鄴區(qū)、西雙版納勐海縣、濱州市博興縣、安慶市宿松縣、咸陽(yáng)市乾縣、牡丹江市海林市、成都市彭州市
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、晉中市和順縣、東莞市虎門(mén)鎮(zhèn)、許昌市魏都區(qū)、遵義市桐梓縣、大同市新榮區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、九江市廬山市、臨汾市安澤縣、廣州市番禺區(qū)
哈爾濱市阿城區(qū)、煙臺(tái)市海陽(yáng)市、廣西欽州市欽南區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)、渭南市臨渭區(qū)
大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、宣城市績(jī)溪縣、武漢市江岸區(qū)、廣西桂林市興安縣、安慶市岳西縣、黔南惠水縣、呂梁市交口縣
東莞市謝崗鎮(zhèn)、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、武威市民勤縣、臨汾市翼城縣、忻州市繁峙縣
忻州市原平市、平頂山市葉縣、肇慶市高要區(qū)、太原市古交市、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)、麗水市慶元縣、甘南瑪曲縣、泉州市安溪縣、南平市延平區(qū)、滁州市鳳陽(yáng)縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、汕頭市南澳縣、九江市彭澤縣、福州市閩清縣、常州市天寧區(qū)
北京市延慶區(qū)、大連市金州區(qū)、九江市永修縣、安慶市懷寧縣、晉城市陽(yáng)城縣
廣元市利州區(qū)、遼源市西安區(qū)、杭州市蕭山區(qū)、廣西北海市海城區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、紅河石屏縣、臨沂市蘭陵縣、日照市嵐山區(qū)、泰州市泰興市
貴陽(yáng)市修文縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、萬(wàn)寧市和樂(lè)鎮(zhèn)、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、開(kāi)封市禹王臺(tái)區(qū)、武漢市江漢區(qū)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、漯河市臨潁縣、朝陽(yáng)市建平縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)
煙臺(tái)市福山區(qū)、保山市昌寧縣、銅仁市碧江區(qū)、牡丹江市林口縣、聊城市茌平區(qū)、臨沂市平邑縣、菏澤市巨野縣
齊齊哈爾市富裕縣、韶關(guān)市樂(lè)昌市、眉山市彭山區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、黔南甕安縣、黔南獨(dú)山縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、渭南市臨渭區(qū)
哈爾濱市道里區(qū)、渭南市蒲城縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、撫州市臨川區(qū)、宜春市樟樹(shù)市、許昌市建安區(qū)、白山市江源區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)、臺(tái)州市路橋區(qū)
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陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、大同市云岡區(qū)、成都市彭州市、麗江市玉龍納西族自治縣、北京市海淀區(qū)
湛江市遂溪縣、周口市淮陽(yáng)區(qū)、九江市濂溪區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市開(kāi)魯縣、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣、海口市瓊山區(qū)、鄭州市金水區(qū)、菏澤市巨野縣、晉中市祁縣、寧德市古田縣
嘉興市海寧市、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)、臨夏臨夏市、陽(yáng)泉市郊區(qū)、雙鴨山市集賢縣、臨沂市蒙陰縣、廣西河池市都安瑤族自治縣
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懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣、中山市大涌鎮(zhèn)、淮安市清江浦區(qū)、大同市廣靈縣、樂(lè)東黎族自治縣志仲鎮(zhèn)、淮南市潘集區(qū)、贛州市信豐縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗
酒泉市玉門(mén)市、鐵嶺市清河區(qū)、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、畢節(jié)市金沙縣、嘉興市南湖區(qū)、濱州市沾化區(qū)、婁底市新化縣、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、十堰市鄖西縣、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣
雙鴨山市寶山區(qū)、麗江市華坪縣、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、榆林市定邊縣、開(kāi)封市祥符區(qū)、張家界市永定區(qū)、焦作市馬村區(qū)
樂(lè)山市市中區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、晉中市和順縣、大連市普蘭店區(qū)、瓊海市中原鎮(zhèn)、撫順市撫順縣
綏化市北林區(qū)、遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、徐州市銅山區(qū)、三明市建寧縣、臨汾市汾西縣、吉安市青原區(qū)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、黔南福泉市
廣州市越秀區(qū)、常德市澧縣、懷化市通道侗族自治縣、海南興?？h、保山市龍陵縣、廣西桂林市象山區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、合肥市廬江縣
果洛瑪沁縣、黔東南施秉縣、濟(jì)南市章丘區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、廣西崇左市寧明縣、泰安市東平縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、廣西百色市平果市
合肥市巢湖市、牡丹江市寧安市、雅安市蘆山縣、濟(jì)寧市任城區(qū)、寧夏銀川市靈武市
甘孜巴塘縣、淮安市漣水縣、天津市薊州區(qū)、廣州市越秀區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、商洛市柞水縣、重慶市墊江縣、滁州市鳳陽(yáng)縣、文昌市文城鎮(zhèn)
昭通市綏江縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、贛州市信豐縣、黔東南劍河縣、上海市寶山區(qū)、朔州市應(yīng)縣
寧夏銀川市西夏區(qū)、寧德市霞浦縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、日照市東港區(qū)、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、池州市石臺(tái)縣、蕪湖市鳩江區(qū)、舟山市定海區(qū)
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屯昌縣楓木鎮(zhèn)、岳陽(yáng)市云溪區(qū)、牡丹江市林口縣、天津市薊州區(qū)、江門(mén)市臺(tái)山市、寧夏中衛(wèi)市中寧縣
佳木斯市樺南縣、龍巖市長(zhǎng)汀縣、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、文山廣南縣、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、營(yíng)口市西市區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗
梅州市五華縣、信陽(yáng)市羅山縣、天水市甘谷縣、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、南昌市南昌縣、延安市寶塔區(qū)、玉樹(shù)雜多縣、長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)
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重慶市巫溪縣、湘潭市湘潭縣、大理祥云縣、濰坊市寒亭區(qū)、滁州市全椒縣、信陽(yáng)市潢川縣、沈陽(yáng)市新民市、威海市榮成市、東方市東河鎮(zhèn)、保山市騰沖市
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合肥市長(zhǎng)豐縣、通化市二道江區(qū)、贛州市寧都縣、成都市錦江區(qū)、吉林市船營(yíng)區(qū)、杭州市富陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、涼山木里藏族自治縣、宿遷市泗洪縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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