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晉城市澤州縣、郴州市嘉禾縣、長(zhǎng)春市德惠市、朔州市懷仁市、遼陽市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、廣元市朝天區(qū)、黔南貴定縣、臨滄市鳳慶縣
岳陽市君山區(qū)、泰安市岱岳區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、湘西州鳳凰縣、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)
襄陽市南漳縣、海東市平安區(qū)、涼山布拖縣、呂梁市嵐縣、儋州市雅星鎮(zhèn)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、岳陽市臨湘市、肇慶市鼎湖區(qū)、定安縣嶺口鎮(zhèn)
曲靖市馬龍區(qū)、淄博市博山區(qū)、樂山市峨眉山市、太原市小店區(qū)、廣西桂林市陽朔縣、?？谑协偵絽^(qū)、榆林市府谷縣、朝陽市建平縣、重慶市大足區(qū)
忻州市代縣、錦州市義縣、朝陽市建平縣、曲靖市沾益區(qū)、杭州市蕭山區(qū)
武漢市江岸區(qū)、黃石市大冶市、儋州市東成鎮(zhèn)、郴州市資興市、鄭州市中原區(qū)、晉城市陵川縣
鷹潭市余江區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、菏澤市鄄城縣、上饒市廣信區(qū)、瀘州市古藺縣、上海市黃浦區(qū)、吉林市永吉縣、甘孜雅江縣、長(zhǎng)沙市開福區(qū)
昆明市祿勸彝族苗族自治縣、果洛瑪沁縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、上海市松江區(qū)、九江市永修縣、惠州市惠東縣
聊城市茌平區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、廣州市天河區(qū)、深圳市南山區(qū)、寧波市江北區(qū)、涼山德昌縣、南平市延平區(qū)、云浮市新興縣、眉山市丹棱縣、宜春市樟樹市
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、廣元市青川縣、甘南迭部縣、開封市順河回族區(qū)、安慶市宿松縣、天水市武山縣
廣西玉林市博白縣、定西市隴西縣、運(yùn)城市永濟(jì)市、北京市平谷區(qū)、濟(jì)南市鋼城區(qū)、淄博市桓臺(tái)縣
齊齊哈爾市依安縣、連云港市海州區(qū)、漳州市云霄縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、丹東市振安區(qū)
攀枝花市西區(qū)、定西市隴西縣、杭州市江干區(qū)、溫州市蒼南縣、泰州市靖江市、上海市嘉定區(qū)、楚雄武定縣、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、茂名市茂南區(qū)、青島市萊西市
哈爾濱市方正縣、宿州市埇橋區(qū)、五指山市毛道、泉州市德化縣、綿陽市涪城區(qū)、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、?？谑忻捞m區(qū)
宜春市高安市、臨滄市永德縣、白山市臨江市、東莞市清溪鎮(zhèn)、宜春市上高縣、大興安嶺地區(qū)漠河市
昆明市嵩明縣、蘇州市虎丘區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、直轄縣潛江市、濟(jì)寧市微山縣
雅安市名山區(qū)、成都市錦江區(qū)、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、涼山德昌縣、廣西南寧市橫州市、巴中市平昌縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、西雙版納景洪市
丹東市鳳城市、內(nèi)江市市中區(qū)、自貢市沿灘區(qū)、中山市東升鎮(zhèn)、延安市黃龍縣
海東市循化撒拉族自治縣、陽江市陽春市、自貢市富順縣、溫州市鹿城區(qū)、樂東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、懷化市溆浦縣、寧德市霞浦縣、蘭州市榆中縣
大慶市紅崗區(qū)、鹽城市阜寧縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、臨沂市沂南縣、延安市寶塔區(qū)、上饒市德興市、駐馬店市上蔡縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、江門市開平市、廣州市南沙區(qū)
濰坊市高密市、南陽市淅川縣、慶陽市西峰區(qū)、長(zhǎng)春市榆樹市、普洱市景谷傣族彝族自治縣、蘭州市城關(guān)區(qū)、運(yùn)城市臨猗縣、宜昌市秭歸縣
內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、廣州市海珠區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、贛州市贛縣區(qū)
延安市志丹縣、忻州市偏關(guān)縣、廣西桂林市臨桂區(qū)、咸陽市興平市、丹東市振興區(qū)、南京市鼓樓區(qū)、周口市項(xiàng)城市、淮安市金湖縣、岳陽市汨羅市、北京市平谷區(qū)
恩施州恩施市、銅川市耀州區(qū)、孝感市孝昌縣、宜昌市夷陵區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、濟(jì)南市章丘區(qū)、呂梁市交城縣
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大同市渾源縣、西寧市湟中區(qū)、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、四平市鐵東區(qū)、雙鴨山市寶山區(qū)、舟山市嵊泗縣、淮安市淮陰區(qū)
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東營(yíng)市墾利區(qū)、菏澤市鄆城縣、宜昌市枝江市、肇慶市鼎湖區(qū)、保山市昌寧縣、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、安陽市內(nèi)黃縣、徐州市賈汪區(qū)、昆明市官渡區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)
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重慶市忠縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、蘇州市常熟市、黃岡市麻城市、懷化市新晃侗族自治縣、呂梁市文水縣、楚雄雙柏縣
重慶市渝北區(qū)、亳州市譙城區(qū)、武漢市江岸區(qū)、襄陽市南漳縣、南京市鼓樓區(qū)、廣西欽州市靈山縣、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、渭南市合陽縣、徐州市銅山區(qū)、岳陽市云溪區(qū)
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重慶市開州區(qū)、運(yùn)城市萬榮縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、呂梁市嵐縣、株洲市淥口區(qū)、臨汾市浮山縣、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、攀枝花市東區(qū)
西雙版納勐?？h、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、天津市東麗區(qū)、牡丹江市綏芬河市、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗
果洛班瑪縣、上饒市余干縣、遵義市余慶縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、煙臺(tái)市龍口市、梅州市梅縣區(qū)、珠海市香洲區(qū)、贛州市南康區(qū)
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內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、上海市浦東新區(qū)、咸陽市淳化縣、黔東南榕江縣、遼源市東豐縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、六安市舒城縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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