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泉州市金門(mén)縣、寶雞市渭濱區(qū)、長(zhǎng)治市黎城縣、寶雞市千陽(yáng)縣、臨高縣多文鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、太原市迎澤區(qū)、綏化市明水縣
焦作市溫縣、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、三亞市海棠區(qū)、黔西南望謨縣、商丘市虞城縣、濰坊市臨朐縣、福州市鼓樓區(qū)、攀枝花市米易縣、吉安市吉州區(qū)
湘西州龍山縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、杭州市西湖區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、雞西市恒山區(qū)、宜昌市秭歸縣、德州市樂(lè)陵市
黃南同仁市、汕頭市金平區(qū)、紹興市越城區(qū)、滁州市瑯琊區(qū)、紅河個(gè)舊市、黔南甕安縣、馬鞍山市和縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)
咸寧市咸安區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、宜昌市宜都市、九江市柴桑區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)、綿陽(yáng)市梓潼縣
韶關(guān)市翁源縣、呂梁市孝義市、遂寧市安居區(qū)、張掖市甘州區(qū)、甘孜白玉縣、延安市延川縣、無(wú)錫市江陰市、湘潭市岳塘區(qū)、懷化市溆浦縣
大連市中山區(qū)、許昌市長(zhǎng)葛市、宜春市上高縣、黃山市黃山區(qū)、臺(tái)州市玉環(huán)市、蘇州市吳江區(qū)
臺(tái)州市玉環(huán)市、北京市豐臺(tái)區(qū)、上海市奉賢區(qū)、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、營(yíng)口市站前區(qū)、達(dá)州市渠縣、廣西貴港市港南區(qū)、懷化市通道侗族自治縣、七臺(tái)河市勃利縣
東方市板橋鎮(zhèn)、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、宣城市旌德縣、哈爾濱市雙城區(qū)、臨夏臨夏市、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、黔西南貞豐縣
鶴崗市興山區(qū)、晉中市靈石縣、涼山喜德縣、溫州市龍灣區(qū)、青島市城陽(yáng)區(qū)、廣西貴港市桂平市、日照市五蓮縣
菏澤市成武縣、合肥市瑤海區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、贛州市會(huì)昌縣、揭陽(yáng)市揭東區(qū)
南平市順昌縣、駐馬店市確山縣、遵義市赤水市、無(wú)錫市濱湖區(qū)、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、濟(jì)寧市鄒城市、十堰市竹溪縣、懷化市辰溪縣、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)、咸陽(yáng)市武功縣
昆明市呈貢區(qū)、濰坊市壽光市、吉安市永豐縣、寧夏石嘴山市平羅縣、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、淄博市淄川區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)
昭通市鹽津縣、攀枝花市米易縣、營(yíng)口市西市區(qū)、樂(lè)山市金口河區(qū)、河源市龍川縣、咸陽(yáng)市彬州市、寶雞市扶風(fēng)縣、佛山市南海區(qū)
昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、臨沂市羅莊區(qū)、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、黑河市遜克縣
安陽(yáng)市文峰區(qū)、深圳市寶安區(qū)、南京市江寧區(qū)、延安市宜川縣、東莞市大朗鎮(zhèn)、金昌市金川區(qū)、郴州市安仁縣、漯河市舞陽(yáng)縣、蚌埠市蚌山區(qū)
泉州市石獅市、宜賓市興文縣、三門(mén)峽市澠池縣、文昌市文城鎮(zhèn)、昆明市嵩明縣、寧夏吳忠市利通區(qū)、無(wú)錫市濱湖區(qū)、漢中市略陽(yáng)縣、南京市鼓樓區(qū)、舟山市普陀區(qū)
甘南合作市、贛州市上猶縣、忻州市保德縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、馬鞍山市含山縣、廣西桂林市秀峰區(qū)
長(zhǎng)治市潞城區(qū)、鶴崗市向陽(yáng)區(qū)、寶雞市眉縣、福州市鼓樓區(qū)、宿遷市泗陽(yáng)縣、衢州市衢江區(qū)、福州市永泰縣
青島市平度市、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、武威市涼州區(qū)、泉州市南安市、荊州市荊州區(qū)、廣西桂林市七星區(qū)、臺(tái)州市天臺(tái)縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、安慶市太湖縣
東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、廣西南寧市武鳴區(qū)、文昌市鋪前鎮(zhèn)、眉山市仁壽縣、臨滄市臨翔區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、運(yùn)城市河津市、東莞市莞城街道、煙臺(tái)市海陽(yáng)市、延安市黃龍縣
甘孜丹巴縣、黃石市陽(yáng)新縣、廣西桂林市荔浦市、內(nèi)蒙古通遼市開(kāi)魯縣、隴南市武都區(qū)、重慶市涪陵區(qū)
昆明市石林彝族自治縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、東營(yíng)市廣饒縣、吉安市井岡山市、臨汾市安澤縣、文昌市文城鎮(zhèn)、廈門(mén)市湖里區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)
廣西賀州市昭平縣、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、伊春市南岔縣、黔東南榕江縣、臨汾市汾西縣、齊齊哈爾市拜泉縣、聊城市臨清市、紅河蒙自市、佳木斯市同江市
攀枝花市鹽邊縣、廈門(mén)市海滄區(qū)、深圳市龍崗區(qū)、菏澤市定陶區(qū)、海南貴德縣、宣城市旌德縣
洛陽(yáng)市嵩縣、湛江市坡頭區(qū)、綿陽(yáng)市鹽亭縣、廣元市劍閣縣、贛州市于都縣、懷化市沅陵縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、南陽(yáng)市西峽縣、臨汾市隰縣
南充市蓬安縣、怒江傈僳族自治州福貢縣、聊城市莘縣、宜昌市猇亭區(qū)、株洲市天元區(qū)、西寧市城北區(qū)、寧夏固原市彭陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、紹興市上虞區(qū)
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東莞市樟木頭鎮(zhèn)、文山硯山縣、德陽(yáng)市廣漢市、樂(lè)山市夾江縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、內(nèi)江市隆昌市、龍巖市上杭縣
中山市中山港街道、南京市建鄴區(qū)、遵義市鳳岡縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、錦州市凌河區(qū)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市
宜昌市秭歸縣、宜賓市興文縣、甘南合作市、鶴崗市興安區(qū)、云浮市羅定市、阜陽(yáng)市阜南縣、成都市新津區(qū)
吉林市蛟河市、西寧市湟源縣、黔南龍里縣、泉州市德化縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、懷化市辰溪縣、廣西百色市右江區(qū)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、攀枝花市鹽邊縣、銅川市王益區(qū)
湘潭市湘鄉(xiāng)市、漢中市略陽(yáng)縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、贛州市尋烏縣、杭州市余杭區(qū)、泉州市晉江市
天津市武清區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、遂寧市船山區(qū)、太原市晉源區(qū)、廣西桂林市荔浦市、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)、吉林市舒蘭市、南充市順慶區(qū)、南京市浦口區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、文昌市鋪前鎮(zhèn)、臨高縣東英鎮(zhèn)、滁州市天長(zhǎng)市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、張掖市臨澤縣
撫州市南豐縣、紅河蒙自市、三門(mén)峽市靈寶市、三沙市西沙區(qū)、常德市鼎城區(qū)
天津市薊州區(qū)、貴陽(yáng)市白云區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、邵陽(yáng)市邵東市、晉中市左權(quán)縣、湛江市吳川市
太原市古交市、太原市迎澤區(qū)、中山市五桂山街道、昆明市呈貢區(qū)、泉州市洛江區(qū)、恩施州宣恩縣、平頂山市寶豐縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)
上饒市鄱陽(yáng)縣、成都市雙流區(qū)、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、西安市藍(lán)田縣、恩施州咸豐縣
佛山市順德區(qū)、廣西河池市南丹縣、忻州市代縣、九江市修水縣、樂(lè)山市市中區(qū)、阜新市阜新蒙古族自治縣、周口市沈丘縣、新鄉(xiāng)市原陽(yáng)縣、昆明市嵩明縣、臨滄市云縣
嘉興市海鹽縣、渭南市合陽(yáng)縣、鄭州市登封市、贛州市信豐縣、榆林市橫山區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、淄博市淄川區(qū)、忻州市原平市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、阜新市阜新蒙古族自治縣
臨汾市大寧縣、商丘市柘城縣、臨沂市蘭陵縣、海東市樂(lè)都區(qū)、九江市濂溪區(qū)、大同市廣靈縣、煙臺(tái)市萊州市、大理云龍縣、平頂山市石龍區(qū)
三明市沙縣區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、廣西河池市南丹縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、黃山市黃山區(qū)、廣州市越秀區(qū)
東莞市中堂鎮(zhèn)、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、大理大理市、黃山市屯溪區(qū)、四平市伊通滿族自治縣、涼山喜德縣、濱州市沾化區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、合肥市肥東縣
武漢市新洲區(qū)、晉中市靈石縣、衢州市江山市、重慶市萬(wàn)州區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣、河源市源城區(qū)、海南共和縣、寶雞市扶風(fēng)縣、涼山德昌縣、懷化市洪江市
鄂州市鄂城區(qū)、?？谑协偵絽^(qū)、黃山市黃山區(qū)、臨汾市汾西縣、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、鄭州市上街區(qū)、襄陽(yáng)市宜城市、成都市金堂縣
萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、東莞市寮步鎮(zhèn)、廣元市劍閣縣、雅安市雨城區(qū)、信陽(yáng)市固始縣
邵陽(yáng)市雙清區(qū)、六安市裕安區(qū)、深圳市寶安區(qū)、梅州市平遠(yuǎn)縣、曲靖市馬龍區(qū)、四平市公主嶺市、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、東莞市常平鎮(zhèn)
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自貢市富順縣、周口市扶溝縣、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、池州市貴池區(qū)、淮南市壽縣、廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、嘉興市嘉善縣
九江市瑞昌市、雅安市漢源縣、鄭州市二七區(qū)、棗莊市滕州市、天津市南開(kāi)區(qū)、福州市福清市、自貢市自流井區(qū)、達(dá)州市通川區(qū)
廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、慶陽(yáng)市合水縣、嘉興市平湖市、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、許昌市長(zhǎng)葛市、甘孜康定市、商洛市商州區(qū)
萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、撫順市新?lián)釁^(qū)、上海市金山區(qū)、開(kāi)封市杞縣、商洛市洛南縣
青島市平度市、恩施州宣恩縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、湛江市徐聞縣、南京市江寧區(qū)、廣西賀州市富川瑤族自治縣、哈爾濱市通河縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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