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三明市三元區(qū)、紹興市新昌縣、聊城市陽谷縣、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、鹽城市濱?？h、商丘市柘城縣
六安市金安區(qū)、茂名市茂南區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、駐馬店市上蔡縣、泰州市靖江市、贛州市寧都縣
文昌市文城鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、定西市通渭縣、深圳市龍崗區(qū)、楚雄永仁縣、萬寧市萬城鎮(zhèn)、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、福州市閩清縣、舟山市普陀區(qū)、菏澤市成武縣
東莞市虎門鎮(zhèn)、達(dá)州市大竹縣、菏澤市單縣、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、六安市霍山縣、張家界市永定區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、撫順市望花區(qū)、六安市霍邱縣
萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、德州市陵城區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、定西市通渭縣、蘇州市姑蘇區(qū)、甘孜石渠縣、襄陽市樊城區(qū)
杭州市江干區(qū)、寧夏吳忠市同心縣、南昌市青山湖區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、肇慶市懷集縣、鐵嶺市銀州區(qū)、廣西河池市東蘭縣、武威市古浪縣、東方市江邊鄉(xiāng)
宜賓市屏山縣、廣西崇左市大新縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、哈爾濱市通河縣、廣州市黃埔區(qū)、淄博市高青縣
資陽市安岳縣、麗水市慶元縣、攀枝花市米易縣、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、雞西市雞冠區(qū)
佛山市南海區(qū)、南充市嘉陵區(qū)、上海市楊浦區(qū)、海東市平安區(qū)、蕪湖市弋江區(qū)、松原市乾安縣、商丘市夏邑縣、焦作市沁陽市、溫州市洞頭區(qū)、廣西桂林市永?？h
常德市桃源縣、贛州市于都縣、襄陽市棗陽市、漳州市薌城區(qū)、煙臺(tái)市海陽市、綏化市安達(dá)市
臨汾市汾西縣、湘西州花垣縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、綏化市海倫市、鹽城市響水縣、長(zhǎng)春市雙陽區(qū)、焦作市孟州市
儋州市那大鎮(zhèn)、泰安市新泰市、汕頭市濠江區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)、鹽城市大豐區(qū)、泰州市海陵區(qū)、漢中市佛坪縣
寶雞市鳳翔區(qū)、運(yùn)城市永濟(jì)市、吉安市新干縣、哈爾濱市阿城區(qū)、果洛甘德縣、臺(tái)州市路橋區(qū)、濰坊市高密市、贛州市信豐縣
東莞市東坑鎮(zhèn)、滁州市定遠(yuǎn)縣、葫蘆島市南票區(qū)、延安市子長(zhǎng)市、儋州市海頭鎮(zhèn)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、荊門市京山市、海西蒙古族烏蘭縣、洛陽市孟津區(qū)、營(yíng)口市老邊區(qū)
漢中市西鄉(xiāng)縣、三明市沙縣區(qū)、果洛瑪沁縣、珠海市香洲區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗
澄邁縣加樂鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、鐵嶺市清河區(qū)、成都市郫都區(qū)、廣西桂林市靈川縣、成都市青白江區(qū)、曲靖市富源縣
商洛市商州區(qū)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、重慶市萬州區(qū)、重慶市酉陽縣、駐馬店市新蔡縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、咸陽市淳化縣
寶雞市千陽縣、岳陽市岳陽縣、咸陽市永壽縣、龍巖市新羅區(qū)、阜新市彰武縣
黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、瀘州市瀘縣、鄂州市梁子湖區(qū)、上海市楊浦區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、江門市鶴山市、廣西百色市靖西市
南充市高坪區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、廣西防城港市港口區(qū)、甘孜雅江縣、三明市清流縣、吉林市豐滿區(qū)、白山市臨江市
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、泉州市鯉城區(qū)、黔西南晴隆縣、三門峽市澠池縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、馬鞍山市含山縣、荊州市監(jiān)利市
萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、遂寧市船山區(qū)、襄陽市?？悼h、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、宣城市宣州區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗
三明市泰寧縣、駐馬店市西平縣、廣西梧州市岑溪市、延安市黃龍縣、張掖市民樂縣、紹興市柯橋區(qū)、達(dá)州市開江縣、泰州市姜堰區(qū)、杭州市濱江區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)
齊齊哈爾市克東縣、撫州市樂安縣、呂梁市方山縣、玉樹雜多縣、亳州市利辛縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、紹興市新昌縣、廈門市翔安區(qū)、臨高縣南寶鎮(zhèn)
揭陽市普寧市、東營(yíng)市廣饒縣、信陽市平橋區(qū)、廣西南寧市上林縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、鞍山市千山區(qū)、安慶市宜秀區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、日照市五蓮縣、延邊安圖縣
臨沂市蒙陰縣、泰安市東平縣、鄂州市梁子湖區(qū)、西寧市湟源縣、西安市鄠邑區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)、遼源市東豐縣、東方市感城鎮(zhèn)
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咸寧市嘉魚縣、重慶市潼南區(qū)、運(yùn)城市永濟(jì)市、榆林市橫山區(qū)、臨汾市永和縣、玉溪市澄江市、臨汾市汾西縣
寧波市江北區(qū)、長(zhǎng)春市雙陽區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、茂名市化州市、大慶市肇州縣、海南共和縣
鹽城市亭湖區(qū)、深圳市龍華區(qū)、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、海東市化隆回族自治縣、銅川市王益區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、銅仁市松桃苗族自治縣、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、甘孜瀘定縣、大慶市讓胡路區(qū)
東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、廣西柳州市柳江區(qū)、玉溪市易門縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、楚雄元謀縣
臨汾市襄汾縣、樂山市馬邊彝族自治縣、開封市通許縣、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、廣西梧州市蒙山縣、甘孜瀘定縣、咸陽市旬邑縣
成都市龍泉驛區(qū)、馬鞍山市和縣、永州市江永縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、德陽市什邡市
池州市青陽縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、西安市新城區(qū)、運(yùn)城市新絳縣、延安市洛川縣、焦作市山陽區(qū)、南昌市青山湖區(qū)、九江市修水縣、宜昌市猇亭區(qū)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市
甘南臨潭縣、運(yùn)城市絳縣、西安市新城區(qū)、定西市安定區(qū)、伊春市金林區(qū)、聊城市莘縣、上饒市婺源縣、寧德市古田縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、益陽市資陽區(qū)
馬鞍山市當(dāng)涂縣、廣州市花都區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、大慶市大同區(qū)、咸陽市武功縣
佳木斯市樺南縣、江門市臺(tái)山市、安順市平壩區(qū)、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、廣西賀州市富川瑤族自治縣、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)
濮陽市臺(tái)前縣、贛州市信豐縣、邵陽市新寧縣、韶關(guān)市始興縣、六安市金寨縣、臨沂市沂南縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)
渭南市富平縣、三明市將樂縣、湘西州鳳凰縣、鶴崗市工農(nóng)區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)
重慶市巫山縣、紹興市諸暨市、臨夏永靖縣、昆明市富民縣、銅仁市思南縣、晉中市壽陽縣、南陽市方城縣、黔東南臺(tái)江縣、云浮市羅定市、信陽市息縣
內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、定西市臨洮縣、張家界市桑植縣、定西市隴西縣、湘西州吉首市、錦州市黑山縣、玉樹雜多縣、濰坊市青州市、孝感市云夢(mèng)縣
寧夏固原市原州區(qū)、白城市鎮(zhèn)賚縣、十堰市房縣、保山市隆陽區(qū)、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、九江市濂溪區(qū)、洛陽市老城區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、鐵嶺市清河區(qū)、榆林市子洲縣
濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)、廣西柳州市魚峰區(qū)、濟(jì)寧市兗州區(qū)、宜春市袁州區(qū)、文昌市抱羅鎮(zhèn)、商洛市商州區(qū)
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松原市扶余市、衢州市衢江區(qū)、張掖市甘州區(qū)、昆明市晉寧區(qū)、六安市霍邱縣、麗水市慶元縣
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新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、儋州市光村鎮(zhèn)、撫州市南豐縣、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、中山市南區(qū)街道、咸陽市涇陽縣、襄陽市棗陽市、陽泉市盂縣、肇慶市德慶縣、黃石市黃石港區(qū)
榆林市清澗縣、漯河市源匯區(qū)、三亞市吉陽區(qū)、保山市隆陽區(qū)、宣城市寧國(guó)市、武威市涼州區(qū)、寧夏固原市彭陽縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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