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昆明市祿勸彝族苗族自治縣、伊春市嘉蔭縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、攀枝花市西區(qū)、重慶市長壽區(qū)、寧德市福安市、上海市靜安區(qū)、淮安市淮陰區(qū)、淄博市高青縣、永州市新田縣
哈爾濱市方正縣、衢州市龍游縣、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、五指山市番陽、哈爾濱市道里區(qū)、張掖市肅南裕固族自治縣、西安市鄠邑區(qū)
池州市貴池區(qū)、達(dá)州市通川區(qū)、宣城市郎溪縣、瀘州市合江縣、大理巍山彝族回族自治縣、廣西貴港市桂平市、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)
沈陽市沈河區(qū)、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、沈陽市鐵西區(qū)、廣西玉林市博白縣、蚌埠市淮上區(qū)、黔南長順縣、開封市杞縣、果洛班瑪縣、青島市即墨區(qū)、濟南市商河縣
海北祁連縣、黃南澤庫縣、安康市石泉縣、廣州市南沙區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、牡丹江市愛民區(qū)、六安市裕安區(qū)、銅陵市郊區(qū)
廣安市華鎣市、長春市榆樹市、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、廣安市廣安區(qū)、鹽城市濱海縣、棗莊市薛城區(qū)
福州市馬尾區(qū)、杭州市拱墅區(qū)、文昌市馮坡鎮(zhèn)、宜賓市高縣、廣西北海市鐵山港區(qū)、邵陽市綏寧縣、甘孜甘孜縣、贛州市安遠(yuǎn)縣、永州市寧遠(yuǎn)縣
德州市禹城市、達(dá)州市開江縣、廣西梧州市藤縣、廣西梧州市長洲區(qū)、哈爾濱市尚志市、淮北市濉溪縣、吉安市萬安縣、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣
黃岡市黃州區(qū)、呂梁市交城縣、昭通市巧家縣、榆林市佳縣、遼陽市太子河區(qū)、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、楚雄雙柏縣
青島市市南區(qū)、通化市東昌區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、吉安市新干縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗
涼山冕寧縣、攀枝花市鹽邊縣、南昌市青云譜區(qū)、周口市西華縣、佳木斯市郊區(qū)、樂山市五通橋區(qū)
東莞市中堂鎮(zhèn)、黃岡市浠水縣、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、眉山市仁壽縣、南昌市西湖區(qū)
中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、廣西玉林市北流市、定西市臨洮縣、遂寧市大英縣、寧夏固原市涇源縣、梅州市大埔縣、荊門市京山市、萬寧市東澳鎮(zhèn)、黔南三都水族自治縣
臨汾市翼城縣、衡陽市雁峰區(qū)、昆明市盤龍區(qū)、梅州市五華縣、溫州市泰順縣、泉州市南安市、淮安市金湖縣、成都市溫江區(qū)、亳州市蒙城縣、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)
永州市道縣、黔東南錦屏縣、杭州市桐廬縣、遵義市赤水市、濰坊市壽光市、昭通市綏江縣、錦州市北鎮(zhèn)市、焦作市解放區(qū)、甘孜甘孜縣、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)
?？谑行阌^(qū)、荊州市石首市、盤錦市雙臺子區(qū)、臺州市黃巖區(qū)、南京市玄武區(qū)、昭通市永善縣、鄭州市上街區(qū)、陽泉市平定縣、十堰市丹江口市、哈爾濱市道外區(qū)
東莞市道滘鎮(zhèn)、淄博市淄川區(qū)、懷化市沅陵縣、煙臺市龍口市、婁底市漣源市
黃岡市浠水縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣、忻州市定襄縣、隴南市武都區(qū)、慶陽市環(huán)縣、延安市安塞區(qū)、長治市長子縣、萬寧市和樂鎮(zhèn)、漳州市長泰區(qū)、咸寧市咸安區(qū)
杭州市桐廬縣、綏化市青岡縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、東營市利津縣、咸陽市長武縣、寧夏銀川市西夏區(qū)、洛陽市孟津區(qū)、漳州市詔安縣、大同市平城區(qū)
廣西梧州市岑溪市、吉安市新干縣、濰坊市寒亭區(qū)、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、連云港市連云區(qū)、廣西百色市西林縣
吉林市蛟河市、平?jīng)鍪徐o寧縣、泰州市海陵區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)、泰安市寧陽縣、廣西梧州市長洲區(qū)、甘南夏河縣、重慶市黔江區(qū)、廣西來賓市興賓區(qū)
宜春市靖安縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、咸陽市禮泉縣、成都市青白江區(qū)、五指山市毛道、嘉興市海寧市、大同市云州區(qū)、周口市扶溝縣、九江市廬山市
鷹潭市余江區(qū)、廣西百色市田東縣、株洲市荷塘區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、黃石市下陸區(qū)、上海市靜安區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市回民區(qū)、昆明市安寧市、廣西桂林市資源縣、蘭州市七里河區(qū)
阜陽市潁東區(qū)、撫州市宜黃縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、晉中市榆次區(qū)、南陽市淅川縣、海南共和縣、泉州市晉江市
泉州市鯉城區(qū)、海南同德縣、延安市吳起縣、直轄縣仙桃市、三亞市海棠區(qū)
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內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、孝感市大悟縣、焦作市溫縣、臨滄市滄源佤族自治縣、平頂山市魯山縣、廣州市從化區(qū)、銅仁市江口縣、貴陽市息烽縣、廈門市同安區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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